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[发明专利]基板清洁腔室以及清洁与调节方法-CN200880017116.9有效
发明人：维内特·H·梅塔;卡尔·M·布朗;约翰·A·帕皮通;丹尼尔·J·霍夫曼;史蒂文·C·香农;基思·A·米勒;维杰·D·帕克 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2008-05-02 - 公布日： 2010-03-24 - 主分类号： C25F1/00 文献下载
摘要：基板清洁室包括具有拱形表面的轮廓顶电极，所述拱形表面面对基板支撑件且具有可变的横截面厚度，以改变拱形表面与基板支撑件之间的间隙大小好提供横跨基板支撑件的可变的等离子体密度。清洁室的介电环包括底部、脊部以及覆盖基板支撑件的外围唇部的径向向内架部。底部挡板包括具有至少一外围壁的圆形盘。同时描述了清洁室的清洁与调节处理。
清洁以及调节方法

[发明专利]升降设备的伺服控制及其使用方法-CN202180016693.1在审
发明人：保罗·沃思;贝扎德·塔赫里 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-02-25 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本文公开一种升降设备和系统的实施方式，所述系统包括支撑件和至少一个升降设备，以使用伺服控制系统在支撑件与传送平面之间移动基板。本文还公开用于升降设备的伺服控制和将基板从支撑件升起或将基板降低到支撑件上的方法。
升降设备伺服控制及其使用方法

[发明专利]液晶天线、拼接液晶天线和制备液晶天线的方法-CN202211740362.5在审
发明人：韩笑男;林柏全;王林志;刘桢;邢一凡;朱逸然;杨作财;扈映茹 -专利权人：成都天马微电子有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： H01Q1/12 文献下载
摘要：本申请提供了提供一种液晶天线、拼接液晶天线和制备液晶天线的方法，包括支撑结构、液晶、第一基板和第二基板，第一基板和第二基板相对设置，支撑结构设置于第一基板和第二基板之间，第一基板包括第一金属层，第一金属层设置于第一基板朝向第二基板的一侧，第二基板包括第二金属层，第一金属层设置于第二基板朝向第一基板的一侧，第二金属层包括功能件和垫高件，功能件与第一金属层沿第一方向层叠设置，第一方向垂直于第二基板，功能件与第一金属层至少部分交叠，支撑结构设置于垫高件与第一金属层之间通过在垫高件和第一金属层间设置支撑结构，使第一基板和第二基板之间各处间隔均匀，提高本案提供的液晶天线和拼接液晶天线的工作稳定性。
液晶天线拼接制备方法

[实用新型]玻璃基板卡匣支撑装置-CN201120073557.X有效
发明人：张锋 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
申请日： 2011-03-18 - 公布日： 2011-11-23 - 主分类号： B65D25/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及玻璃基板的运输与存储中所使用的玻璃基板卡匣，特别涉及玻璃基板卡匣的支撑装置。本实用新型玻璃基板卡匣支撑装置包括支撑杆本体和位于支撑杆本体上的支撑件，另外，所述支撑忤采用橡胶材料或者采用橡胶复合材料制成。本实用新型玻璃基板卡匣支撑装置通过材质的改变，增大了玻璃基板与支撑件之间的摩擦力，可以有效防止玻璃基板在受外力的情况下滑出玻璃基板卡匣，从而避免玻璃基板的破碎。
玻璃板卡支撑装置

[发明专利]一种基板传输设备及制备液晶面板的系统-CN201710766949.6有效
发明人：龙文杰 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2017-08-30 - 公布日： 2019-08-02 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种基板传输设备及制备液晶面板的系统，所述基板传输设备包括基部，所述基部包括支撑面；衬垫，所述衬垫固定在所述基部上，所述衬垫包括弹性支撑件，所述弹性支撑件的底面与所述支撑面贴合以形成负压，所述弹性支撑件的顶面用于支撑所述基板通过上述方式，本发明能够平稳可靠的对基板进行传输，而且能够避免基板传输时与衬垫接触受力不均引起的不良。
基板传输设备弹性支撑件基部液晶面板支撑面制备基板传输受力不均对基板底面顶面负压基板贴合传输支撑

