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[发明专利]一种大型山区河流航道整治工程整治线宽度确定方法-CN202211701530.X在审
发明人：张帅帅;张璠;王涛;何艳军;曾施雨;朱俊凤;苏丽;刘辛愉;邵伟峰;何奔;刘陈;张毅;王艳芳;蒋海燕 -专利权人：长江重庆航运工程勘察设计院
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G06F17/13 文献下载
摘要：本发明涉及一种大型山区河流航道整治工程整治线宽度确定方法，包括如下步骤：基于最小河流能耗原理推导出整治线宽度计算公式，并确定河相关系指数；根据所述整治线宽度计算公式确定整治线宽度初值，并根据该整治线宽度初值布置整治建筑物；研究布置整治建筑物前后通航汊道的分流量变化情况，并重新计算整治线宽度；重复步骤S3直至通航汊道的分流量变化情况符合预设的合理变化范围，此时的整治线宽度即为最优整治线宽度。本发明基于最小河流原理推导出了适用于大型山区河流航道整治的整治线宽度计算公式，既满足了整治效果和质量要求，又能很好地应用于大型山区河流航道整治，不但具有良好的精度还具有良好的适用性。
一种大型山区河流航道整治工程宽度确定方法

[发明专利]集成电路制造刻蚀效应建模方法、装置、设备及存储介质-CN202311040297.X有效
发明人：胡超;喻文健;刘鹏翃 -专利权人：北京超逸达科技有限公司
申请日： 2023-08-17 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G06F30/392 文献下载
摘要：本发明涉及一种集成电路制造刻蚀效应建模方法、装置、设备及存储介质，其中，方法包括：将目标常数线宽变化量模型、目标基于原始线宽或线间距的线宽变化量模型、目标梯形截面倾斜角度线宽变化量模型和目标基于通孔长度或宽度线宽变化量模型写入工艺文件中；根据实际电路设计版图生成实际电路设计版图互连线的三维结构，基于三维结构查询工艺文件，得到相应模型中互连线的线宽修正量；根据线宽修正量生成基于刻蚀效应的相应模型的互连结构，根据互连结构对实际电路设计版图进行校正
集成电路制造刻蚀效应建模方法装置设备存储介质

[发明专利]相干光正交频分复用系统中相位噪声补偿下的信道估计方法-CN201110254453.3无效
发明人：童峥嵘;郭敏杰;陈乾;杨秀峰;曹晔 -专利权人：天津理工大学
申请日： 2011-08-31 - 公布日： 2011-12-14 - 主分类号： H04L27/26 文献下载
摘要：该方法包括：针对激光器的不同线宽，计算系统的激光器在高线宽和低线宽传输一定距离L的相位变化参数和，而介于高线宽和低线宽时相位变化参数为线宽和低线宽之间的以及高线宽的相位变化参数进行加权修正，还可以根据多个权值拟合的曲线对高线宽的相位变化参数进行第二次修正。选用最小二乘算法，二次迭代即完成整个信道的估计。相对于其它算法，本发明可以对激光器高、低线宽下的不同情况进行灵活的切换，通过调节权值系数来做到自适应的补偿不同线宽下的相位噪声，同时明显改善了高线宽下的系统性能。
相干光正交频分复用系统相位噪声补偿信道估计方法

[发明专利]减少窄线宽光源中的相干效应的系统和方法-CN201310277109.5无效
发明人：鲍军;迈克尔·海达尔·沙伊尼;焦华;简-卢克·阿查姆宝特 -专利权人：希尔纳公司
申请日： 2013-07-03 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： H04B10/071 文献下载
摘要：本文描述了通过各种调制技术减少窄线宽光源中的相干效应的系统和方法。系统和方法可包括窄线宽激光源和控制器，其中窄线宽光源包括热耦合至其上的热电冷却器，控制器与热电冷却器通信耦合。控制器被配置为通过在时间平均基础上人为扩展窄线宽光源来向热电冷却器提供的变化的输入信号以降低窄线宽光源的相干性。系统和方法还可包括窄线宽激光源的直接调制。系统和方法可包括窄线宽光时域反射仪（OTDR）。系统和方法还可包括具有和不具有对于热电冷却器是变化的输入信号的窄线宽激光源的直接调制。
减少窄线宽光源中的相干效应系统方法

