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[发明专利]反应室定位结构及反应室-CN201310750318.7在审
发明人：郭峰 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2013-12-31 - 公布日： 2015-07-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供了一种反应室定位结构及反应室，其反应室定位结构便于反应室的上盖和反应腔进行定位安装，包括定位销和弹簧，反应腔上设置有第一定位孔，上盖上设置有第二定位孔，定位销设置有用于限位弹簧的轴肩，弹簧套装在定位销的一端的外侧，并安装在反应腔的第一定位孔内，待上盖的第二定位孔与定位销的另一端对齐后，弹簧压缩，定位销的另一端插入第二定位孔定位。其反应室包括上述反应室定位结构。本发明的反应室定位结构及反应室，结构设计简单合理，通过弹簧和定位销的配合结构，增加定位销的高度，提高了上盖与反应腔装配的准确性及效率。
反应定位结构

[实用新型]反应腔室部件结构及反应腔室-CN201820317132.0有效
发明人：李一成;彭宇霖;曹永友 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-03-08 - 公布日： 2019-03-05 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型提供一种反应腔室部件结构，包括部件本体和氧化膜层，其中，部件本体采用5系铝合金材料制成；氧化膜层通过部件本体氧化形成。本实用新型还提供反应腔室。本实用新型可提高反应腔室部件的抗腐蚀性，从而可以提高反应腔室的使用寿命。
反应腔室部件本实用新型部件本体反应腔室氧化膜层铝合金材料使用寿命

[发明专利]反应腔室部件结构及其制备方法、反应腔室-CN201810190001.5在审
发明人：李一成;彭宇霖;曹永友 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-03-08 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种反应腔室部件结构，包括部件本体和氧化膜层，其中，部件本体采用5系铝合金材料制成；氧化膜层通过部件本体氧化形成。本发明还提供反应腔室部件结构的制备方法及反应腔室。本发明可提高反应腔室部件的抗腐蚀性，从而可以提高反应腔室的使用寿命。
反应腔室部件部件本体反应腔室氧化膜层制备铝合金材料使用寿命

[发明专利]反应腔室的上盖结构和反应腔室-CN201410705206.4有效
发明人：张伟涛 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2014-11-27 - 公布日： 2018-07-06 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种反应腔室的上盖结构，包括线圈盒、隔板、盖板、多个开盖挂钩和与多个开盖挂钩一一对应的盖板挂钩，所述开盖挂钩在对正位时与所述盖板挂钩对正，在脱离位时与所述盖板挂钩相错开，所述开盖挂钩包括第一钩持部本发明还提供一种反应腔室。与现有技术相比，本发明中的上盖结构上升时，开盖挂钩不需要移动一段空行程，因而可以减少铜连接条受到的拉力。
钩持部挂钩开盖盖板反应腔室上表面上盖结构下表面隔板铜连接条逐渐降低空行程上升时线圈盒错开对正贴合匹配脱离移动

[发明专利]喷淋结构及反应腔室-CN201811556504.6在审
发明人：张凇铭;许璐;刘效岩;惠世鹏 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-12-19 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供的喷淋结构及反应腔室，包括喷头主体和喷淋臂，喷淋主体的中心轴垂直于晶片表面设置，以向晶片表面进行喷淋，还包括第一旋转驱动结构，第一旋转驱动结构分别与喷淋臂和喷头主体连接，用于驱动喷头主体围绕中心轴自转通过设置第一旋转驱动结构，使喷头主体进行自转，喷头主体由柱状喷洒转变为面状覆盖喷洒，形成的周向旋转动能能够有效地去除晶片的表面静电和颗粒，改善对晶片的清洗效果。
喷淋结构反应

[发明专利]腔室进气结构以及反应腔室-CN201811550798.1在审
发明人：徐刚;张军;郑波;马振国 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-12-18 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种腔室进气结构以及反应腔室，其中的腔室进气结构包括：设置在腔室上盖上的连接件装置和设置在腔室内的喷气盘；连接件装置设置有第一混合腔，喷气盘设置有第二混合腔；多种不反应气体在第一混合腔中进行混合，混合气体通过第一混合气体通道、第二混合气体通道进入腔室内；反应气体通过第一反应气体通道、第二反应气体通道并经过第二混合腔进入腔室内。本发明的腔室进气结构以及反应腔室，能够避免发生反应的气体与其他反应气体在进入腔室前进行混合；将不直接反应的两种其他反应气体提前混合均匀，发生反应的气体通过匀流板和喷气板进行两次匀流，达到提高反应气体的在硅片上方混合和扩散均匀性的目的
反应气体进气结构混合腔腔室反应腔室进入腔反应气体通道混合气体通道连接件装置喷气盘室内扩散均匀性混合气体气体通过直接反应喷气板匀流板种腔室硅片上盖

