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[发明专利]色散共焦测量系统及其测量方法-CN202211444460.4在审
发明人：王之一;杨禹凯;王廷煜;糜小涛;王建立;杨永强 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种色散共焦测量系统及其测量方法，色散共焦测量系统通过第一测量单元进行位置测量，第二测量单元进行倾斜角度测量，在测量位置信息的同时，实时测量待测物待测点处法向倾斜角度。色散共焦测量方法依据采集的对应共焦波长的光强分布数据，以质心法获得反射光束光斑的质心位置，结合首先确定的位置信息，通过数学模型计算出二维倾斜角度，实现了位置与倾角的实时检测，且具有低成本、高精度、测量范围广、动态响应速度快、信噪比高等优势。
色散测量系统及其测量方法

[发明专利]差分共焦测量方法-CN202211088958.1在审
发明人：王之一;王廷煜;王建立;糜小涛;杨永强;杨禹凯 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-09-07 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供一种差分共焦测量方法，通过对峰值位置的精确快速提取，并结合提取的峰值位置来构建峰值位置和倾斜角度的函数模型。能够提高峰值提取精度，即使采集的光斑图像不是近似的高斯分布，依然能顾准确获取峰值位置，实现对测量位置倾斜角度的高精度的精确测量。本发明所提供的差分共焦测量方法，通过差分共焦组件的配合来实现待测物的待测点的距离测量，能够准确的获取距离信息，并通过差点共焦组件的测距进一步提高了定位的灵敏度与抗干扰能力，实现了在差动共焦测距的同时获取待测物的倾斜角度信息，在光学形貌测量，尤其是对微小表面缺陷识别中精度更高。
差分共焦测量方法

[发明专利]共焦测量系统及其测量方法-CN202211087384.6在审
发明人：王建立;杨禹凯;王之一;王廷煜;糜小涛;杨永强;全胜;刘昌华;姚凯男 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-09-07 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供一种共焦测量系统及测量方法，共焦测量系统通过位置测量单元中的差动共焦测量组件进行位置距离的测量；通过在差动共焦光路的基础上，加入角度测量单元进而构建测角光路，实现对测量位置的同时进行倾斜角度的测量。本发明所提供的技术方案解决了现有技术中差动共焦显微测距的同时不能测倾斜角度的问题。光学系统的光路简单易于实现。角度测量组件分光测角光路结构简单，成本低。实现了在差动共焦测距的同时，获取待测位置倾斜角度信息，在光学形貌测量，尤其在对微小表面缺陷识别中精度更高。
测量系统及其测量方法

[发明专利]共焦显微系统出瞳面光场分布的构造方法-CN202211088431.9在审
发明人：王廷煜;王之一;王建立;杨禹凯;杨永强;糜小涛 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-09-07 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供一种共焦显微系统出瞳面光场分布构造方法，通过使用几何光学以及合理的数学近似分析共焦显微系统参数面对任意二维倾斜角度的信息，进而对共焦显微系统的物镜出瞳平面的光场分布进行构造，既避免了基于衍射理论的构造方式中复杂、模拟分布时计算量巨大，又避免了基于几何光学的构造方式中将反射后的光近似看成圆形，这引起的较大误差，不能真实的反应实际的分布。本发明所提供的共焦显微系统出瞳面光场分布构造方法考虑实际情况下的物理现象，构造更加符合实际的共焦显微系统的物镜的出瞳平面光场分布。
显微系统出瞳面光场分布构造方法

[发明专利]共焦测量系统及其测量方法-CN202211087817.8在审
发明人：糜小涛;王之一;王建立;王廷煜;杨永强;杨禹凯;刘昌华;全胜;姚凯男 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-09-07 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供一种共焦测量系统及测量方法。共焦测量系统包括测量单元、位置测量单元和角度测量单元，测量单元包括沿光路依次设置的激光光源、准直透镜、第一分束镜、聚焦透镜、第二分束镜、数据处理组件。通过本发明提供的共焦测量系统及测量方法能够同时获取待测物的面型信息和表面倾角信息，能够实现大角度范围的测量，并且本发明提供的共焦测量系统的结构简单易于实现，测量方法易于操作，并且同时兼顾了准确性和快速性。
测量系统及其测量方法

[发明专利]基于差分共焦系统的测量方法及其测量装置-CN202211156460.4在审
发明人：王廷煜;王之一;王建立;杨禹凯;糜小涛;杨永强 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-09-22 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基于差分共焦系统的测量方法及其测量装置，测量方法通过驱动物镜定位器沿光轴方向移动，以带动物镜进行移动，并对物镜定位器的位移数据、焦前光电探测器和焦后光电探测器的光强度数据进行采样，对数据进行分析，获取待测物的位置信息。本发明提供的方法在通过聚焦误差信号进行测距时，对于一个待测点的测量只需要将物镜驱动一次，同时采集物镜位移数据、焦前光电探测器和焦后光电探测器的光强度数据，即可通过对采集数据做差分处理，利用最小二乘法对差分信号线性区域进行线性拟合，提取过零点位置对应物镜定位器位置作为测距信息，避免了现有技术中在获取差动共焦响应曲线的过零点出现误差，就会对测距的结果产生影响。
基于差分共焦系统测量方法及其测量装置

[发明专利]一维表面形貌测量系统及其测量方法-CN202211020383.X在审
发明人：王建立;王之一;王廷煜;杨永强;糜小涛;杨禹凯;全胜;姚凯男;刘昌华 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-08-24 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供一种一维表面形貌测量系统及其测量方法，其中的测量装置包括差动共焦测距模块和色散测角模块；在待测物的表面形貌的测量过程中：首先通过差动共焦测距模块将待测物表面的待测位置移动至预设测量位置；再通过色散测角模块对待测位置的峰值波长进行提取，最后通过倾斜角度θ与峰值波长λ的关系θ＝F(λ)确定待测位置的倾斜角度。本发明利用待测位置不同的倾斜角度，会对色散光束产生不同的水平偏移，光谱仪接收到的光谱信号会有不同的峰值波长，从而测算出待测位置的倾斜角度。
表面形貌测量系统及其测量方法

[发明专利]基于权值分配的共焦测量系统及测量方法-CN202211087003.4在审
发明人：杨永强;王廷煜;王之一;王建立;糜小涛;杨禹凯;全胜;姚凯男;刘昌华 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-09-07 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供一种基于权值分配的共焦测量系统及测量方法，共焦测量系统通过位置测量单元中的差动共焦测量组件进行位置距离的测量；通过在差动共焦光路的基础上，加入角度测量单元进而构建测角光路，实现对测量位置的同时进行倾斜角度的测量。本发明所提供的技术方案解决了现有技术中差动共焦显微测距的同时不能测倾斜角度的问题。光学系统的光路简单易于实现。角度测量组件分光测角光路结构简单，成本低。实现了在差动共焦测距的同时，获取待测位置倾斜角度信息，在光学形貌测量，尤其在对微小表面缺陷识别中精度更高。
基于分配测量系统测量方法

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