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[实用新型]一种光刻胶反应釜搅拌装置-CN202320061330.6有效
发明人：许箭;张雪;和德锐;王亮乾 -专利权人：国科天骥（滨州）新材料有限责任公司
申请日： 2023-01-06 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： B01J19/18 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种光刻胶反应釜搅拌装置，涉及光刻胶加工设备领域，包括搅拌釜，搅拌釜上设置有进料口、出料口、安装板和多级气缸，安装板上设置有搅拌组件，搅拌组件连接有驱动组件，多级气缸连接有刮料环，刮料环与搅拌组件间隔设置且与搅拌釜的内壁相接触；本装置在对光刻胶均匀混合搅拌的同时，采用自动化方式进出光刻胶，同时光刻胶在搅拌釜内壁上因为残留粘连造成浪费的情况得到解决改善。
一种光刻反应搅拌装置

[发明专利]一种增强密集图形光刻分辨率的方法-CN202010638023.0有效
发明人：许箭;秦龙;耿文练;花雷 -专利权人：儒芯微电子材料（上海）有限公司
申请日： 2020-07-03 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种增强密集图形光刻分辨率的方法，包括执行胶图案化工艺，从而形成第一掩模图案；执行胶层处理工艺；再次执行胶图案化工艺，从而形成第二掩模图案，第二掩模图案中的图形与第一掩模图案中的图形间隔设置；其中，胶图案化工艺包括：在衬底上依次形成第一胶层和第二胶层；通过光刻曝光工艺在第一胶层上形成曝光区和非曝光区；采用第一溶剂去除曝光区和第二胶层的部分区域，或者先采用第二溶剂去除曝光区，再采用第三溶剂去除第二胶层的部分区域，从而在第一胶层形成第一图案，在第二胶层形成第二图案，第二图案是在第一图案基础上缩进后的图案；采用第四溶剂去除非曝光区；胶层处理工艺用于使第一胶层耐第一溶剂或第三溶剂溶解。
一种增强密集图形光刻分辨率方法

[发明专利]一种聚合物树脂及其制备方法与应用-CN201910489077.2有效
发明人：许箭;花雷;耿文练 -专利权人：儒芯微电子材料（上海）有限公司
申请日： 2019-06-06 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C08F222/40 文献下载
摘要：本发明公开了一种聚合物树脂，其具有如结构式I～III所示的结构单元：其中，x、y、z表示该结构单元在所有结构单元中的数量占比，分别为30％‑70％、2％‑40％、2％‑30％。该聚合物树脂具有优良的热力学性能及溶解性能，由其作为主体树脂配制而成的金属剥离胶，能够广泛应用于金属剥离工艺。本发明还公开了该聚合物树脂的制备方法、包含该聚合物树脂的金属剥离胶组合物，以及金属剥离胶组合物的应用。
一种聚合物树脂及其制备方法应用

[实用新型]一种去除金属离子的循环过滤装置-CN202320141457.9有效
发明人：王亮乾;赵军;林康;秦俭;许箭;陈龙 -专利权人：国科天骥（滨州）新材料有限责任公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： B01J47/02 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种去除金属离子的循环过滤装置，涉及光刻胶处理技术领域，包括安装架，安装架上设有液料罐，液料罐上设有进料管、上料管、排料管及导料管，排料管上安装有排料阀，液料罐上还设有动力机构和过滤机构，动力机构与导料管连接并用于将液料罐内的光刻溶剂导入过滤机构中，过滤机构连接有回流管，回流管的一端与进料管连接，液料罐内还设有搅拌机构；本装置实现了对光刻溶剂中金属粒子的自动化循环过滤及排料，其结构简单，使用方便，可以通过循环过滤方式有效的去除光刻胶树脂/溶剂中的金属离子，具有高使用价值。
一种去除金属离子循环过滤装置

[实用新型]一种物料过滤灌装装置-CN202320061452.5有效
发明人：王亮乾;许箭;陈龙 -专利权人：国科天骥（滨州）新材料有限责任公司
申请日： 2023-01-06 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： B01D35/12 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种物料过滤灌装装置，涉及光刻胶加工设备领域，包括反应釜，反应釜的一侧设置有加工箱，加工箱内设置有液泵、金属离子过滤器、颗粒过滤器和安装板，反应釜连接有液泵，液泵连接有输送管，输送管上设置有输送阀，输送管连接有金属离子过滤器，金属离子过滤器连接有一级三通管，一级三通管的输出管路上均设置有第一阀门；本装置相比于现有技术可以针对不同光刻胶产品所含有的杂质进行针对性的过滤，在不需要对金属离子或者颗粒物进行循环过滤时，此时金属离子过滤器或颗粒过滤器其中一个均可以处于关闭状态，这样降低了能源的消耗，本装置对于光刻胶的循环过滤以及灌装效果好。
一种物料过滤灌装装置