[实用新型]腔室进气结构以及反应腔室-CN201822125785.1有效
发明人：徐刚;张军;郑波;马振国 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-12-18 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种腔室进气结构以及反应腔室，其中的腔室进气结构包括：设置在腔室上盖上的连接件装置和设置在腔室内的喷气盘；连接件装置设置有第一混合腔，喷气盘设置有第二混合腔；多种不反应气体在第一混合腔中进行混合，混合气体通过第一混合气体通道、第二混合气体通道进入腔室内；反应气体通过第一反应气体通道、第二反应气体通道并经过第二混合腔进入腔室内。本实用新型的腔室进气结构以及反应腔室，能够避免发生反应的气体与其他反应气体在进入腔室前进行混合；将不直接反应的两种其他反应气体提前混合均匀，发生反应的气体通过匀流板和喷气板进行两次匀流，达到提高反应气体的在硅片上方混合和扩散均匀性的目的
反应气体进气结构混合腔腔室反应腔室进入腔反应气体通道混合气体通道本实用新型连接件装置喷气盘室内扩散均匀性混合气体气体通过直接反应喷气板匀流板种腔室硅片上盖

[实用新型]一种净水器的反应室结构-CN201520266531.5有效
发明人：李淘 -专利权人：常州商昊机电有限公司
申请日： 2015-04-28 - 公布日： 2015-09-16 - 主分类号： C02F9/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及水处理技术领域，尤其是一种净水器的反应室结构。一种净水器的反应室结构，包括设置在净水器筒体内的第一反应室，所述第一反应室为锥形管结构，所述锥形管结构的第一反应室外设有圆柱状的第二反应室，第二反应室与筒体内壁之间设有斜管，斜管通过斜管支撑架固定，所述第一反应室通过第一反应室上支架和第一反应室下支架固定在第二反应室的内壁上，所述第二反应室通过第二反应室上支架和第二反应室下支架固定在筒体的内壁上。本净水器的反应室结构水处理流程简单，经过处理后的污水，能够达到生活饮用水水质标准，可以有效提高水的利用率。
一种净水器反应结构

[发明专利]太阳能厌氧好氧膜反应器-CN202110854893.6在审
发明人：路金喜;周文华;陈丽;徐利云;刘真 -专利权人：潍坊工商职业学院
申请日： 2021-07-29 - 公布日： 2021-10-12 - 主分类号： C02F9/00 文献下载
摘要：一种太阳能厌氧好氧膜反应器，包括有：进水布水室、厌氧反应室、沉淀过滤室、污泥循环系统、好氧反应室和太阳能集热罩；进水布水室外壳为倒放圆锥筒结构，设置在厌氧反应室的下部，厌氧反应室为圆台筒结构，设置在好氧反应室的下部，好氧反应室和沉淀过滤室外壳均为圆柱筒结构，沉淀过滤室嵌套布置在厌氧反应室和好氧反应室的外部，为同圆心嵌套结构，太阳能集热罩设置在好氧反应室和沉淀过滤室的上部；进水布水室和厌氧反应室相连通，厌氧反应室和沉淀过滤室相连通，沉淀过滤室和好氧反应室相连通；该发明不仅提高了生物降解效率，降低了运行成本，而且也达到了提高出水水质的目的。
太阳能厌氧好氧膜反应器

[实用新型]阵列式一体化生物自动反应芯片-CN201820632089.7有效
发明人：郭敏;吴亮;于雪 -专利权人：康码（上海）生物科技有限公司
申请日： 2018-04-28 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： C12M1/40 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种阵列式一体化生物自动反应芯片。具体地，该反应芯片包括二个或二个以上的反应装置单元、可同时开启各个所述反应装置单元的第一控制装置、及外壳体(1)；其中，所述反应装置单元位于外壳体内，且所述第一控制装置可活动地固定于外壳体上；所述反应装置单元包括：一个或多个存放室、及反应室(4)；各个相邻的存放室之间设有薄膜结构，以及与反应室相邻的存放室和反应室之间设有薄膜结构；各个薄膜结构用于使各个存放室及反应室处于流体不连通状态，且各个存放室位于所述反应室上方；以及所述的第一穿刺结构用于破坏上述薄膜结构，使各个存放室及反应室从流体不连通状态变为流体连通状态。
存放室反应室薄膜结构反应装置控制装置自动反应不连通外壳体阵列式流体芯片流体连通状态本实用新型反应芯片一体化穿刺可活动体内

