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[发明专利]一种铁路轨道检测装置-CN202310759012.1在审
发明人：贾慧光;燕春;李国权;李明 -专利权人：国能朔黄铁路发展有限责任公司
申请日： 2023-06-26 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： B61K9/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种铁路轨道检测装置，包括安装在铁轨本体上的固定体一和固定体二，固定体一和固定体二均包括左卡板和右卡板，左卡板和右卡板之间滑动连接有横向连接板，支撑杆一和支撑杆二之间设置有伸缩套管，固定体一和固定体二的内部设置有检测机构，支撑杆一和支撑杆二的一侧前端均设置有清理机构。本发明优点在于：本装置能够调节固定体一或固定体二的整体大小，便于适应不同的铁轨，通过设置的支撑杆一和支撑杆二之间设置有伸缩套管，有利于通过铁轨本体的弯曲段，适应性强，设置的支撑机构，能够起到支撑作用，设置的清理机构，用于清理铁轨本体上的掉落的异物，还能够清理异物，增加了铁路轨道运行安全性，功能齐全，便于使用。
一种铁路轨道检测装置

[发明专利]一种衬套及晶圆预处理装置-CN202210053490.6有效
发明人：刘自强;燕春;杨进 -专利权人：江苏天芯微半导体设备有限公司
申请日： 2022-01-18 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于晶圆预处理装置的衬套，包括：环形侧壁，所述环形侧壁包括上环部和下环部；所述上环部设置有至少两组通气孔组，所述通气孔组由贯穿衬套内表面和外表面的若干个通气孔构成，每一组通气孔组沿着衬套的周向分布一圈。通过在衬套上设置多组通气孔组，加大了气流排出的流量，从而可以减小气流在腔体内淤积导致的分布不均匀，且多组通气孔组之间是上下排布的，避免了仅在某一平面抽气带来的气流湍急。
一种衬套预处理装置

[发明专利]一种密封结构及具有该密封结构的衬底处理设备-CN202210037773.1在审
发明人：刘自强;燕春;杨进 -专利权人：江苏天芯微半导体设备有限公司
申请日： 2022-01-13 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： F16J15/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种密封结构，用于衬底处理设备的法兰、上顶和腔体之间的密封，包括：法兰‑上顶密封隔离组件，用于法兰与上顶之间的密封，以及上顶的垂直方向的防接触破裂保护；上顶‑腔体密封隔离组件，用于上顶与腔体之间的密封，以及上顶的垂直方向的防接触破裂保护；法兰‑腔体密封组件，用于法兰与腔体之间的密封；上顶水平方向隔离组件，用于上顶的水平方向的防接触破裂保护。本发明还涉及一种应用该密封结构的衬底处理设备。本发明可在实现高温状态下的衬底处理设备真空密封及上顶对中的基础上，在安装及工艺处理过程中完全隔绝石英与金属的直接接触，解决石英上顶存在碎裂风险的技术问题。
一种密封结构具有衬底处理设备

[发明专利]一种配方数据设置系统及操作界面设计方法-CN202110995294.6在审
发明人：陈哲;燕春;杨进;朱力;包琪 -专利权人：江苏天芯微半导体设备有限公司
申请日： 2021-08-27 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： G06F9/451 文献下载
摘要：本发明公开了一种配方数据设置系统及操作界面的设计方法，系统包括：操作界面，和所述操作界面连接的控制模块，所述控制模块用于控制所述操作界面所要执行的操作；所述操作界面包括第一显示部和第二显示部，所述第一显示部用于显示Recipe的配方全局设置窗口，以对Recipe的整体参数进行设置；所述第二显示部用于显示Recipe的配方内容设置窗口，以对Recipe的内容进行设置；还包括用于对Recipe的设置操作进行恢复的恢复按钮；用于对Recipe的设置操作进行撤销的撤销按钮；用于显示当前的Recipe存在的错误信息的错误按钮；用于保存当前的Recipe的保存按钮。本发明具有便于编辑Recipe、灵活配置使用项、进行数据校验及版本追踪的优点。
一种配方数据设置系统操作界面设计方法

[发明专利]一种控温组件及衬底处理设备-CN202210429448.X在审
发明人：秦志坚;燕春 -专利权人：江苏天芯微半导体设备有限公司
申请日： 2022-04-22 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种控温组件及衬底处理设备，所述控温组件用于控制衬底处理设备的待冷却部件的温度，包括：控温组件本体，其包括设置于控温组件本体上的冷却通路，所述冷却通路中通有冷却液，用于对所述待冷却部件降温；密封件，所述密封件至少部分地覆盖所述冷却通路，用于将被覆盖处的冷却通路与外部密封隔绝。本发明可以对控温组件本体上的接缝进行密封，从而实现冷却通路与外部的密封隔绝，进而在控温组件本体发生漏液时，能够对泄漏的冷却液进行密封，以防止泄露的冷却液流至加热灯或反应腔上而造成安全事故。
一种组件衬底处理设备