[发明专利]可调谐窄线宽激光器频率调谐效率测量方法及测量系统-CN202010834927.0有效
发明人：陆星;李鹏;秦杰;柏楠;万双爱 -专利权人：北京自动化控制设备研究所
申请日： 2020-08-19 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种可调谐窄线宽激光器频率调谐效率测量方法及测量系统，利用非平衡臂迈克尔逊干涉仪将待测可调谐窄线宽激光器微小的光域频率变化转换为光学相位变化，以实现对可调谐窄线宽激光器的光域频率变化的测量，进而实现对可调谐窄线宽激光器的频率调谐效率的测量。本发明的技术方案可以测量常规光谱仪难以测量的光域频率变化。同时，本发明利用信号发生器输出不同频率fPGC和幅度VPGC的模拟正弦波信号对可调谐窄线宽激光器的频率进行调制，以实现对不同调制带宽下的可调谐窄线宽激光器的频率调谐效率的测量，为可调谐窄线宽激光器的实际使用提供依据。
调谐窄线宽激光器频率效率测量方法测量系统

[发明专利]光掩模-CN201880085631.4在审
发明人：奥村哲人;宫地宏昭 -专利权人：凸版印刷株式会社
申请日： 2018-12-28 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： G03F1/70 文献下载
摘要：一种光掩模，通过多透镜的连接部(J1～J4)的扫描曝光而转印的光掩模的图案的线宽、以及通过多透镜的非连接部(L1～L3)的扫描曝光而转印的光掩模的图案的线宽中的至少一方是对设计线宽进行了修正的线宽，进行了修正的线宽是在扫描方向、以及与扫描方向正交的方向中的至少一个方向上阶段性地变化的线宽，阶段性地变化的线宽包含基于随机数的修正成分(R)，随机数基于对正弦波进行了频率调制的波形，或者基于白噪声。
光掩模

[发明专利]线宽压窄模块温度监测装置及其监测方法-CN202011464411.8在审
发明人：陈刚;李祖友;蔡森;詹绍通;江锐 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2020-12-14 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种线宽压窄模块温度监测装置，属于准分子激光器技术领域，包括：透视窗和热成像仪；所述透视窗固定安装于线宽压窄模块上；所述热成像仪通过透视窗监测线宽压窄模块内部的光学元件的温度变化，并将光学元件温度变化以数据形式向外输出本发明的线宽压窄模块温度监测装置，安装调试方便，小巧，采用热成像仪对线宽压窄模块内部各个光学元件不同位置的引起温度畸变点能够进行精确的实时监测。
线宽压窄模块温度监测装置及其方法

[发明专利]制作兼容多线宽节点的高阻器件的光刻工艺方法-CN202211009604.3在审
发明人：董献国 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2022-08-22 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种制作兼容多线宽节点的高阻器件的光刻工艺方法，包括：步骤一、设计高阻器件的电阻材料层的厚度和图形结构的线宽并根据线宽设置光刻工艺。通过减少电阻材料层的厚度来增加高阻器件的图形结构的线宽，以使高阻器件的电性满足设计要求。通过增加图形结构的线宽来减少不同线宽节点的图形结构的光刻工艺的差异，使光刻工艺兼容多个线宽节点。本发明能使一套光刻工艺的条件不变化或经过小量变化即可应用于不同线宽节点的高阻器件的制作并保证高阻器件的电学性能满足要求。
制作兼容多线宽节点器件光刻工艺方法

[发明专利]一种面向激光雷达的1550nm波段高功率窄线宽DFB激光器光栅结构-CN202211382450.2在审
发明人：汪语潇;王玉洁 -专利权人：南宇芯光（南京）科技有限公司
申请日： 2022-11-07 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： H01S5/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种面向激光雷达的1550nm波段高功率窄线宽DFB激光器光栅结构，所述光栅结构适用于高反射镀膜和增透镀膜的DFB激光器，所述光栅结构包括周期变化区和非周期变化区；所述周期变化区中光栅周期变化可平坦谐振腔内的光子分布，抑制高注入电流下的空间烧孔效应，使激光器在较高的输出功率工作时能保持较好的单模特性、有效抑制线宽的展宽，从而实现更窄的输出激光线宽。
一种面向激光雷达 1550 nm 波段功率窄线宽 dfb 激光器光栅结构

[发明专利]一种离子注入层图形线宽尺寸的形成方法-CN201610498312.9有效
发明人：王艳云;毛智彪;杨正凯;甘志锋 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2016-06-30 - 公布日： 2019-02-01 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种离子注入层图形线宽尺寸的形成方法，其通过确定光刻胶硬化本身对光刻图形线宽的影响以及不同离子注入对硬化后光刻图形线宽的影响，并根据确定光刻胶硬化及不同离子注入对光刻图形线宽的影响确定针对性的补偿值，进而对光刻图形线宽关键尺寸进行补偿。因此，本发明的形成方法在离子注入工艺中具有受到离子注入损伤小和线宽尺寸变化小的优点，改善了漏电效应。
一种离子注入图形尺寸形成方法