[实用新型]一种光刻胶电控旋转分区域曝光的装置-CN202320074956.0有效
发明人：许箭;和德锐;管艺真;张雪;王亮乾 -专利权人：国科天骥（滨州）新材料有限责任公司
申请日： 2023-01-09 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种光刻胶电控旋转分区域曝光的装置，涉及光刻胶曝光技术领域，包括晶圆托盘，晶圆托盘上滑动配合有遮光板，遮光板上设置有曝光区和从动齿轮，晶圆托盘的一侧设置有驱动电机，驱动电机连接有主动齿轮，主动齿轮与从动齿轮相齿合；本装置通过驱动电机驱动齿轮传动以实现遮光板在晶圆托盘上的电动旋转曝光流程，旋转角度准确控制，避免人为旋转带来的误差，保证曝光实验的效果。
一种光刻胶电控旋转区域曝光装置

[发明专利]一种增强光刻图形分辨率的方法-CN202010638024.5有效
发明人：许箭;袁华;耿文练;孙小侠 -专利权人：儒芯微电子材料（上海）有限公司
申请日： 2020-07-03 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种增强光刻图形分辨率的方法，其包括在衬底上依次形成第一胶层和第二胶层；通过光刻曝光工艺在所述第一胶层上形成曝光区和非曝光区；采用第一溶剂去除所述曝光区和所述第二胶层的部分区域，或者先采用第二溶剂去除所述曝光区，再采用第三溶剂去除所述第二胶层的部分区域，从而在所述第一胶层形成第一图案，在所述第二胶层形成第二图案，所述第二图案是在所述第一图案基础上缩进后的图案；采用第四溶剂去除所述非曝光区。
一种增强光刻图形分辨率方法

[实用新型]一种高粘度光刻胶生产的装置-CN202222744536.7有效
发明人：许箭;崔世彬;管艺真;王亮乾 -专利权人：国科天骥（滨州）新材料有限责任公司
申请日： 2022-10-18 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： B01J19/00 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种高粘度光刻胶生产的装置，涉及光刻胶生产技术领域，包括反应釜，反应釜连接有加热器和制冷机构，反应釜的放料口处连接有可拆卸的回料管，回料管一端连接有过滤器，过滤器的出料端连接有输料泵，输料泵的出料端通过输料管与设置在反应釜上的导料管连通；本装置不仅大大缩短了高粘度光刻胶的生产周期，而且高粘度光刻胶生产过程中的杂质得到了有效的过滤，具有高使用价值。
一种粘度光刻生产装置

[实用新型]一种光刻胶颗粒度测试装置-CN202222620867.X有效
发明人：许箭;管艺真;崔世彬;王亮乾 -专利权人：国科天骥（滨州）新材料有限责任公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-02-07 - 主分类号： G01N15/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光刻胶颗粒度测试装置，属于光刻胶颗粒度测试技术领域，包括测试平台、颗粒仪本体、固定支架、第一循环箱体、第二循环箱体和连通管，颗粒仪本体通过固定支架焊接在测试平台的顶部中心位置处，第一循环箱体和第二循环箱体分别安装在测试平台的顶部两侧，第一循环箱体和第二循环箱体分别位于颗粒仪本体的两侧，第一循环箱体和第二循环箱体的顶部均通过连通管与颗粒仪本体的测试端相连接，第一循环箱体和第二循环箱体的内部结构相同，第一循环箱体和第二循环箱体的一侧均设置有注料口，本实用新型能够有效的避免颗粒仪本体的测试端残留产品影响测试结构，无需缓慢的等待气泡自行排出，提高测试效率，实用性更强。
一种光刻颗粒测试装置

[实用新型]一种反应釜内循环清洗装置-CN202222038397.6有效
发明人：王亮乾;许箭;秦俭 -专利权人：国科天骥（滨州）新材料有限责任公司
申请日： 2022-08-03 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： B01J19/00 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种反应釜内循环清洗装置，涉及反应釜清洗技术领域，包括反应釜，反应釜包括设置在反应釜釜盖上的反应釜玻璃开口和处于反应釜底部的出料管，反应釜玻璃开口和出料管处分别设有塞管和三通，塞管两端开口分别连通有处于反应釜内的喷淋管和设置有密封阀的封管，喷淋管的管体的圆周方向及底部均设有若干喷淋头，反应釜上安装有水泵，水泵上设有出液管和进液管，出液管一端通过连接管与封管顶端连接，进液管一端连接有一个处于反应釜一侧的水箱，水箱通过回流管与三通连接，三通上安装有阀门；本装置实现了对反应釜的循环式快速清洁，显著节省洗釜液用量，操作简单，大大提高了对反应釜的清洁效率。
一种反应循环清洗装置

