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[发明专利]缓冲层诱导生长的高性能的VO₂热敏薄膜及制备方法-CN201610277282.9在审
发明人：高彦峰;丁卓翰;万冬云 -专利权人：上海大学
申请日： 2016-05-01 - 公布日： 2016-08-10 - 主分类号： H01L31/09 文献下载
摘要：本发明公开了一种缓冲层诱导生长的高性能的VO₂热敏薄膜，包括：衬底层，所述衬底为普通玻璃、石英玻璃等；缓冲层，所述缓冲层成分为TiO₂、Al₂O₃、CeO₂、ZrO₂、ZnO、SnO₂或MgO中的一种，所述VO₂热敏薄膜为缓冲层诱导生长的二氧化钒热敏薄膜，所述缓冲层厚度为25 nm～250 nm；所述缓冲层诱导生长的二氧化钒薄膜厚度为25 nm～250 nm；方块电阻为10 kΩ/□～60 kΩ/□；电阻温度系数为‑3%/K～‑5%/K。本发明还提供了上述热敏薄膜的制备方法，其步骤：在衬底上采用化学沉积方法或物理沉积方法制备一个具有锐钛矿结构的TiO₂缓冲层，及在该缓冲层上利用该缓冲层诱导生长的二氧化钒热敏薄膜。该方法操作简单，成本低；且该二氧化钒VO₂薄膜具有薄膜电阻值合适、电阻温度系数（TCR）高的特点。
缓冲诱导生长性能 vo sub 热敏薄膜制备方法

[发明专利]一种基于温度和电压调制的太赫兹宽带吸波/极化转换器-CN202310356352.X在审
发明人：张颖;董天俐;李悠;唐雨培 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2023-04-06 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01Q17/00 文献下载
摘要：器件单元包括金属反射层，下聚酰亚胺层、无图案二氧化钒薄膜层、金属/石墨烯复合层、上聚酰亚胺层和图案化二氧化钒层。金属反射层为一层连续的金属金薄膜，金属/石墨烯复合层为双开口的金属金圆环，开口处由石墨烯填充；图案化二氧化钒层由两个具有不同边长的同轴二氧化钒方环嵌套形成。通过温度调节二氧化钒的电导率实现在宽带吸收和宽带极化转换两种功能之间的自由切换，通过电压调制石墨烯的费米能级实现宽带吸收幅度的调节及宽带极化转换率的调节。
一种基于温度电压调制赫兹宽带极化转换器

[发明专利]硅基全介质型电控太赫兹波调控器件及其制备方法-CN201810054913.X有效
发明人：文岐业;代朋辉;杨青慧;文天龙;谭为;冯正;唐亚华;张怀武 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2018-01-19 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： G02F1/015 文献下载
摘要：本发明提供一种硅基全介质型电控太赫兹波调控器件及其制备方法，包括双层圆柱形硅微米结构，高阻硅衬底、掺杂硅叉指电极、二氧化硅纳米氧化层以及二氧化钒薄膜，双层圆柱形硅微米结构位于高阻硅衬底的上侧，掺杂硅叉指电极、二氧化硅纳米氧化层、二氧化钒薄膜从上到下依次位于高阻硅衬底的下侧；本发明中选取半导体高阻硅材料作为主要介质材料，获取容易、成本低且半导体加工工艺成熟；这一器件具有很高的太赫兹波透射率以及极低的器件插损，同时具有大的工作带宽；通过在二氧化钒薄膜和掺杂硅叉指电极间引入氧化物绝缘层可有效抑制电流所产生的焦耳热，进而提高器件开关速度，可广泛应用于太赫兹波探测、太赫兹波成像等领域。
太赫兹波高阻二氧化钒薄膜叉指电极掺杂硅硅衬底二氧化硅纳米双层圆柱形调控器件微米结构全介质氧化层电控硅基制备半导体加工工艺太赫兹波成像氧化物绝缘层从上到下工作带宽介质材料器件开关有效抑制硅材料焦耳热透射率插损半导体探测引入成熟应用

[发明专利]彩色二氧化钒热色玻璃的制备方法-CN200810027219.5有效
发明人：徐刚;黄春明;何云富;侯乃升 -专利权人：中国科学院广州能源研究所
申请日： 2008-04-03 - 公布日： 2008-09-24 - 主分类号： C03C17/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种彩色二氧化钒热色玻璃的制备方法。依次包括如下步骤：(a)将玻璃衬底洗净并吹干；(b)将玻璃衬底放入薄膜沉积室，加热至400～600℃；(c)通入工作气体；(d)采用磁控溅射制备工艺制备二氧化钒热色层；(e)采用磁控溅射制备工艺制备二氧化钛干涉层，并精确控制干涉层的膜层厚度以得到不同颜色的二氧化钒热色玻璃。这些颜色可使二氧化钒热色玻璃除了具有高效节能的功能外，还有一定的装饰效果，更易为用户所接受。
彩色氧化钒热色玻璃制备方法