[实用新型]一种自立式抱杆-CN201920377541.4有效
发明人：陈宏浩 -专利权人：佛山市南海冠恒钢构有限公司
申请日： 2019-03-22 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： E04H12/18 文献下载
摘要：本实用新型公开一种自立式抱杆，包括第一基板、垂直设置于第一基板上的立柱和安装于立柱上的抱杆，还包括支撑角度调节组件，支撑角度调节组件包括第二基板、垂直设置于第二基板上的安装板、通过销轴铰接于安装板的支撑件、固定于立柱侧面的调节板和滑杆，调节板上开有圆弧滑槽，滑杆与圆弧滑槽配合，支撑件通过滑杆与调节板铰接。滑杆可沿圆弧滑槽滑动，根据不同使用场合对应不同的支撑角度调节第一基板和第二基板的相对距离，支撑件与调节板之间都存在支点，支撑件对立柱的支撑可靠性高。
调节板支撑件滑杆第二基板第一基板圆弧滑槽角度调节组件垂直设置支撑安装板立柱本实用新型自立式抱杆角度调节立柱侧面销轴铰接滑动抱杆铰接对立配合

[发明专利]具有浮置铂构件的铂电阻温度传感器-CN202211646697.0在审
发明人： T.B.布朗;R.丁;D.D.利奇;D.W.法利 -专利权人：弗兰克公司
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： G01K7/18 文献下载
摘要：该壳体包括第一基板，第一基板具有与第一基板的上表面间隔开的第一支撑件和第二支撑件。第一基板的第一支撑件支撑所述铂构件的第一部分，并且第二支撑件支撑铂构件的第二部分。铂构件的中间部分悬置在第一支撑件和第二支撑件之间的第一基板的上表面上方。
具有浮置铂构件铂电阻温度传感器

[发明专利]具有浮置铂构件的铂电阻温度传感器-CN202010587810.7有效
发明人： T.B.布朗;R.丁;D.D.利奇;D.W.法利 -专利权人：弗兰克公司
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： G01K7/18 文献下载
摘要：该壳体包括第一基板，第一基板具有与第一基板的上表面间隔开的第一支撑件和第二支撑件。第一基板的第一支撑件支撑所述铂构件的第一部分，并且第二支撑件支撑铂构件的第二部分。铂构件的中间部分悬置在第一支撑件和第二支撑件之间的第一基板的上表面上方。
具有浮置铂构件铂电阻温度传感器

[发明专利]具有支撑体的感光半导体封装件及其制法-CN200410006383.X无效
发明人：黄致明;萧承旭;黄建屏 -专利权人：矽品精密工业股份有限公司
申请日： 2004-02-27 - 公布日： 2005-08-31 - 主分类号： H01L31/0203 文献下载
摘要：一种具有支撑体的感光半导体封装件及其制法，该封装件包括：基板、具有收纳空间的支撑体、封装胶体、至少一个芯片以及盖件；该制法首先在基板的上表面上设置具有收纳空间的支撑体，再于该基板上形成与该支撑体的外壁结合的封装胶体，然后，在该基板外露于该支撑体的收纳空间中的预定部分上粘接至少一个芯片，并使该芯片与基板电性连接，接着，将透光盖片粘设至该支撑体及封装胶体上，再于该基板的底面上形成焊球或接触垫，即完成该感光半导体封装件；由于基板上预设有支撑体，所以封装胶体能以单一模具适用于不同尺寸的封装件的封装工序，因而能降低生产成本，并能避免基板被插入式模具压损以及避免基板上的焊指被该模具污染。
具有支撑感光半导体封装及其制法

[发明专利]消除干涉端点检测系统中的内部反射-CN201910993086.5在审
发明人：连雷;P·韩 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-10-18 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：公开了一种用于操作处理腔室的端点检测系统的方法，所述处理腔室具有形成在其中的顶板、位于所述处理腔室内的基板支撑件和搁置在所述基板支撑件上的基板。透明面板位于所述处理腔室的所述顶板中，所述面板相对于所述基板和所述基板支撑件以第一锐角定向。所述透明面板从所述端点检测系统接收相对于所述面板为第二锐角的入射光束。所述透明面板以垂直于所述基板和所述基板支撑件的角度将所述入射光束传输到所述处理腔室内的所述基板。
消除干涉端点检测系统中的内部反射