[实用新型]一种安全便捷的反应釜加料取样装置-CN202222039075.3有效
发明人：许箭;王亮乾;徐亚飞 -专利权人：国科天骥（滨州）新材料有限责任公司
申请日： 2022-08-03 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： G01N1/14 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种安全便捷的反应釜加料取样装置，涉及反应釜生产技术领域，包括反应釜、安装管及磁力泵，安装管外部密封连接有一个固定座，固定座与反应釜之间采用螺栓连接，安装管内设有一个圆形的空腔，空腔内设置有一根与其直径相适配的进料管且通过螺纹连接在安装管外部的紧固螺栓将进料管固定在空腔内，进料管底端延伸至反应釜釜底，进料管顶部通过快速接头连接有连接管，连接管一端与磁力泵连接，磁力泵还连接有一根外料管，外料管上设有注料阀和处于注料阀左侧的取样管，取样管上安装有取样阀；本装置实现了对反应釜原料的自动添加及取样，安全性能佳，原料添加和取样全程密封进行，提高了产品产率及质量，操作简单，使用效果好。
一种安全便捷反应加料取样装置

[实用新型]一种反应釜尾气集中吸收处理装置-CN202222095743.4有效
发明人：许箭;王亮乾;田桂庆 -专利权人：国科天骥（滨州）新材料有限责任公司
申请日： 2022-08-10 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： B01D53/68 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种反应釜尾气集中吸收处理装置，涉及尾气处理设备领域，包括反应釜和安装台，反应釜连接有冷凝器，冷凝器连接有耐腐蚀PVC管，耐腐蚀PVC管上设置有第一阀门，耐腐蚀PVC管的一端连通吸收塔，安装台上设置有碱液箱和循环泵，循环泵的输入端连通碱液箱，循环泵的输出端连接有输送管，输送管上设置有第二阀门，输送管的一端穿过吸收塔连接有喷淋器，吸收塔的底端设置有回流管，回流管上设置有第三阀门；反应釜反应产生的气体经冷凝管冷凝后，沸点相对高的有机溶剂挥发气体冷凝流回反应釜，溴化氢气体由于反应釜和吸收塔的压差经耐腐蚀PVC管路到达吸收塔塔体，并与塔内的碱性液体发生中和反应，达到完全消除酸性气体溴化氢的目的。
一种反应尾气集中吸收处理装置

[实用新型]一种联釜反应装置-CN202222197649.X有效
发明人：王亮乾;许箭;韩龙 -专利权人：国科天骥（滨州）新材料有限责任公司
申请日： 2022-08-19 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： B01J19/00 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种联釜反应装置，涉及联釜设备领域，包括安装台，安装台上设置有高位反应釜，安装台的一侧设置有低位反应釜，高位反应釜的出料口上设置有高位阀，高位反应釜的出料口连接有第一连通管，第一连通管连通有转料瓶，转料瓶设置在固定架上，固定架设置在低位反应釜上，转料瓶上设置有第二连通管和滴加管，第二连通管与高位反应釜相连通，滴加管上设置有控制阀，滴加管连通低位反应釜，低位反应釜的出料口设置有低位阀；本装置通过连通器原理和转料瓶的配合连接高位反应釜出料口和低位反应釜上接口达到两反应釜连接作用，利用高低连釜连接而达到物料转移的目的，减少了物料飞溅，保障了操作人员的自身安全。
一种反应装置

[实用新型]一种适用于玻璃反应釜的喷淋清洗装置-CN202222038389.1有效
发明人：许箭;王亮乾;韩龙 -专利权人：国科天骥（滨州）新材料有限责任公司
申请日： 2022-08-03 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： B01J19/00 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种适用于玻璃反应釜的喷淋清洗装置，包括反应釜，反应釜包括釜口，反应釜上设有液泵，液泵连接有出液管和进液管，釜口内插入有连接管，连接管顶部连通有一个设置有密封阀的密封管，密封管通过一个快速连接头与出液管相连通，连接管底部伸入反应釜内且螺纹连接有一根连管，连管上设有水孔、封堵座、限位螺母及喷淋头，喷淋头笼罩在水孔外部且喷淋头管体的圆周方向上等距设置有多个矩形的喷淋口，喷淋口两侧壁为相互平行的斜面；本装置结构简单，利用液泵提供压力输送液体至喷淋头后，喷淋头呈360度无死角旋转对反应釜内壁进行清洁，清洗更干净彻底，喷淋头拆装便捷，操作简单，大大提高了使用效果。
一种适用于玻璃反应喷淋清洗装置

[实用新型]一种实验室光刻胶分区域曝光的装置-CN202222174021.8有效
发明人：许箭;管艺真;崔世彬;王亮乾 -专利权人：国科天骥（滨州）新材料有限责任公司
申请日： 2022-08-18 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种实验室光刻胶分区域曝光的装置，涉及实验室光刻胶曝光技术领域，包括承载托盘，承载托盘上设有气孔、放置位和气管，承载托盘内部设有空腔，空腔与气孔和气管相连通，气管连接有气泵，承载托盘上滑动配合有遮光板，遮光板上开设有曝光位；本装置通过旋转遮光板实现了在每个区域使用的不同曝光条件，实现同一片晶圆上的光刻胶可以进行多种不同曝光条件的测试，大大减少了晶圆和光刻胶的使用量、降低了实验成本和增加了曝光实验效率，使用效果好。
一种实验室光刻区域曝光装置

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