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- [发明专利]溶液淀积硫族化物薄膜-CN200410038606.0有效
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D·B·米特兹
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国际商业机器公司
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2004-04-27
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2005-02-09
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H01L21/20
- 淀积金属硫族化物膜的方法。该方法的第一种包括:将至少一种金属硫族化物,肼化合物,以及可选的硫族元素相接触,制备金属硫族化物基前体溶液;将金属硫族化物基前体溶液施加到衬底上制成前体膜;将此前体膜退火,去除多余的肼和硫族化物盐,在衬底上制成金属硫族化物膜。第二种方法包括:将至少一种金属硫族化物和胺化合物的盐相接触,制备该金属硫族化物铵基前体;将金属硫族化物铵基前体,肼化合物,以及可选的硫族元素相接触,制备金属硫族化物在这种肼化合物中的基前体溶液;将金属硫族化物还提供使用金属硫族化物膜沟道层的薄膜场效应晶体管器件。
- 溶液淀积硫族化物薄膜
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