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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于在半导体应用中使用超临界流体的方法和设备-CN201880029367.2有效
发明人： 简·德尔马斯;史蒂文·韦尔韦贝克 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-03-26 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：提供了一种用于处理基板的方法和设备。二氧化碳液体的进料流在压力下自进料供应器被供应至纯化容器。在该纯化容器中的该二氧化碳液体在单级蒸馏工艺中被蒸馏以形成纯化的二氧化碳气体。该处理方法包含以下步骤：通过与来自制冷系统的制冷剂进行热交换来冷凝在该冷凝器中的该纯化的二氧化碳气体以形成纯化的二氧化碳液体。该纯化的二氧化碳液体被加热至高于临界点的目标温度以使该纯化的二氧化碳液体变为超临界二氧化碳流体。该处理方法包含以下步骤：使用该超临界二氧化碳流体以清洁被设置在处理腔室中的基板。
用于半导体应用使用临界流体方法设备

[发明专利]基板支撑件和挡板设备-CN202310144800.X在审
发明人：罗曼·古科;陈翰文;史蒂文·韦尔韦贝克;简·德尔马斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-09-14 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：提供一种基板支撑设备。该设备包含圆形底板和一个或更多个间隔器，绕着该底板的圆周设置间隔器。间隔器可从该底板的顶部表面延伸，且环形主体可耦合至间隔器。该环形主体可与该底板间隔开以界定该底板与该环形主体之间的孔隙。一个或更多个支撑柱可耦合至该底板且从该底板延伸。支撑柱可在从该环形主体的内表面径向向内的位置处耦合至该底板。
支撑挡板设备

[发明专利]缩减空间的处理腔室-CN202211571621.6在审
发明人：罗曼·古科;陈翰文;史蒂文·韦尔韦贝克;简·德尔马斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-09-13 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：在此描述的实施方式一般涉及具有缩减空间的处理腔室，以执行超临界干燥处理或其他相变处理。该腔室包含可移动地设置于第一轨道上的基板支撑件和可移动地设置于第二轨道上的门。基板支撑件和门可经配置以相互独立地移动，且该腔室可经配置以最小化腔室内基板的垂直移动。
缩减空间处理

[发明专利]基板支撑件和挡板设备-CN201680058300.2有效
发明人：罗曼·古科;陈翰文;史蒂文·韦尔韦贝克;简·德尔马斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-09-14 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：提供一种基板支撑设备。该设备包含圆形底板和一个或更多个间隔器，绕着该底板的圆周设置间隔器。间隔器可从该底板的顶部表面延伸，且环形主体可耦合至间隔器。该环形主体可与该底板间隔开以界定该底板与该环形主体之间的孔隙。一个或更多个支撑柱可耦合至该底板且从该底板延伸。支撑柱可在从该环形主体的内表面径向向内的位置处耦合至该底板。
支撑挡板设备

[发明专利]小热质量的加压腔室-CN202211185197.1在审
发明人：罗曼·古科;陈翰文;史蒂文·韦尔韦贝克;简·德尔马斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-09-12 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本文描述的实施方式一般涉及并入小热质量的处理腔室，所述腔室能够实现针对超临界干燥工艺的有效温度循环。所述腔室一般包含：主体、衬垫和隔离元件，所述隔离元件能够实现使衬垫展现出相对于主体的小热质量。所述腔室还构造有用于在腔室的处理容积内产生和/或维持超临界流体的合适的设备。
质量加压

[发明专利]缩减空间的处理腔室-CN201680058294.0有效
发明人：罗曼·古科;陈翰文;史蒂文·韦尔韦贝克;简·德尔马斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-09-13 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：在此描述的实施方式一般涉及具有缩减空间的处理腔室，以执行超临界干燥处理或其他相变处理。该腔室包含可移动地设置于第一轨道上的基板支撑件和可移动地设置于第二轨道上的门。基板支撑件和门可经配置以相互独立地移动，且该腔室可经配置以最小化腔室内基板的垂直移动。
缩减空间处理

