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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]基板支撑件-CN201410273362.8有效
发明人：黄德伦;许修齐 -专利权人：上海和辉光电有限公司
申请日： 2014-06-18 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明揭示一种基板支撑件。该基板支撑件包括衬套，具有贯穿该衬套两端的纵向通孔；升降销，至少部分地设置在该通孔内，并能够在该通孔内沿纵向移动；至少一轴承机构，设置于该通孔内且位于该升降销的外围，以滚动支撑该升降销；其中该轴承机构包括彼此平行的两个第一轴承件和彼此平行的两个第二轴承件，所述两个第一轴承件垂直于所述两个第二轴承件，所述第一轴承件和所述第二轴承件沿该衬套的纵向交错设置，能够防止升降销或轴承件异常断裂。
支撑

[实用新型]基板支撑件-CN201921253214.4有效
发明人：考希克·饶;戈文达·瑞泽;阿努巴霍夫·斯利瓦斯塔瓦;桑托斯·库马尔·皮拉帕 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-08-05 - 公布日： 2020-05-01 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本公开内容大体涉及一种基板支撑件，所述基板支撑件包括主体，所述主体具有基板接收表面，所述主体包括介电材料。所述主体还包括第一箔，所述第一箔在所述基板接收表面下方嵌入在所述主体中。
支撑

[发明专利]基板支撑件及基板传送装置-CN201810836543.5在审
发明人：赵进飞 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2018-07-26 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请公开了一种基板支撑件及基板传送装置，该基板支撑件包括底座；支架，支架包括第一连接杆与第二连接杆，第一连接杆的一端固定于底座上，第一连接杆的另一端与第二连接杆的一端通过转动机构活动连接，以使第二连接杆以转动机构为轴相对于第一连接杆运动通过此种方式，改善了导轮高度的调整难度，减轻了调整人员的工作量，同时提升了基板的良率。
连接杆基板支撑件基板传送装置转动机构导轮底座支架活动连接转动连接基板良率工作量申请

[发明专利]加热的基板支撑件-CN201811383048.X在审
发明人：戈文达·瑞泽 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-11-20 - 公布日： 2019-07-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：公开了一种用于半导体处理腔室的加热器，所述加热器包括：陶瓷主体；和电阻加热元件，所述电阻加热元件嵌入所述陶瓷主体中，所述电阻加热元件以加热器线圈的形式设置，所述加热器线圈具有内中心区段和外中心区段，所述内中心区段具有多个第一尖峰并且所述外中心区段具有多个第二尖峰，其中所述第一尖峰的数量小于约56，并且所述第二尖峰的数量小于约80。
尖峰中心区段电阻加热元件加热器加热器线圈陶瓷主体半导体处理腔室基板支撑件加热嵌入

[发明专利]半导体基板支撑件-CN202210191701.2在审
发明人： D·本杰明森;D·卢博米尔斯基 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-08-04 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本申请涉及半导体基板支撑件。工件保持器包括定位盘，该定位盘具有圆柱轴、该圆柱轴周围的半径及厚度。该定位盘的至少顶面是实质平面的，且该定位盘限定一或更多个断热器。
半导体支撑

[发明专利]改进的基板支撑件-CN201780025721.X在审
发明人：苏布哈斯什·罗伊;拉哈夫·米勒·西萨拉穆;乌梅沙·阿切利;桑杰伊·D·雅达夫;元泰景 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-06-12 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：描述了一种用于处理基板的设备。更具体地，本公开内容的实施方式涉及一种用于在处理期间使用湍流加热和冷却基板的改进的基板支撑件。通过在通道内产生湍流，在较短的时间段内传递更大量的热。在一个实施方式中，公开了一种基板支撑组件。所述基板支撑组件包括：静电吸盘，具有与基板接触的表面；和支撑板，与所述静电吸盘相邻。所述支撑板包括一个或多个通道、一个或多个端部空间、以及一个或多个插塞。所述基板支撑组件也包括耦接到所述支撑板的轴。
基板支撑组件支撑板基板支撑件静电吸盘湍流加热和冷却成本效益处理基板处理期间端部空间基板接触温度传递时间段插塞基板改进

[发明专利]薄加热基板支撑件-CN201280011157.3有效
发明人： I·优素福;M·J·萨里纳斯;P·B·路透;A·帕尔;J·A·里 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2012-02-09 - 公布日： 2013-11-20 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明的实施例提供一种在处理腔室中加热且支撑基板的装置。本发明的一个实施例提供一种基板支撑组件。所述基板支撑组件包括加热板及悬臂，所述加热板在前侧上具有基板支撑表面，所述悬臂自所述加热板的背侧延伸。所述加热板经设置以支撑且加热所述基板支撑表面上的基板。所述悬臂具有第一端及第二端，所述第一端在所述加热板的中心轴附近附连到所述加热板，所述第二端自所述中心轴径向向外延伸。
加热支撑