[发明专利]一种预热环及衬底处理设备-CN202111249083.4有效
发明人：刘自强;燕春;杨进 -专利权人：江苏天芯微半导体设备有限公司
申请日： 2021-10-26 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： C30B25/10 文献下载
摘要：本发明提供一种预热环，用于衬底处理设备，所述衬底处理设备包括：反应室、承载盘、预热环及气体注入口；所述承载盘设置于所述反应室内，用于支撑衬底；所述预热环围绕所述承载盘设置；所述反应室内的侧壁上设置支撑件，用于支撑所述预热环；所述气体注入口设置于反应室一侧，用于通入工艺气体，所述预热环包括环体；所述环体包括内周及外周；所述内周及外周均包括第一区段及第二区段，所述第一区段为与所述气体注入口对应的区段，所述第二区段为与所述气体注入口不对应的其他区段；所述外周的第一区段包括沿预热环的径向方向，在所述第一区段的至少部分区域向气体注入口侧延伸形成的延伸部。本发明还提供一种衬底处理设备。
一种预热衬底处理设备

[发明专利]多腔体等离子体反应设备的调度方法、计算设备及介质-CN202110812738.8有效
发明人：包祺;燕春;杨进;朱力;马磊;陈哲 -专利权人：江苏天芯微半导体设备有限公司
申请日： 2021-07-19 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明提供一种多腔体等离子体反应设备的调度方法，所述方法包含步骤：F1、基于晶圆制作流程所包含操作的操作顺序建立操作集合CZ，基于操作的时长建立与CZ对应的时间分配集合A；令|FYQ|为待分配操作的反应腔个数，其初值为反应腔总个数m；令|CZ|为待分配的操作个数，其初值为所有操作数之和，ji2＝1；F2、为预设的反应腔时长的下、上限Low、High赋初值，使Low＜High，进入F3；F3、若Low＜High，定义mid∈[low，High]，mid为估计的反应腔时长上限值的最小值，判断mid是否合理，若合理令High＝mid，若不合理令Low＝mid+1；若LowHigh，重复F3，若Low≥High，进入F4；F4、从A中筛选若干元素，满足该些元素之和等于Low，将对应操作分配至第ji2反应腔，更新|FYQ|＝|FYQ|‑1、|CZ|＝|CZ|‑p、ji2＝ji2+1，若|FYQ|＝0结束，若|FYQ|＞0更新CZ和A并进入F2。
多腔体等离子体反应设备调度方法计算介质

[实用新型]一种隔离导向环及衬底处理设备-CN202220083706.9有效
发明人：刘自强;燕春;杨进 -专利权人：江苏天芯微半导体设备有限公司
申请日： 2022-01-13 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： C30B23/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及隔离导向环，所述隔离导向环包括：环体，所述环体包括：位于所述环体纵向的第一端，以及与所述第一端位置相对的第二端；所述第一端包括弯曲变形释放端，所述弯曲变形释放端为分布在所述第一端周向上的多个切口，用于上顶的水平方向的防接触破裂保护。本实用新型还涉及一种应用该隔离导向环的衬底处理设备。本实用新型可在高温状态下实现真空密封及上顶对中的效果，在安装及工艺处理过程中完全隔绝石英上顶与金属的直接接触，解决石英上顶存在碎裂风险的技术问题。
一种隔离导向衬底处理设备

[实用新型]一种气体注入插件及衬底处理设备-CN202123211396.9有效
发明人：刘自强;燕春;杨进 -专利权人：江苏天芯微半导体设备有限公司
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： C30B25/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种气体注入插件及衬底处理设备，所述气体注入插件包括顶板及底板，所述底板与顶板相对设置，所述底板与顶板均包括设置于两端的进气端和出气端，所述出气端与反应腔一侧的气体入口连接；第一侧壁及第二侧壁，所述第一侧壁及第二侧壁分别设置于顶板和底板的两侧，所述第一侧壁靠近反应腔侧边缘的一侧；至少两个气体通道，所述气体通道包括设置在靠近反应腔侧边缘的边缘气体通道，所述边缘气体通道具有设置于进气端的进气口和设置于出气端的出气口，所述进气口的截面积和出气口的截面积不相同。本实用新型改变了工艺气体在衬底的侧边缘区域的流速，改善了衬底侧边缘区域的气流分布。
一种气体注入插件衬底处理设备

[外观设计]外延设备-CN202130881064.8有效
发明人：杨永雷;燕春;杨进 -专利权人：江苏天芯微半导体设备有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： 24-01 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：外延设备。2.本外观设计产品的用途：用于化学气相外延设备淀积硅衬底上的外延层。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略仰视图。
外延设备

