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[发明专利]线路板切片测量系统、显微测量方法及平面度和深度测量方法-CN202310670693.4在审
发明人：刘允浩;许龙;唐朝伟;朱召胜;尹乐琼 -专利权人：动力博石（广东）智能装备有限公司
申请日： 2023-06-07 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： G01N21/84 文献下载
摘要：本发明提供了一种线路板切片测量系统、显微测量方法及平面度和深度测量方法，该线路板切片测量系统包括运动控制模块、成像系统、光谱共焦模块和上位机系统，上位机系统分别与运动控制模块、成像系统、光谱共焦模块相连，运动控制模块与光谱共焦模块相连，运动控制模块用于接收上位机系统发送的第一运动控制指令，并向上位机系统传输线路板切片的位置信息；成像系统用于将图像信息传输至上位机系统；上位机系统用于下发和接收控制指令，对线路板切片进行显微测量；光谱共焦模块用于对线路板切片发射并接收返回特定波长光束，以及向上位机系统传输线路板切片的相关信息。本发明的有益效果是：本发明的线路板切片测量系统通便于显微测量，提高了控制精准度。
线路板切片测量系统显微测量方法平面深度

[发明专利]基于空间光调制器的结构探测共焦显微成像方法及装置-CN201611046803.6有效
发明人：倪赫;邹丽敏;张鹏;郭清源;周梦姣;丁雪梅 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2016-11-23 - 公布日： 2019-05-10 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：基于空间光调制器的结构探测共焦显微成像方法与装置。主要解决了以往共焦显微成像图片采集速率低、图像处理时间长的问题。该方法在共焦扫描显微系统中引入结构探测方法，采用空间光调制器模拟结构探测函数，对探测光斑进行调制，之后利用光电探测器测量调制后的光强，得到与待测样品采样点相对应的光强值，结合共焦显微系统的扫描机制，可实现对待测样品的三维成像；本发明还提供了一种适用于上述方法的测量装置，以透射式空间光调制器及光电探测器来实现结构探测，具备分辨率高，成像速度高的特点。
共焦显微成像空间光调制器结构探测光电探测器光强调制透射式空间光调制器共焦显微系统测量装置待测样品共焦扫描模拟结构三维成像扫描机制探测光斑探测函数图片采集图像处理显微系统引入结构采样点分辨率成像探测测量

[发明专利]激光共焦/差动共焦拉曼光谱振动参数测量方法-CN202010165621.0有效
发明人：赵维谦;何奇;邱丽荣 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2020-03-11 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：本发明公开的一种激光共焦/差动共焦拉曼光谱振动参数测量方法，属于光学精密测量技术领域。本发明融合了共焦振动检测、差动共焦振动检测和拉曼光谱探测技术，并利用二向色分光系统对瑞利光和拉曼散射光进行无损分离，其中，拉曼散射光进行光谱探测，瑞利光进行振幅、频率等振动参数检测。本发明使共焦拉曼显微镜和差动共焦拉曼显微镜具备了同时探测微区振动参数信息和微区振动的拉曼光谱的能力。具有振动测量精度高、振幅测量范围广、频率测量带宽高、光谱探测灵敏度高、可测量周期运动和非周期运动、抗环境干扰能力强等优势。同时进行微区振动参数和振动光谱特性的高精度检测，在光学精密测量技术领域具有广泛的应用前景。
激光差动共焦拉曼光谱振动参数测量方法

