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[发明专利]具有高空间分辨力的差动共焦扫描检测方法-CN200410006359.6有效
发明人：赵维谦;谭久彬;邱丽荣 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2004-02-27 - 公布日： 2004-09-08 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：本发明属于表面微细结构测量技术领域，涉及一种具有高空间分辨力的差动共焦扫描检测方法。该方法采用差动共焦显微双接受光路布置和双探测器相减形成差动共焦信号，对被测工件进行测量，通过光学超分辨共焦显微检测方法提高横向分辨力，通过差动共焦显微探测方法提高纵向分辨力，从而达到差动共焦扫描检测的高空间分辨力检测该方法可以满足高空间分辨力、高精度和较大测量范围的要求，特别适用于表面三维微细结构、微台阶、微沟槽、线宽以及表面形貌的测量等。
具有空间分辨力差动扫描检测方法

[发明专利]基于共焦显微原理的宏微结合面形测量装置及其测量方法-CN201710104131.8有效
发明人：刘俭;王宇航;谷康;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2017-02-24 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：基于共焦显微原理的宏微结合面形测量装置及其测量方法，属于光学精密测量技术领域，本发明为解决现有微观结构的测量方法测量范围有限，无法进行大口径光学元件测量的问题。本发明包括共焦显微模块、直线运动平台模块和旋转运动平台模块，共焦显微三维测量模块包括第一激光器、第一分光棱镜、二维扫描振镜、扫描透镜、管镜、第一物镜、第一收集透镜和第一光电探测器；共焦光学探针模块包括第二激光器、第二分光棱镜、第二物镜、第二收集透镜和第二光电探测器；共焦光学探针模块用于完成宏观结构的三维测量，共焦显微三维测量模块用于完成微观结构的三维测量。本发明用于测量复杂面形的光学元件。
基于显微原理结合测量装置及其测量方法

[发明专利]一种同时测量腐蚀坑体积、面积、深度的方法-CN201210050724.8有效
发明人：蔡宁;鞠新华;温娟 -专利权人：首钢总公司
申请日： 2012-02-29 - 公布日： 2012-09-26 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：一种测量腐蚀坑体积、面积、深度的方法，属于腐蚀测量评定技术领域。采用激光共焦显微镜测量，工艺步骤为，采用激光共焦显微镜，测量步骤包括：试样截取、表面氧化产物去除、显微照相和数据测量。优点在于，通过激光共焦显微3D影像，实现对腐蚀坑体积、面积和深度的同时测量。不但可以提供腐蚀坑的3维立体图像，直观的观察腐蚀坑的大小、形貌。而且可以同时测量腐蚀坑的体积、面积、深度，解决了目前腐蚀坑测量难的技术问题。
一种同时测量腐蚀体积面积深度方法

[发明专利]共焦组合超长焦距测量方法与装置-CN200810226967.6无效
发明人：赵维谦;邱丽荣;孙若端;沙定国 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2008-11-21 - 公布日： 2009-04-15 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种共焦组合透镜超长焦距测量方法与装置。该方法首先通过共焦定焦原理确定参考透镜焦点位置、被测透镜与参考透镜组合的焦点位置，而后测量两焦点间的距离Δ和两透镜的间距d₀，代入公式计算被测透镜的焦距值，测量过程中还可以通过光瞳滤波技术提高焦距测量灵敏度本发明首次提出利用共焦响应曲线极大值时目标对应显微物镜焦点的特性实现精确定焦，将共焦显微原理扩展到超长焦距测量领域，提出了共焦定焦原理。本发明融合了共焦定焦原理与组合透镜法，具有测量精度高、抗环境干扰能力强的优点，可用于超长焦距透镜的检测与装配过程中的高精度焦距测量。
组合超长焦距测量方法装置

