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[发明专利]工件台垂向位置测量系统-CN201010508118.7无效
发明人：林彬 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2010-10-15 - 公布日： 2012-05-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提出一种工件台的垂向位置测量系统，包括两个角反射镜、两个光束产生/探测装置。两个角反射镜分别安装在工件台的x向的两侧，包括连接成直角的两片反射镜片。两个光束产生/探测装置安装在工件台的基准位置上，根据公式得到工件台的z向位置，其中k为工件台的x向宽度，(x0，y0)为工件台的当前位置，z1、z2分别为第一光束产生/探测装置和第二光束产生/探测装置测得的工件台的z向位置。本发明提出的工件台的垂向位置测量系统利用角反射镜对光线进行反射，误差小，节省测试时间。
工件位置测量系统

[发明专利]高精度垂向位置测量装置-CN201010130820.4无效
发明人：金小兵;李志丹;陈飞彪;鲁武旺 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2010-03-23 - 公布日： 2011-09-28 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：一种高精度垂向位置测量装置，在该装置中，光源发出的测量光束经由被测硅片反射后入射至高速旋转的斩光器，斩光器将测量光束转换成高频光学信号，该高频光学信号被二象限PD接收，二象限PD将高频光学信号转换成两个象限的电信号，对两个象限的电信号进行分析处理得出被测硅片在垂向的位置偏移信息。
高精度位置测量装置

[发明专利]一种垂向位置测量装置-CN201410035494.7有效
发明人：王兴海;王海江 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2014-01-26 - 公布日： 2017-06-06 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提出一种垂向位置测量装置，其特征在于，沿光路方向依次包括照明光源，用于发射照明光束；第一光学组件，用于产生平行光照射到投影狭缝；投影狭缝；第二光学组件，用于将投影狭缝成像到被测对象表面；第三光学组件，用于接收被测对象表面反射的投影狭缝成像，并对成像进行光学调制；第四光学组件，用于将投影狭缝成像在探测狭缝位置；探测狭缝；光电传感器，用于接收探测狭缝所成的像；以及信号处理单元，用于接收光电传感器信号并计算垂向位置；其中，所述投影狭缝、探测狭缝与光电传感器的数量相等并且位置对应，每个光电传感器由N个单元组成，每个单元具有独立的光电信号接收和输出功能，每个单元在测量方向上的尺寸与每个投影狭缝的尺寸相等，每个光电传感器在测量方向上的尺寸与每个探测狭缝的尺寸相等
一种位置测量装置

[发明专利]工件台位置校准方法、FLS垂向定位工装及工件台测量系统-CN201910678040.4有效
发明人：陈南曙 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2019-07-25 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种工件台位置校准方法、FLS垂向定位工装及工件台测量系统，所述工件台位置校准方法主要通过装设于主基板上的FLS垂向定位工装，对先后装设于工件台上的多面镜工装反射镜与第一基准板进行测量，分别得到第一垂向位置与所述第二垂向位置，进而基于所述第一垂向位置与所述第二垂向位置，校准所述工件台的垂向零位。由于在多面镜工装反射镜完成距物镜像距的位置调整后，多面镜工装反射镜的上表面即与物镜像面位置一致，进而以第一垂向位置为基准，根据第二垂向位置调整工作台的垂向零位，相比现有技术，直接以第一基准板的上表面与物镜像面的关系为基准
工件位置校准方法 fls 定位工装测量系统

[发明专利]反向加载式路面加速加载设备碾压轮荷的动态调整方法-CN202211722905.0在审
发明人：杨福广;阮久宏;管志光;张吉卫;冯晋祥;张鹏;贾倩;王刚;冯冰;国兴玉;吴清珍;王慧君;韩鹰 -专利权人：山东交通学院
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01N3/32 文献下载
摘要：该动态调整方法，通过设置向上垂向力可调的垂向施力装置，以能耗最小为目标、以垂向施力装置垂向施力范围、垂向施力装置垂向施力变化率范围、不同空间位置碾压轮荷期望值和设备本体力学模型为约束条件，建立了垂向施垂向施力装置施力分配优化模型，获得满足碾压轮荷期望值条件下的向上垂向力的期望值。根据向上垂向力的期望值调整垂向施力装置施加的向上垂向力，实现碾压轮荷的调整，达到碾压轮运动过程中按照期望碾压轮荷对不同空间位置实验路面进行碾压的目的。
反向加载路面加速设备碾压动态调整方法