[发明专利]粗糙化的基板支撑件-CN201911423044.4在审
发明人： D·李;W·N·斯特林;朴范洙;崔寿永 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2013-07-12 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明一般是有关于一种用于在一基板处理腔体中使用的基板支撑件。一粗糙化的基板支撑件减少在腔体内的电弧且亦提供均匀沉积于基板上。粗糙化可以两个步骤执行。于一第一步骤中，基板支撑件是进行喷珠以初步地粗糙化表面。接着，粗糙化的表面是以较细的磨粒进行喷珠，以产生一具有介于约707微英寸及约837微英寸间的表面粗糙度的基板支撑件。在表面粗糙化之后，基板支撑件进行阳极处理。
粗糙支撑

[发明专利]低温可偏置基板支撑件-CN202080032435.8在审
发明人：布赖恩·T·韦斯特;桑德拉贾·吉姆布林甘姆;丁克什·胡德利·索曼纳 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-03-23 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：在本文中描述的实施方式涉及基板支撑件和用于控制该基板支撑件的温度的技术。该基板支撑件包含：加热元件和设置在加热元件中的过温开关。该加热元件加热该基板支撑件和设置在该基板支撑件上的基板。该过温开关控制该加热元件和该基板支撑件的温度。该过温开关能够操作以响应于该基板支撑件的温度超过预定温度而切换状态。
低温偏置支撑

[发明专利]基板支撑件和挡板设备-CN202310144800.X在审
发明人：罗曼·古科;陈翰文;史蒂文·韦尔韦贝克;简·德尔马斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-09-14 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：提供一种基板支撑设备。该设备包含圆形底板和一个或更多个间隔器，绕着该底板的圆周设置间隔器。间隔器可从该底板的顶部表面延伸，且环形主体可耦合至间隔器。一个或更多个支撑柱可耦合至该底板且从该底板延伸。支撑柱可在从该环形主体的内表面径向向内的位置处耦合至该底板。
支撑挡板设备

[发明专利]基板支撑件和挡板设备-CN201680058300.2有效
发明人：罗曼·古科;陈翰文;史蒂文·韦尔韦贝克;简·德尔马斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-09-14 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：提供一种基板支撑设备。该设备包含圆形底板和一个或更多个间隔器，绕着该底板的圆周设置间隔器。间隔器可从该底板的顶部表面延伸，且环形主体可耦合至间隔器。一个或更多个支撑柱可耦合至该底板且从该底板延伸。支撑柱可在从该环形主体的内表面径向向内的位置处耦合至该底板。
支撑挡板设备

[发明专利]粗糙化的基板支撑件-CN201380037798.0在审
发明人： D·李;W·N·斯特林;朴范洙;崔寿永 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-08-02 - 公布日： 2015-07-29 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明一般是有关于一种用于在一基板处理腔体中使用的基板支撑件。一粗糙化的基板支撑件减少在腔体内的电弧且亦提供均匀沉积于基板上。粗糙化可以两个步骤执行。于一第一步骤中，基板支撑件是进行喷珠以初步地粗糙化表面。接着，粗糙化的表面是以较细的磨粒进行喷珠，以产生一具有介于约707微英寸及约837微英寸间的表面粗糙度的基板支撑件。在表面粗糙化之后，基板支撑件进行阳极处理。
粗糙支撑

[发明专利]基板支撑系统-CN201480047900.X有效
发明人： D·卢博米尔斯基 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-08-07 - 公布日： 2019-02-15 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种用于基板工艺腔室的基板支撑系统的方法与设备，所述腔室包括：封闭处理区域的腔室主体；至少部分地设置在处理区域中的主基板支撑件与次基板支撑件，所述次基板支撑件外接所述主基板支撑件，其中所述主基板支撑件与所述次基板支撑件中的一个或两个相对于彼此是线性地可移动的，并且所述主基板支撑件相对于所述次基板支撑件是可旋转的。
支撑系统

[发明专利]一种支撑基板的支撑件和支撑装置-CN201510349825.9有效
发明人：张普国;王志强;杨立涛 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2015-06-23 - 公布日： 2018-07-17 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开了一种支撑基板的支撑件和支撑装置，以解决具有温度的差异的支撑件和基板相接触时，在接触处产生Mura，从而导致成品后的液晶显示器显示不均匀的问题。所述支撑基板的支撑件，包括中空结构的本体、设置于本体的中空结构内的温度传感器、加热部件和导热液体、与温度传感器连接的第一导线和与加热部件连接的第二导线；温度传感器贴附于本体的内壁，用于感应本体的温度数据
加热部件温度传感器支撑件导热液体支撑基板中空结构温度数据支撑装置液晶显示器显示感应本体热能传导不均匀接触处热液体基板内壁贴附绝缘供电传输延伸

[发明专利]降低静电放电的设备及方法-CN201180020890.7有效
发明人： B·G·米勒 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2011-05-23 - 公布日： 2013-01-30 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种适于用以测试或处理基板的系统的基板支撑件单元。该基板支撑件单元包含：支撑件台桌，该支撑件台桌具有至少一个基板承载件结构，该基板承载件结构适于支撑基板，该基板承载件结构相对于接地端为电气浮置。
降低静电放电设备方法

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