[发明专利]一种基于光谱共焦原理的生物显微视觉预对焦装置及方法-CN202110896664.0有效
发明人：孙安玉;钟皓泽;居冰峰;管凯敏;翟石磊;王杰 -专利权人：浙江大学
申请日： 2021-08-05 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： G02B21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于光谱共焦原理的生物显微视觉预对焦装置及方法。该装置包括光谱共焦传感模块、显微光学模块、玻片夹持装置、聚焦运动装置和扫描运动装置。光谱共焦传感器一次性测量出到盖玻片上/下表面的距离、待观测生物组织层的厚度；通过标定确立显微物镜物方焦点和光谱共焦传感器测量值之间的空间关系，进而实现由光谱共焦传感器测量值直接驱动聚焦运动装置实现生物显微视觉的精确自动对焦本发明适用于数字切片扫描仪的聚焦地形图构建，也可用于生物数码显微镜的自动对焦，具有对焦速度快、分层焦点预测准确等特点。
一种基于光谱原理生物显微视觉对焦装置方法

[发明专利]三差动共焦显微三维超分辨成像方法-CN200410090774.4有效
发明人：赵维谦;谭久彬;邱丽荣 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2004-11-10 - 公布日： 2005-04-27 - 主分类号： G01N13/00 文献下载
摘要：本发明属于光学显微成像及微观测量技术领域，涉及一种具有高性噪比和三维超分辨成像能力的三差动共焦显微三维超分辨成像方法。该方法将提高轴向分辨力的三差动共焦扫描方法和提高横向分辨力的超分辨光瞳滤波共焦扫描方法相融合，构成光瞳滤波式三维超分辨差动共焦成像方法。横向分辨力的提高可通过特定设计的光瞳滤波器来对三差动共焦显微镜的爱里斑主辨进行锐化来达到，轴向分辨力的提高可通过三差动共焦光路布置及差动探测来达到，这样，即可实现共焦显微镜的三维超分辨成像和高性噪比显微成像检测该方法可用于测量样品的三维表面形貌、三维微细结构、微台阶、微沟槽、集成电路线宽等。
差动显微三维分辨成像方法

[发明专利]差动共焦-低相干干涉组合折射率及厚度测量方法与装置-CN200910079330.3无效
发明人：赵维谦;王允;邱丽荣 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2009-03-06 - 公布日： 2009-08-19 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种差动共焦-低相干干涉组合折射率及厚度测量方法与装置。该方法首先通过差动共焦定焦原理和低相干干涉原理分别确定被测样品的前表面位置和后表面位置对应的测量物镜和参考部分的位置，然后测量测量物镜的移动距离Δz和参考部分的移动距离Δl，带入公式计算被测样品的折射率和厚度本发明首次提出利用差动共焦响应曲线过零点时对应显微物镜焦点的特性实现精确定焦，将差动共焦显微原理扩展到折射率和厚度测量领域，形成差动共焦测厚原理。本发明融合了差动共焦定焦原理与低相干干涉技术，具有测量精度高、抗环境干扰能力强的优点，可用于样品的折射率和厚度的检测。
差动相干干涉组合折射率厚度测量方法装置

[发明专利]椭球反射镜照明自适应谐波共焦显微测量方法-CN201810498567.4在审
发明人：王伟波;刘俭;吴必伟;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2018-05-23 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： G01N21/63 文献下载
摘要：椭球反射镜照明自适应谐波共焦显微测量方法属于非线性光学测量领域；将椭球反射式照明系统、共焦显微测量方法、自适应像差校正方法与谐波显微方法有机结合，可提升谐波显微测量分辨力。样品经激发光激发后会同时产生二次和三次谐波信号，被右侧双路复合的共焦显微测量系统收集并解析。所用的谐波收集模块采用共焦收集模式。共焦针孔的切趾作用可以有效的抑制混叠信号噪声对谐波信号解析的干扰，大大提高显微系统的测量分辨力。
谐波共焦显微测量谐波信号自适应针孔椭球反射镜像差校正共焦分辨解析飞秒激光脉冲三次谐波信号椭球面反射镜大数值孔径二向分色镜反射式照明非线性光学光电倍增管窄带滤光片自适应光学波长信号测量领域成像物镜光束整形混叠信号聚焦光斑扫描振镜收集模块系统收集显微测量显微系统相位调制像差补偿有机结合照明光束激发光激发双路椭球物镜显微反射噪声会聚测量聚焦复合