[发明专利]支撑装置、基板传送设备及其方法-CN200710112215.2无效
发明人：张顺竹 -专利权人：茂迪股份有限公司
申请日： 2007-06-21 - 公布日： 2008-12-24 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开了一种支撑装置，该装置包括用来支撑基板的支撑架本体以及用来支撑基板边角的辅助架，使得基板得以实际上水平地放置在支撑装置上。本发明同时公开了一种基板传送设备，该设备包括该支撑装置和可移动的凸出件。此基板传送设备能避免可移动的凸出件在往复移动时与基板的边角发生碰撞。
支撑装置传送设备及其方法

[发明专利]用于等离子体蚀刻腔室的孔部件-CN201610576148.9有效
发明人： S·辛格;G·J·斯科特;A·库玛 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2012-04-25 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本文描述的实施例提供使用具有可移动式孔的离子蚀刻腔室来蚀刻基板的设备及方法。离子蚀刻腔室具有腔室主体，腔室主体包围处理区域、基板支撑件、等离子体源、离子‑自由基屏蔽件及可移动式孔部件。基板支撑件布置于处理区域中且具有基板接收表面。等离子体源布置于面对基板接收表面的腔室主体的壁上。离子‑自由基屏蔽件布置于等离子体源与基板接收表面间。可移动式孔部件介于离子‑自由基屏蔽件与基板接收表面间。可移动式孔部件通过升举组件而致动，升举组件包含升举环及自升举环至孔部件的升举支撑件。离子‑自由基屏蔽件通过经由孔部件而布置的屏蔽件支撑件而支撑。孔大小、形状及/或中心轴位置可藉使用插入件而改变。
用于等离子体蚀刻部件

[发明专利]电感耦合等离子体（ICP）反应器的动态离子自由基筛与离子自由基孔-CN201280025684.X有效
发明人： S·辛格;G·J·斯科特;A·库玛 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2012-04-25 - 公布日： 2014-03-19 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本文描述的实施例提供使用具有可移动式孔的离子蚀刻腔室来蚀刻基板的设备及方法。离子蚀刻腔室具有腔室主体，腔室主体包围处理区域、基板支撑件、等离子体源、离子-自由基屏蔽件及可移动式孔部件。基板支撑件布置于处理区域中且具有基板接收表面。等离子体源布置于面对基板接收表面的腔室主体的壁上。离子-自由基屏蔽件布置于等离子体源与基板接收表面间。可移动式孔部件介于离子-自由基屏蔽件与基板接收表面间。可移动式孔部件通过升举组件而致动，升举组件包含升举环及自升举环至孔部件的升举支撑件。离子-自由基屏蔽件通过经由孔部件而布置的屏蔽件支撑件而支撑。孔大小、形状及/或中心轴位置可藉使用插入件而改变。
电感耦合等离子体 icp 反应器动态离子自由基

[发明专利]液晶显示面板及显示装置-CN202010017946.4在审
发明人：吴咏波 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2020-01-08 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： G02F1/1339 文献下载
摘要：本申请提供一种液晶显示面板及显示装置，所述液晶显示面板包括第一基板、第二基板和液晶层，所述液晶显示面板内设置有盲孔区，所述第一基板朝向所述液晶层的一侧设置有支撑件，所述支撑件的第一端支撑所述第一基板，所述支撑件的第二端支撑所述第二基板，所述第二基板朝向所述液晶层一侧设置有多条突出其表面的金属走线，至少在所述盲孔区周围，所述金属走线间隔排布，所述支撑件的第二端支撑于相邻两条所述金属走线之间。所述液晶显示面板的上述结构设置可以防止所述支撑件滑移而导致盲孔区凹陷变形。
液晶显示面板显示装置

[实用新型]基板支撑结构以及退火炉-CN201620650450.X有效
发明人：臧宇;林昶 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2016-06-27 - 公布日： 2016-12-14 - 主分类号： C03B25/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基板支撑结构及退火炉，所述基板支撑结构包括：固定台以及若干用于支撑一基板的支撑件，所述支撑件固定于所述固定台上，所述支撑件包括球体以及容纳结构，所述容纳结构具有一上方开口的容纳空间，在本实用新型的基板支撑结构可以避免对基板的背部造成划伤。本实用新型还公开一种包括上述基板支撑结构的退火炉，当基板在薄膜沉积或离子注入后进行退火工艺时，退火炉内的所述基板支撑结构用于撑起所述基板。
支撑结构以及退火炉