[发明专利]后置分光瞳激光共焦LIBS光谱显微成像方法与装置-CN201811342680.X在审
发明人：王允;邱丽荣;赵维谦 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2018-11-13 - 公布日： 2019-01-11 - 主分类号： G01N21/71 文献下载
摘要：本发明公开的后置分光瞳激光共焦LIBS光谱显微成像方法与装置，属于共焦显微成像和光谱成像测量技术领域。本发明将后置分光瞳激光共焦显微成像技术与激光诱导击穿光谱探测技术结合，利用经超分辨技术处理的后置分光瞳共焦显微镜的微小聚焦光斑对样品进行高空间分辨形态成像，利用光谱探测系统对聚焦光斑激发激光诱导击穿光谱进行微区光谱探测，利用LIBS光谱探测和后置分光瞳共焦探测结构融合实现样品微区完整组分信息与形态参数的高空间分辨和高灵敏成像与探测。
分光后置共焦激光诱导击穿光谱共焦显微成像激光光谱探测聚焦光斑显微成像形态成像高空间光谱微区分辨探测测量技术领域光谱探测系统有效技术途径共焦显微镜光谱成像技术处理生物医学探测技术探测结构形态参数组分信息材料科学超分辨成像灵敏融合激发

[发明专利]后置分光瞳激光共焦质谱显微成像方法与装置-CN201811343160.0在审
发明人：邱丽荣;王允;赵维谦 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2018-11-13 - 公布日： 2019-01-11 - 主分类号： G01N27/64 文献下载
摘要：本发明公开的后置分光瞳激光共焦质谱显微成像方法与装置，属于共焦显微成像及质谱成像测量技术领域。本发明将后置分光瞳激光共焦显微成像技术与质谱探测技术结合，利用经超分辨技术处理的后置分光瞳共焦显微镜的微小聚焦光斑对样品进行高空间分辨形态成像，利用质谱探测系统对样品微区带电分子、原子等进行质谱探测，利用激光质谱探测和后置分光瞳共焦探测结构融合实现样品微区完整组分信息与形态参数的高空间分辨和高灵敏成像与探测
分光质谱后置探测共焦共焦显微成像激光显微成像形态成像高空间微区分辨测量技术领域有效技术途径共焦显微镜带电分子激光质谱技术处理聚焦光斑生物医学探测技术探测结构探测系统形态参数质谱成像组分信息材料科学超分辨成像灵敏融合

[发明专利]后置分光瞳激光共焦拉曼光谱测试方法及装置-CN201811343475.5在审
发明人：邱丽荣;吴寒旭;赵维谦;王允 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2018-11-13 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：本发明涉及后置分光瞳激光共焦拉曼光谱测试方法及装置，属于显微光谱成像技术领域。通过共焦拉曼光谱探测系统中遗弃的瑞利散射光构建分光瞳共焦显微成像系统，实现样品几何形貌的高空间分辨探测；利用分光瞳共焦显微成像系统获得的焦点位置来精确获取样品焦点处的拉曼光谱信息，进而实现“图谱合一”的分光瞳共焦拉曼光谱高空间分辨成像与探测本发明具有定位精确，高空间分辨以及光谱探测灵敏度高等优点，可广泛引用于生物医学、物理化学、精密测量、飞秒激光加工等领域中。
分光共焦拉曼光谱共焦显微成像系统测试方法及装置高空间后置分辨激光探测高空间分辨成像物理化学飞秒激光加工拉曼光谱信息显微光谱成像瑞利散射光定位精确光谱探测几何形貌焦点位置精密测量生物医学探测系统焦点处灵敏度构建图谱

[发明专利]双边错位差动共焦测量方法-CN201510015231.4有效
发明人：赵维谦;邱丽荣;王允 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2015-01-12 - 公布日： 2017-07-28 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明属于光学成像与检测技术领域，涉及一种双边错位差动共焦测量方法。该方法通过对共焦轴向特性曲线自身两侧边数据组的错位差动相减处理，来准确求得共焦系统特性曲线的极值点位置。本发明由于利用了共焦特性曲线靠近半高宽位置附近对轴向位移非常灵敏的两段数据来进行差动相减处理，因而由该数据段推算出的共焦特性曲线的极值点位置与现有共焦特性曲线顶部拟合方法相比灵敏度大幅提高，其结果在不改变共焦显微系统结构的条件下，可显著改善现有共焦显微系统的轴向分辨力和信噪比等。本发明将为共焦成像/检测领域提供一种新的技术途径。
双边错位差动测量方法