[发明专利]一种显微共焦拉曼光谱仪-CN201110288486.X无效
发明人：谭平恒;韩文鹏;张昕;鲁妍;罗师强 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2011-09-26 - 公布日： 2012-06-20 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：本发明公开了一种显微共焦拉曼光谱仪，该光谱仪包括显微共焦拉曼模块和与之匹配的单光栅光谱仪，其中显微共焦拉曼模块包含反射镜、可调角度滤光片架、样品监测光路、拉曼滤光片、显微物镜、汇聚透镜和可调大小针孔。利用显微共焦拉曼模块将激光聚焦到样品并显微观测样品以及相应激光斑点，同时将拉曼信号显微共焦到可调大小针孔，并利用单光栅光谱仪探测拉曼信号。本发明提供了一种简单、经济和调节方便的新的显微共焦拉曼光谱仪，可实现样品以及相应激光斑点的显微观测，将在材料的拉曼光谱测量方面发挥潜在的作用。
一种显微共焦拉曼光谱仪

[发明专利]差动共焦组合超长焦距测量方法与装置-CN200810226966.1有效
发明人：赵维谦;孙若端;邱丽荣;沙定国 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2008-11-21 - 公布日： 2009-04-08 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种差动共焦组合透镜超长焦距测量方法与装置，该方法首先通过差动共焦定焦原理分别确定参考透镜焦点和被测透镜与参考透镜组合的焦点位置，然后测量两焦点间的距离Δ和两透镜的间距d₀，代入公式计算被测透镜的焦距值，同时测量过程中还可以通过光瞳滤波技术提高焦距测量灵敏度。本发明首次提出利用差动共焦响应曲线过零点时对应显微物镜焦点的特性实现精确定焦，将差动共焦显微原理扩展到超长焦距测量领域，形成差动共焦定焦原理。本发明融合了差动共焦定焦原理与组合透镜法，具有测量精度高、抗环境干扰能力强的优点，可用于超长焦距透镜的检测与光学系统装配过程中的高精度焦距测量。
差动组合超长焦距测量方法装置

[发明专利]一种多环带形MEMS共焦针孔探测器及测量方法-CN201510707519.8在审
发明人：刘涛;杨树明;王通;蒋庄德;王一鸣 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2015-10-27 - 公布日： 2016-01-13 - 主分类号： G02B21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种多环带形MEMS共焦针孔探测器及测量方法，属于高分辨共焦扫描光学显微成像及测量技术领域。本发明所述的一种多环带形MEMS共焦针孔探测器为多环带形结构，每个环带可实现独立电极输出，利用不同环带信号的运算组合，编程选择滤波器信号输出模式以实现多种功能共焦探测输出，分别实现可变直径圆形针孔滤波、可变内外直径环形针孔滤波、差分和微分滤波共焦探测输出等，并应用实现高分辨率共焦层析成像及精密测量。以本发明为基础研制分辨率可调制共焦扫描光学显微镜，用于微纳结构表面形貌的精密测量或生物样品内部三维结构高分辨成像等。
一种环带 mems 针孔探测器测量方法