[实用新型]跨尺度的金属微纳电极阵列-CN201721768890.6有效
发明人：刘鹤峰;李理;王作斌;翁占坤;宋正勋 -专利权人：长理纳米生物技术（长春）有限公司
申请日： 2017-12-18 - 公布日： 2018-07-20 - 主分类号： G01D5/12 文献下载
摘要：跨尺度的金属微纳电极阵列涉及电极阵列领域，解决现有技术中缺少变化线宽电极阵列的问题。该电极阵列，从阵列中心到阵列边缘，电极线宽逐渐变宽；距离所述阵列中心相同距离处的电极线宽之间相差不超过50nm。本实用新型通过电极线宽从阵列中心到阵列边缘电极线宽逐渐变宽，兼顾信号精度和信号强度两方面，在线宽较细的位置高精度收集电信号，在线宽较宽的位置低电阻导出电信号。
电极阵列电极线阵列中心阵列边缘逐渐变宽跨尺度纳电极金属本实用新型变化线宽生物电极信号读取应用过程重要应用单探针低电阻双探针信号线导出

[发明专利]一种光谱稳定的线宽调整装置及系统-CN201910006946.1在审
发明人：王倩;吴劲松;杨军红;江锐;赵江山;周翊;胡馨月;辛茗 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2019-01-04 - 公布日： 2019-03-19 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本发明提供的光谱稳定的线宽调整装置及系统，通过线阵CCD捕捉光束中心位置及角度的变化信息，通过调节第一棱镜的角度及位置对线宽度及位置的变化进行补偿，从而实现激光光谱的稳定输出，本装置结构小巧紧凑、操作简便
线宽调整装置光谱稳定光束中心位置变化信息激光光谱软件编写稳定输出装置结构线阵CCD 棱镜对线紧凑捕捉

[发明专利]多带电粒子束评价方法以及多带电粒子束描绘装置-CN202010944725.1在审
发明人：西村理惠子 -专利权人：纽富来科技股份有限公司
申请日： 2020-09-10 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：基于本发明的一个方案的多带电粒子束评价方法具备：使用多带电粒子束在基板上以预定的间距描绘使线宽的设计值以预定的变化量变化的多个评价图案的工序；测定所描绘的多个评价图案的线宽的工序；以及提取出多个评价图案的线宽测定结果与设计值之间的差值的分布在特定周期中的变动的工序上述预定的变化量为数据分辨率以上，且比成为多带电粒子束的每一束的照射单位区域的像素的尺寸小。
带电粒子束评价方法以及描绘装置

[发明专利]浅沟槽隔离台阶高度稳定性测量方法-CN201810768913.6有效
发明人：王艳云;许箭 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2018-07-13 - 公布日： 2021-01-29 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种浅沟槽隔离台阶高度稳定性测量方法，包括：将离子注入层光掩模板图案转移到没有生长薄膜的晶圆上；设定为基准条件；制作2n片含有基底图形的晶圆，量取各台阶高度；将离子注入层光掩模板图案转移到含有浅沟槽基底的晶圆上，测得各图形线宽；计算出各高台高度变化对应线宽变化的比值；线性拟合比值，获得相关比值系数α；判断是否为基准曝光条件偏移；如果为基准曝光条件偏移导致的线宽变化，则重新校准基准曝光条件；如果基准曝光条件未发生偏移，则通过公式H＝α*CD计算出相应台阶高度变化量。本发明用于在线监测浅沟槽隔离台阶高度的稳定性及其变化量，有效解改善了常规方法光学测量模型失真导致的光学误测量。
沟槽隔离台阶高度稳定性测量方法

[实用新型]一种光谱稳定的线宽调整装置及系统-CN201920016353.9有效
发明人：王倩;吴劲松;杨军红;江锐;赵江山;周翊;胡馨月;辛茗 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2019-01-04 - 公布日： 2019-09-27 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本实用新型提供的光谱稳定的线宽调整装置及系统，通过线阵CCD捕捉光束中心位置及角度的变化信息，通过调节第一棱镜的角度及位置对线宽度及位置的变化进行补偿，从而实现激光光谱的稳定输出，本装置结构小巧紧凑、操作简便
线宽调整装置光谱稳定光束中心位置本实用新型变化信息激光光谱软件编写稳定输出装置结构线阵CCD 棱镜对线紧凑捕捉

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