[发明专利]一种光刻机工件台及其垂向位置初始化方法-CN201410070238.1有效
发明人：廖飞红;朱岳彬;贾海立;胡书平 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2014-02-28 - 公布日： 2018-01-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提出一种光刻机工件台，包括水平向模块、微动模块、预对准模块和衬底交接模块，其特征在于所述微动模块包括多个重力补偿器，多个绝对位置传感器，多个光栅尺传感器以及微动板；所述多个绝对位置传感器用于工件台的垂向位置回零；所述多个光栅尺传感器用于工件台的垂向伺服控制。本发明提出的一种光刻机工件台及其垂向位置初始化方法，提高了工件台相对整机的垂向零位稳定性，解决了由于垂向回零不准导致的工件台垂向运动精度差的可靠性不足的问题，同时还为光栅尺垂向装调过程带来了便利。
一种光刻机工及其位置初始化方法

[发明专利]汽车塔库垂向运行控制系统及方法-CN201810427912.5在审
发明人：林枫;郑重;张伟旭 -专利权人：苏州汇川技术有限公司
申请日： 2018-05-07 - 公布日： 2018-10-12 - 主分类号： E04H6/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种汽车塔库垂向运行控制系统及方法，所述垂向运行控制系统包括定位装置和控制装置，且所述控制装置包括运行控制单元、采样单元以及调整单元，其中：所述定位装置，用于根据所述垂向运载平台的位置实时输出信号；所述运行控制单元，用于控制所述电机驱动所述垂向运载平台按速度规划曲线运行；所述采样单元，用于实时获取所述垂向运载平台的当前位置和当前运行速度；所述调整单元，用于根据所述当前位置、当前运行速度以及预设参数本发明通过速度规划曲线实现垂向运载平台的停靠控制，并根据垂向运载平台的位置实时调整速度规划曲线，从而使得垂向运载平台在速度变换时较为平稳且运行效率较高。
垂向运载平台速度规划运行控制系统运行控制单元采样单元调整单元定位装置控制装置实时调整塔库电机驱动实时获取实时输出速度变换预设参数运行效率汽车

[实用新型]汽车塔库垂向运行控制系统-CN201820670614.4有效
发明人：林枫;郑重;张伟旭 -专利权人：苏州汇川技术有限公司
申请日： 2018-05-07 - 公布日： 2019-03-22 - 主分类号： E04H6/18 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种汽车塔库垂向运行控制系统，所述垂向运行控制系统包括定位装置和控制装置，且所述控制装置包括运行控制单元、采样单元以及调整单元，其中：所述定位装置，用于根据所述垂向运载平台的位置实时输出信号；所述运行控制单元，用于控制所述电机驱动所述垂向运载平台按速度规划曲线运行；所述采样单元，用于实时获取所述垂向运载平台的当前位置和当前运行速度；所述调整单元，用于根据所述当前位置、当前运行速度以及预设参数本实用新型通过速度规划曲线实现垂向运载平台的停靠控制，并根据垂向运载平台的位置实时调整速度规划曲线，从而使得垂向运载平台在速度变换时较为平稳且运行效率较高。
垂向运载平台速度规划运行控制系统运行控制单元本实用新型采样单元调整单元定位装置控制装置实时调整塔库电机驱动实时获取实时输出速度变换预设参数运行效率汽车