[发明专利]暗场共焦显微测量宽度定值方法-CN202210031996.7在审
发明人：刘俭;刘辰光;姜勇;由小玉 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2022-01-12 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种暗场共焦显微测量宽度定值方法,包括基于暗场共焦显微镜通过调节成像端的探测孔径获取的下表面准焦反射图像PR和下表面准焦散射图像P共焦显微成像模型计算沟槽下表面准焦强度像中沟槽边缘位置的归一化光强值IE，根据实际测量得到的下表面准焦反射图像PR以及光强值IE确定实际边缘位置值，获得反射探测模式下沟槽宽度定值结果；通过实际测量得到的下表面准焦散射图像Ps，通过高斯拟合沟槽边缘响应峰值位置值，获得散射探测模式下沟槽宽度定值结果；将反射探测模式与散射探测模式下的宽度定值结果加权平均作为沟槽宽度的最终测量值。为暗场共焦显微镜提供一种更为准确合理的沟槽宽度定值方法。
暗场显微测量宽度方法

[发明专利]移相干涉二次共焦软针孔探测装置与方法-CN200910071662.7无效
发明人：刘俭;谭久彬;刘涛;赵晨光;王伟波 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2009-03-30 - 公布日： 2009-09-02 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：移相干涉二次共焦软针孔探测装置与方法属于超精密三维微细结构表面形貌测量领域；由显微物镜和CCD相机组成软针孔探测装置，通过移走测量表面，移动显微物镜和CCD相机确定收集物镜准焦面位置，定位CCD像面上爱里斑中心点位置，截取并锁定CCD像面上相应于不同显微放大倍数的固定像素区域作为软针孔，调整显微物镜和CCD相机使其对收集物镜会聚准焦面处横向光斑成清晰放大像，再加入被测表面，按照四步时间移相干涉二次共焦测量步骤完成具体微位移测量；本发明可提供灵活的等效针孔样式，有效降低实际共焦针孔的装调误差，提高移相干涉二次共焦点探测精度。
相干二次共焦软针孔探测装置方法

[发明专利]一种材料的微区光学、电学的测量装置及方法-CN201610305589.5在审
发明人：李娟;张小娴;王婷;曾齐斌;秦靓;裘晓辉 -专利权人：国家纳米科学中心
申请日： 2016-05-10 - 公布日： 2016-09-28 - 主分类号： G01N21/00 文献下载
摘要：本发明纳米材料测量技术领域，尤其涉及一种材料的微区光学、电学的测量装置及方法。微区光学、电学的测量装置包括共焦显微仪器，该共焦显微仪器包括样品台，还包括吸附在样品台上的探针座，所述探针座与样品台同步移动。同时，还提供了采用上述装置的测量方法。在本发明中通过在共焦显微仪器的样品台上设置探针座，结合此探针座的使用，可以实现在光照下对材料进行精确的I‑V电学性质测量和在器件运作过程中如栅压调控下的光学测量。
一种材料光学电学测量装置方法

[发明专利]后置分光瞳激光差动共焦布里渊-Raman光谱测试方法及装置-CN201811343517.5在审
发明人：赵维谦;吴寒旭;邱丽荣;王允 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2018-11-13 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：本发明涉及后置分光瞳激光差动共焦布里渊‑Raman光谱测试方法及装置，属于显微光谱成像技术领域。通过共焦拉曼光谱探测系统中遗弃的瑞利散射光构建分光瞳差动共焦显微成像系统，实现样品几何形貌的高空间分辨探测；通过探测共焦拉曼光谱探测系统中遗弃的布里渊散射光获取被测样品的多种基本性质，从而对材料的弹性、密度、弹性等参数进行测量；利用分光瞳激光差动共焦显微成像系统获得的焦点位置来精确获取样品焦点处的光谱信息，进而实现“图谱合一”的分光瞳差动共焦布里渊‑拉曼光谱高空间分辨成像与探测；通过将共焦拉曼光谱探测技术与共焦布里渊光谱探测技术相融合，实现样品形貌性能多参数综合测量。
差动共焦分光共焦拉曼光谱显微成像系统激光探测光谱测试探测系统后置测量高空间分辨成像布里渊散射光显微光谱成像瑞利散射光被测样品光谱探测光谱信息几何形貌焦点位置拉曼光谱探测技术样品形貌多参数高空间焦点处构建分辨图谱融合

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