[实用新型]一种兽医用畜牧耳标钳-CN202220502110.8有效
发明人：王晓;燕春;闫倩;田波;吕春 -专利权人：王晓;燕春;闫倩;田波;吕春
申请日： 2022-03-10 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： A01K11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种兽医用畜牧耳标钳，属于畜牧领域。一种兽医用畜牧耳标钳，包括钳架和顶针，所述顶针滑动连接在钳架上，其中，所述顶针上固定连接有固定板，所述顶针上套接有第一弹簧，所述第一弹簧的两端分别与钳架和固定板相抵；还包括固定连接在钳架内滑杆，所述滑杆上开设有复位滑槽，所述钳架上滑动连接有压杆，所述压杆上固定连接有压板，所述压板与固定板相贴，所述压杆滑动连接在滑杆上，所述压杆上固定连接有滑块，所述滑块滑动连接在复位滑槽上；本实用新型通过第一弹簧的张力带动顶针快速向上滑动复位从耳标上脱离，完成对耳朵的标识，减少打标时猪受到刺激挣扎，导致顶针在耳朵中造成耳朵撕裂，提高打标的安全性。
一种兽医畜牧耳标钳

[实用新型]一种用于外延设备的气体管路及外延设备-CN202122971524.3有效
发明人：尹宁;燕春;杨进 -专利权人：江苏天芯微半导体设备有限公司
申请日： 2021-11-30 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： C30B25/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及用于外延设备的气体管路及外延设备，所述用于外延设备的气体管路包括：上游管路、下游管路、可拆卸紧固装置、限流器和防沉积环，所述防沉积环设置在限流器与上游管路的接头之间和/或限流器与下游管路的接头之间，所述防沉积环包括面对限流器的第一表面和与之相对的第二表面，所述第二表面具有从所述接头的内壁向限流器延申的坡面。所述坡面可以很好地防止工艺气体在气体管路的直角角落沉积，从而抑制了沉积物形成颗粒物进入反应腔，避免了工艺的失败。
一种用于外延设备气体管路

[实用新型]一种灯模组及衬底处理设备-CN202123078550.X有效
发明人：秦志坚;燕春;杨进 -专利权人：江苏天芯微半导体设备有限公司
申请日： 2021-12-09 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： C30B25/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种灯模组及衬底处理设备，所述灯模组用于给工艺腔室内的衬底加热，包括：上灯模组和下灯模组；其中，所述上灯模组和/或所述下灯模组包括：若干个内灯电线和/或若干个外灯电线，所述内灯电线将所述内灯组中若干个不相邻的所述内灯电连接形成一受控区，不同受控区的所述内灯电线用于对所述内灯组进行分区供电；所述外灯电线将所述外灯组中若干个不相邻的所述外灯电连接形成一受控区，不同受控区的所述外灯电线用于对所述外灯组进行分区供电。本实用新型可以对衬底表面温度进行分区控制，从而保证衬底表面温度的均匀性，降低开腔频率以及降低局部供电状态变化对衬底表面局部温场造成的影响。
一种模组衬底处理设备

[发明专利]一种匀流板、进气装置及外延设备-CN202210109814.3在审
发明人：刘自强;燕春;杨进 -专利权人：江苏天芯微半导体设备有限公司
申请日： 2022-01-29 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： C30B25/08 文献下载
摘要：本发明提供一种匀流板，用于外延设备的进气装置，包含：匀流板主体，包括相对的第一平面以及第二平面；多个第一台阶和多个第二台阶，多个所述第一台阶设置于所述第一平面，多个所述第二台阶设置于所述第二平面；所述多个第一台阶分别与所述多个第二台阶位置对应；多组通孔，每一组通孔对应设置于一个第一台阶，所述通孔依序穿设所述第一台阶、匀流板主体、第二台阶，用于在所述外延设备的工艺期间提供通过所述匀流板的气体通道；多个所述第一台阶、多个所述第二台阶分别嵌入进气焊件、进气插入件内，用于减小匀流板与进气焊件、进气插入件之间的间隙，防止匀流板的振动。
一种匀流板装置外延设备

[发明专利]一种反射板组、灯组模块、衬底处理设备及反射板组的调节方法-CN202111546164.0在审
发明人：秦志坚;燕春;杨进 -专利权人：江苏天芯微半导体设备有限公司
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种反射板组、灯组模块、衬底处理设备及反射板组的调节方法，反射板组包括内圈反射板组、外圈反射板组及设置于内圈反射板和外圈反射板之间的分隔板，所述分隔板用于将内圈灯组和外圈灯组发射的热辐射隔开，所述分隔板的沿长度方向延伸的厚度的中间线相对于竖直方向具有倾斜角度，所述倾斜角度大于零度，所述倾斜角度用于确保所述衬底上的温度分布的均匀性。本发明通过调节倾斜角度可以实现内外区的独立控温。
一种反射模块衬底处理设备调节方法

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