[实用新型]顶盖限位结构、顶盖装置及铁路货车-CN202123446367.0有效
发明人：魏常庆;马子钦;王洪昆;王文刚;边志宏;王蒙;丁颖;王萌;焦杨;马瑞峰;徐建喜;张国彪 -专利权人：国能铁路装备有限责任公司;中车齐齐哈尔车辆有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： B61D7/00 文献下载
摘要：顶盖限位结构包括横向限位组件及垂向限位组件。横向限位组件包括用于安装在车体的横向限位座，横向限位座包括横向限位部，横向限位部用于将顶盖限制在关闭极限位置。垂向限位组件包括用于安装在车体的垂向限位座，垂向限位座包括垂向限位部，垂向限位部用于将顶盖限制在打开极限位置。当顶盖关闭时，横向限位部将顶盖限制在关闭极限位置，抑制顶盖继续关闭，避免顶盖关闭过度，保护顶盖，防止顶盖受到损坏，延长使用寿命。当顶盖打开时，垂向限位部将顶盖限制在打开极限位置，抑制顶盖继续打开，这避免顶盖打开过度，保护顶盖，防止顶盖受到损坏，延长顶使用寿命。
顶盖限位结构装置铁路货车

[发明专利]直线行驶工况车身垂向及俯仰运动信息估算系统及方法-CN202310249330.3在审
发明人：史文库;吴骁;陈志勇 -专利权人：吉林大学
申请日： 2023-03-15 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： B60G17/018 文献下载
摘要：本发明涉及一种直线行驶工况车身垂向及俯仰运动信息估算系统及方法，系统包括用于捕捉行车前方道路信息的图像信息捕捉模块、用于获取行车速度的车速估计模块、用于估算车身垂向位置及俯仰角度的车身垂向位置及俯仰角度估算模块以及车身垂向信息及俯仰角度信息估算与显示模块；车身垂向信息及俯仰角度信息估算与显示模块用于计算车辆垂向速度、垂向加速度、俯仰角速度、俯仰角加速度，并将其显示在中控显示器上。本发明利用视觉传感器来获取车辆的姿态，无需增加汽车垂向加速度传感器与转角传感器即可实时准确地测算车身垂向高度、垂向速度、垂向加速度、俯仰角度、俯仰角速度、俯仰角加速度，为汽车主动悬架、半主动悬架控制提供信息参考
直线行驶工况车身俯仰运动信息估算系统方法

[发明专利]一种常接触式防止钢弹簧断裂的方法及垂向止挡-CN201510538082.X有效
发明人：冯万盛;罗俊;李斌;肖祥龙;陈俊辉;曾慧 -专利权人：株洲时代新材料科技股份有限公司
申请日： 2015-08-28 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： B61F5/50 文献下载
摘要：一种常接触式防止钢弹簧断裂的方法及垂向止挡，在橡胶主体上方设回转体状的橡胶凸台，在机车空载时橡胶凸台就与构架导筒接触；调节橡胶凸台和橡胶主体的直径或高度能调节垂向止挡的刚度；调节橡胶主体上的环形平直段与水平面之间的夹角，能调节垂向止挡的变刚度；橡胶凸台与橡胶主体通过环形圆弧段连接，调节垂向止挡的环形圆弧段的段数能调节垂向止挡变刚度的次数；底座嵌在垂向止挡的橡胶主体中，使底座能对垂向止挡进行限位，调节底座的高度能调节垂向止挡限位的位置和垂向止挡的刚度；通过调节垂向止挡的刚度、变刚度和限位的位置来减小钢弹簧承受的垂向载荷，降低机车运行过程中钢弹簧产生的金属疲劳，从而防止钢弹簧断裂。
垂向止挡橡胶主体钢弹簧橡胶凸台变刚度底座常接触式环形圆弧断裂的限位机车运行过程垂向载荷回转体状金属疲劳止挡限位段连接平直段导筒段数减小空载断裂构架机车