[发明专利]一种灵敏度可调长工作距离差分共焦系统-CN202210815098.0有效
发明人：匡翠方;魏震;张凌民;徐良;马程鹏;丁晨良;刘旭;孙秋媛 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2022-07-12 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G01D5/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种灵敏度可调长工作距离差分共焦系统，包括激光器、准直镜、半波片、偏振分束器、λ/4波片、扩束镜/缩束镜、物镜、共焦透镜、分束器、小孔、光强探测器。通过调节激光出射直径改变系统灵敏度和探测范围，解决了差分共焦灵敏度高但探测范围小的问题。从而可先通过低分辨大探测范围模式进行初步测量或对焦，再通过高分辨小探测范围模式进行测量或对焦，最后实现大探测范围和高灵敏度的测量或对焦。另外，当物镜离共焦系统较远时，长焦距差分共焦系统的焦点和物镜焦点可以构成4f关系的问题，对于显微镜和激光直写设备有重要应用价值。本发明可广泛应用于激光直写系统、显微镜、测量系统。
一种灵敏度可调工作距离差分共焦系统

[发明专利]基于权值分配的共焦测量系统及测量方法-CN202211087003.4在审
发明人：杨永强;王廷煜;王之一;王建立;糜小涛;杨禹凯;全胜;姚凯男;刘昌华 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-09-07 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供一种基于权值分配的共焦测量系统及测量方法，共焦测量系统通过位置测量单元中的差动共焦测量组件进行位置距离的测量；通过在差动共焦光路的基础上，加入角度测量单元进而构建测角光路，实现对测量位置的同时进行倾斜角度的测量本发明所提供的技术方案解决了现有技术中差动共焦显微测距的同时不能测倾斜角度的问题。光学系统的光路简单易于实现。角度测量组件分光测角光路结构简单，成本低。实现了在差动共焦测距的同时，获取待测位置倾斜角度信息，在光学形貌测量，尤其在对微小表面缺陷识别中精度更高。
基于分配测量系统测量方法

[发明专利]共焦测量系统及其测量方法-CN202211087384.6在审
发明人：王建立;杨禹凯;王之一;王廷煜;糜小涛;杨永强;全胜;刘昌华;姚凯男 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-09-07 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供一种共焦测量系统及测量方法，共焦测量系统通过位置测量单元中的差动共焦测量组件进行位置距离的测量；通过在差动共焦光路的基础上，加入角度测量单元进而构建测角光路，实现对测量位置的同时进行倾斜角度的测量本发明所提供的技术方案解决了现有技术中差动共焦显微测距的同时不能测倾斜角度的问题。光学系统的光路简单易于实现。角度测量组件分光测角光路结构简单，成本低。实现了在差动共焦测距的同时，获取待测位置倾斜角度信息，在光学形貌测量，尤其在对微小表面缺陷识别中精度更高。
测量系统及其测量方法

[发明专利]有自定位的光纤共焦扫描显微镜-CN99113633.0无效
发明人：王桂英;杨莉松;徐至展 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 1999-04-14 - 公布日： 2000-10-18 - 主分类号： G02B21/00 文献下载
摘要：一种有自定位的光纤共焦扫描显微镜,包括照明光束输入部分A,光纤扫描部分B,与光纤扫描部分B交错置放的测量定位部分C,探测采样部分D和控制数据采集处理部分E。其中A、B、D和E构成光纤共焦扫描显微镜,而A、B和C构成准共焦小视场显微镜。也就是说,本发明的一台显微镜具有两种显微镜的功能,既有显微扫描层析成像的功能,又有一次成像的功能,即是对测定目标进行自定位的功能。适用于纳米深度,亚微米宽度的三维结构检测。
定位光纤扫描显微镜