[发明专利]小热质量的加压腔室-CN201680054443.6有效
发明人：罗曼·古科;陈翰文;史蒂文·韦尔韦贝克;简·德尔马斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-09-12 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本文描述的实施方式一般涉及并入小热质量的处理腔室，所述腔室能够实现针对超临界干燥工艺的有效温度循环。所述腔室一般包含：主体、衬垫和隔离元件，所述隔离元件能够实现使衬垫展现出相对于主体的小热质量。所述腔室还构造有用于在腔室的处理容积内产生和/或维持超临界流体的合适的设备。
质量加压

[发明专利]用于高纵横比特征的干燥工艺-CN201680057046.4有效
发明人：罗曼·古科;陈翰文;史蒂文·韦尔韦贝克;简·德尔马斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-09-13 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：公开一种基板处理方法。该方法包含以下步骤：输送溶剂至处理腔室，且输送基板至该处理腔室。出现在该处理腔室中的溶剂的分量可经配置以浸没该基板。可输送液态CO2至该处理腔室且可将该液态CO2与该溶剂混合。可输送一分量大于该处理腔室的容积的的额外液态CO2至该处理腔室，以置换该溶剂。可在该处理腔室中将该液态CO2相转变为超临界CO2，且可通过等温减压该处理腔室及自该处理腔室排出气体CO2来干燥该基板。
用于纵横特征干燥工艺

[发明专利]液态锂供应和调节-CN201980042305.X在审
发明人： 简·德尔马斯;伯纳德·弗雷 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-06-19 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： C22B9/02 文献下载
摘要：提供了用于生产和递送高纯度的锂金属的方法和系统。尤其是，提供了用于锂金属纯化、递送和沉积的方法和系统。在至少一个方面中，提供了一种液态锂递送系统。所述液态锂递送系统包括液态锂递送模块。所述液态锂递送系统包括：锂存储区域，所述锂存储区域可操作以储存液态锂；泵送区域，所述泵送区域可操作以移动液态锂通过所述锂递送模块；和流控制区域。所述泵送区域包括电磁泵，所述电磁泵可操作以使用电磁来移动所述液态锂。可操作以控制液态锂的流量的所述流控制区域包括一个或多个阀，所述一个或多个阀可操作以控制所述液态锂的所述流量，其中所述泵送区域定位在所述锂存储区域下游和所述流控制区域上游。
液态应和调节

[发明专利]用于高压处理系统的冷凝器系统-CN201880074319.5在审
发明人： 简·德尔马斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-11-07 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： B01J3/00 文献下载
摘要：在本文中描述的实施方式涉及具有冷凝器的高压处理系统和用于利用所述高压处理系统的方法。处理系统包含：处理腔室、锅炉、冷凝器和一个或多个热交换器。所述锅炉产生流体(例如蒸气或超临界流体)，并且将所述流体输送至处理基板所在的处理腔室。在处理基板之后，对系统进行减压并且将所述流体输送至冷凝器，在冷凝器对所述流体进行冷凝。
用于高压处理系统冷凝器

[发明专利]高压高温退火腔室-CN201880057402.1在审
发明人： 简·德尔马斯;史蒂文·韦尔韦贝克;柯蒂斯·莱施克斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-07-20 - 公布日： 2020-05-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开内容的实施方式涉及用于退火半导体基板的设备和方法。在一个实施方式中，披露一种批量处理腔室。批量处理腔室包括：腔室主体，所述腔室主体包围处理区域；气体面板，所述气体面板配置成提供处理流体至处理区域中；凝结器，所述凝结器流体连接至处理区域；和温度控制的流体回路，所述温度控制的流体回路配置成将处理流体维持在高于处理流体的凝结点的温度。处理区域被配置成在处理期间保持多个基板。凝结器被配置成将处理流体凝结成液态。
高压高温退火

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