[发明专利]光刻机的垂向控制装置及方法-CN201010592409.9有效
发明人：王献英;毛方林;段立峰 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2010-12-16 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光刻机的垂向控制方法，包括如下步骤：a.由调焦调平传感器测量初始位置下基底上的测量点的位置信息，由垂向测量传感器测量初始位置下工件台的位置信息；b.根据上述位置信息计算得到将基底上的测量点调节至目标平面内的垂向设定值；c.以所述垂向设定值为闭环控制的输入值，以垂向测量传感器实时测量得到的当前位置下工件台的位置信息作为闭环控制的反馈值，对工件台的位置进行闭环控制，从而将基底上的测量点调到目标平面。根据本发明的垂向控制方法，调焦调平传感器无需参与到闭环控制中，可大大节省时间并降低闭环机制的复杂度。
光刻控制装置方法

[发明专利]一种硅片预对准装置及方法-CN201010286105.X有效
发明人：蔡巍;徐兵;陈跃飞;王端秀 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2010-09-17 - 公布日： 2012-04-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种硅片预对准装置，包括用于吸附硅片并带动硅片进行旋转的旋转台，用于获取硅片边缘在水平向位置的边缘水平向传感器，用于获取硅片边缘在垂向位置的边缘垂向传感器，用于对旋转台、边缘水平向传感器和边缘垂向传感器进行同步控制的控制器，其中，当旋转台旋转时，控制器向边缘水平向传感器和边缘垂向传感器发送同步触发信号，从而两个传感器同时获取各自当前的测量值，同步获得硅片的边缘水平向位置和边缘垂向位置，通过在该点的垂向位置测量值来补偿硅片边缘当前水平向测量值硅片旋转一周，即可以获取硅片边缘所有的水平向测量值，进而可以获取硅片的偏心值和硅片缺口的方向。本发明还提供一种硅片预对准的方法。
一种硅片对准装置方法

[发明专利]高精度地图垂向要素更新检测方法、系统、介质及设备-CN202210085972.X有效
发明人：杨殿阁;杨蒙蒙;黄健强;江昆;温拓朴 -专利权人：清华大学
申请日： 2022-01-25 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G01C21/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种高精度地图垂向要素更新检测方法、系统、介质及设备，其包括：从获取的原始图像数据中检测出图片中的地图垂向要素，得到每个被检测的所述垂向要素的像素边缘点；将获取的相邻时刻图像上的垂向要素进行关联，得到相邻时刻图像中相应关联像素之间的速度向量；根据速度向量得到车辆位置姿态信息，利用车辆位置姿态信息将被检测到的垂向要素的上边缘与下边缘点的像素转标转换为世界坐标系，得到垂向要素相对于车辆的距离；根据垂向要素相对于车辆的距离确定垂直物体是否存在，并计算垂直物体存在的置信度，同时确定垂直物体的位置；根据垂直物体存在的置信度和位置，更新高精度地图数据库。
高精度地图要素更新检测方法系统介质设备

[发明专利]一种物镜曝光焦面的检测方法及装置-CN202210876988.2在审
发明人：王镇辉;付纯鹤;高荣荣;魏祥英;苏鹏方 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-07-25 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请提供了一种物镜曝光焦面的检测方法及装置，包括：确定基准板在可移动工作台的多个垂向位置下的成像数据，每个垂向位置下的成像数据通过以下方式获得：控制可移动工作台到达一垂向位置，控制对准系统开启，捕捉基准板标记经由物镜在掩模版上所形成的成像数据；根据各垂向位置下的成像数据，确定每个垂向位置的成像评价值；根据最高成像评价值或最低成像评价值对应的目标垂向位置，确定物镜对准焦面所在位置，根据物镜对准焦面所在位置以及物镜对准焦面与物镜曝光焦面之间的固定偏置值，确定物镜曝光焦面所在位置。本申请通过获取物镜对准焦面及固定偏差值确定物镜曝光焦面，提高对物镜曝光焦面位置的检测速度。
一种物镜曝光检测方法装置

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