[实用新型]光纤共焦扫描显微镜-CN99240337.5无效
发明人：王桂英;杨莉松;徐至展 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 1999-11-16 - 公布日： 2000-09-20 - 主分类号： G02B21/00 文献下载
摘要：一种光纤共焦扫描显微镜,包括照明光束输入部分A,光纤扫描部分B,与光纤扫描部分B交错置放的测量定位部分C,探测采样部分D和控制数据采集处理部分E。其中A、B、D和E构成光纤共焦扫描显微镜,而A、B和C构成准共焦小视场显微镜。也说是说,本实用新型的一台显微镜具有两种显微镜的功能,既有显微扫描层析成像的功能,又有一次成像的功能,即是对测定目标进行自定位的功能。适用于纳米深度,亚微米宽度的三维结构检测。
光纤扫描显微镜

[发明专利]基于图像扫描的谐波共焦显微测量方法-CN201910044664.0在审
发明人：王伟波;吴必伟;刘俭;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2019-01-17 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： G01N21/84 文献下载
摘要：基于图像扫描的谐波共焦显微测量方法属于非线性光学测量领域；在谐波显微测量中，用位置敏感CCD探测代替传统共焦扫描显微中的点探测，可将谐波显微测量分辨率提升两倍。飞秒激光脉冲经扫描振镜反射后进入4f光学系统进行光束整形，接着由显微物镜会聚在样品内部形成谐波信号发生所需的激发聚焦光斑。样品激发出的谐波信号，被显微物镜收集后再一次进入4f系统。信号经二向分色镜分离后，基频信号进入光束诊断相机；谐波信号依次经过共焦针孔和窄带滤光片后被位置敏感CCD接收。对于每一个扫描位置，整个图像均被位置敏感CCD记录，通过算法合成所有扫描位置记录的图像，可以提升谐波显微成像分辨率。
谐波谐波信号共焦显微测量扫描位置图像扫描显微测量显微物镜敏感图像针孔飞秒激光脉冲二向分色镜非线性光学分辨率提升窄带滤光片测量领域共焦扫描光束诊断光束整形基频信号聚焦光斑扫描振镜算法合成显微成像样品激发分辨率共焦显微反射会聚探测相机激发记录

[发明专利]基于共焦显微技术的大口径非球面谐衍射样品测量装置与方法-CN201610273360.8在审
发明人：刘俭;谭久彬;谷康;王宇航;牛斌 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2016-04-28 - 公布日： 2016-08-03 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于共焦显微技术的大口径非球面谐衍射样品测量装置与方法，所述装置由共焦显微模块、直线运动平台模块和被测样品构成，所述的共焦显微模块的照明模块按照照明光传播方向依次为：激光器、准直镜、光阑本发明首次通过共焦技术进行大口径谐衍射元件轮廓测量，提出了曲面基底台阶高度计算方法，不仅拟合精度高，而且可以进行对宏微结合的复杂面形的测量。
基于显微技术口径球面衍射样品测量装置方法

[发明专利]后置分光瞳激光差动共焦拉曼光谱测试方法及装置-CN201811343472.1在审
发明人：赵维谦;吴寒旭;邱丽荣;王允 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2018-11-13 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：本发明涉及后置分光瞳激光差动共焦拉曼光谱测试方法及装置，属于显微光谱成像技术领域。本发明通过共焦拉曼光谱探测系统中遗弃的瑞利散射光构建分光瞳差动共焦显微成像系统，实现样品几何形貌的高空间分辨探测；利用分光瞳差动共焦显微成像系统获得的焦点位置来精确获取样品焦点处的拉曼光谱信息，进而实现“图谱合一”的分光瞳差动共焦拉曼光谱高空间分辨成像与探测。本发明具有定位精确，高空间分辨以及光谱探测灵敏度高等优点，可广泛引用于生物医学、物理化学、精密测量、飞秒激光加工等领域中。
差动共焦分光拉曼光谱测试显微成像系统高空间后置分辨探测激光高空间分辨成像物理化学飞秒激光加工共焦拉曼光谱拉曼光谱信息显微光谱成像瑞利散射光定位精确光谱探测几何形貌焦点位置精密测量拉曼光谱生物医学探测系统焦点处灵敏度构建图谱