[实用新型]一种脱硫废碱液处理塔-CN202223557940.X有效
发明人：雷文雪;冯学斌;雷祥澳;冯美欣;赵军威;徐小康 -专利权人：河南省众和环保科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B01D53/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及废碱液处理技术领域，具体是指一种脱硫废碱液处理塔，包括总框架、连通结构、微电解结构，总框架包括第一反应室，第一反应室顶有中和室，中和室底有喷淋结构，第一反应室顶有入液口与入气口，中和室一侧有补液口，第一反应室下有第二反应室，第二反应室两侧有微电解结构，第二反应室底有出液口；连通结构包括挡板，第一反应室与第二反应室之间有连接通道，连通结构包括环槽、槽道、通孔、挡板、连杆、握把；微电解结构包括固定密封端该实用新型提供一种能够同时进行多种反应，便于更换电解填料的一种脱硫废碱液处理塔。
一种脱硫废碱液处理

[实用新型]一种生物酶反应装置-CN202020844841.1有效
发明人：屠文浩 -专利权人：嘉兴奥兹化工有限公司
申请日： 2020-05-19 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： C12M1/40 文献下载
摘要：本实用新型提供一种生物酶反应装置，所述包括反应室、检修结构和固定结构，反应室外表面通过螺钉与检修结构固定连接，反应室下方通过螺钉与固定结构可拆卸连接，反应室上方设置有顶盖，反应室通过螺钉与储物盒一侧可拆卸连接，反应室通过螺钉与控制箱一侧可拆卸连接，储物盒与控制箱位于反应室两侧，反应室内部安装有搅拌器。本实用新型提供的一种生物酶反应装置通过反应室、检修结构、固定结构以及其他结构，解决了现有的生物酶反应装置存在反应完成后，反应瓶内往往会有一些反应物残留，反应装置大多数为一体化结构，使得反应瓶不易清洗，且一般的反应装置不易进行拆卸，不方便对内部结构进行更换和维修问题。
一种生物酶反应装置

[实用新型]反应室-CN201822182152.4有效
发明人：杨专青;马五吉;龚恒翔 -专利权人：重庆理工大学
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2019-08-27 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：本实用新型公开一种反应室，反应室本体内水平设有反应腔，上升降板的上板面沿反应腔长度方向并排固定有一组上碘钨灯，该上碘钨灯的长度方向朝反应室本体的前、后侧壁，下升降板下板面对应上碘钨灯固定有一组下碘钨灯；上、下升降板之间的区域为反应区，而下升降板的上板面配设有多组不同厚度的衬底模板，该衬底模板上的安装孔用于放置相应厚度的衬底。本案增设了上、下升降板，这样就便于根据需要调整上、下升降板之间的间距，也能使衬底模板的顶面与反应腔的下壁平齐，这样就能避免反应区处的气流场畸变。有效保证薄膜的制备质量。
下升降板碘钨灯衬底反应腔反应室本体反应室上板面本实用新型并排固定反应区处上升降板水平设有安装孔反应区后侧壁气流场畸变顶面平齐下板下壁薄膜制备增设保证

[发明专利]反应室-CN200980144064.6有效
发明人： M·吉文斯;M·G·古德曼;M·霍金斯;B·哈莱克;H·特霍斯特 -专利权人： ASM美国公司
申请日： 2009-11-02 - 公布日： 2011-09-28 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：本发明提供一种反应室，该反应室中界定有反应空间，其中该反应空间为可调节的，以形成流过该反应空间的气体的实质稳定的层流。该实质稳定的层流被配置为提高在反应室内处理的基板上的沉积均匀性，从而提供可预测的沉积轮廓。
反应

[发明专利]反应室-CN201080006806.1无效
发明人： J·佩尔托涅米;P·索伊尼宁 -专利权人： BENEQ有限公司
申请日： 2010-02-08 - 公布日： 2012-01-04 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明涉及用于原子层沉积反应器的反应室，该反应室包括用于在反应室内部提供反应空间的外壁(2、4；40、42、44、46)。根据本发明，反应室的至少一个外壁(2、4；40、42、44、46)由柔性薄板构成。
反应

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