专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果40个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]用于处理基板的装置-CN202211583420.8在审
  • 崔伦硕;丁宣旭;朴钟源;李昈骏;朴珉相 - 细美事有限公司;釜山大学校产学协力团
  • 2022-12-09 - 2023-06-30 - H01J37/32
  • 本发明的示例性实施方案提供一种用于处理基板的装置。用于处理基板的装置包括:在其中具有处理空间的工艺腔室、用于在处理空间中支承基板的支承单元、用于向处理空间供应处理气体的气体供应单元、以及用于将微波施用到处理气体以产生等离子体的微波施用单元;其中,微波施用单元可以包括:用于施用第一微波的第一电源;具有形成在其上表面上的凹槽的支承板,并且该支承板在支承单元上方与工艺腔室结合以限定处理空间;插入到凹槽中以将第一微波辐射到处理空间的第一传输板;以及设置为与第一传输板的上部重叠并且联接到第一电源的第一波导,其中,可以设置多个凹槽,并且当从顶部观察时,多个凹槽可以在支承板的边缘区域中沿周向方向形成。
  • 用于处理装置
  • [发明专利]用于处理基板的装置-CN202211468501.3在审
  • 李相政;崔伦硕;丁宣旭;李昈骏;金相禹 - 细美事有限公司;釜山大学校产学协力团
  • 2022-11-22 - 2023-06-30 - H01J37/32
  • 本发明的示例性实施方案提供了一种用于处理基板的装置。该用于处理基板的装置包括:工艺腔室,在该工艺腔室中具有处理空间;支承单元,该支承单元用于在该处理空间中支承该基板;气体供应单元,该气体供应单元用于将处理气体供应到该处理空间;以及微波施用单元,该微波施用单元用于将微波施用到该处理气体以产生等离子体,其中,该微波施用单元包括传输板,该传输板设置在该支承单元的上方以将微波辐射到该处理空间;第一波导,该第一波导设置在该传输板的上方;以及第一功率供应器,该第一功率供应器用于将微波施用到该第一波导,其中,该第一波导被设置成环形状。
  • 用于处理装置

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top