[发明专利]一种二氧化钒复合薄膜及其制备方法-CN201610935366.7有效
发明人：金平实;龙世伟;包山虎;曹逊;周怀娟 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2016-11-01 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及一种二氧化钒复合薄膜及其制备方法，包括基板、依次形成于所述基板表面的第一保护增透层、二氧化钒调光层和第二保护增透层，所述第一保护增透层或/和第二保护增透层的化学式为WO_3‑x3‑x或M_yWO₃，作为位于所述二氧化钒调光层两侧的第一保护增透层和第二保护增透层。其中WO_3‑x或M_yWO₃，其光学常数n与二氧化钒薄膜匹配，n=2.0‑2.4，可以达到光学设计调光。
一种氧化复合薄膜及其制备方法

[发明专利]一种二氧化钒薄膜的无机溶胶-凝胶制备方法-CN201410236112.7在审
发明人：赵修建;张文元;陶海征;万美南 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2014-05-30 - 公布日： 2015-12-30 - 主分类号： C03C17/23 文献下载
摘要：本发明属于材料化学技术领域，特别涉及一种二氧化钒薄膜的无机溶胶-凝胶制备方法。该方法包括：1)将金属钒粉末或五氧化二钒粉末溶解于双氧水中，搅拌，静置，室温保存后得到五价钒的溶胶；2)将步骤1)所得的溶胶涂覆于衬底上，然后经惰性气体保护，弱还原一步退火直接制得了二氧化钒薄膜。本发明所提出的一步退火法克服了以往该种五价钒溶胶制膜需要氢气预还原，两步退火的繁琐或是在高真空、高温下热分解，条件苛刻的缺点，退火温度在普通玻璃承受范围之内，对退火炉要求不高，而且进一步降低了成本。同时所得的二氧化钒薄膜光学调控性能优异，可见透光率最高可达70％，红外调节性能最高可达60％，在光电功能材料领域有广阔的应用前景。
一种氧化薄膜无机溶胶凝胶制备方法

[发明专利]红外调控力增强的透光结构及其应用-CN201210262887.2无效
发明人：陆亚林;赵元;张璇如;朱彦武;胡翔 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2012-07-26 - 公布日： 2012-11-21 - 主分类号： B32B17/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种红外调控力增强的透光结构，其包括透明衬底、设置在所述透明衬底上的金属薄膜和设置在所述金属薄膜上的二氧化钒薄膜；本发明还涉及该透光结构用作智能节能玻璃的应用。本发明解决了现有二氧化钒智能节能玻璃红外调控力弱导致的智能节能效果差等问题。
红外调控增强透光结构及其应用

[发明专利]一种椭球状分级结构M相二氧化钒粉体及其制备方法-CN202210588206.5在审
发明人：田守勤;李彬;钱家琛;赵修建;郑梦洁 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2022-05-26 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： C01G31/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种椭球状分级结构M相二氧化钒粉体及其制备方法，所述分级结构是由M相二氧化钒纳米片按特定取向组装成椭球型M相二氧化钒结构。所述椭球状M相二氧化钒的三维尺寸分布在0.5～2μm，M相二氧化钒纳米片的二维尺寸分布在20～250nm，椭球状结构由外壳和内核组成，其中外壳由M相二氧化钒纳米片平行于椭球长轴方向排列，内核纳米片与外壳纳米片垂直排列因此本申请生产成本低廉适合工业化大规模生产；本申请中粉体具有较高的结晶度、特定的形貌，可广泛应用于智能节能薄膜、红外探测器、光电开关材料等领域。
一种椭球分级结构氧化钒粉体及其制备方法

[发明专利]一种智能阻热薄膜及其制备方法-CN200710029169.X无效
发明人：李新军;郑金玉;郑少健;冯满枝;王彦明 -专利权人：中国科学院广州能源研究所
申请日： 2007-07-16 - 公布日： 2008-02-20 - 主分类号： C03C17/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种可以随着太阳光光强变化而智能调节反射太阳光中的红外线进而起到智能阻热的薄膜及其制备方法。本发明薄膜由三部分组成，第一部分为二氧化钛层，第二部分为二氧化钒层；第三部分为二氧化钛层，所述二氧化钛为纯粹的二氧化钛或者金属离子非均匀掺杂的二氧化钛。第一部分的厚度为30－250nm，第二部分的厚度为20－160nm，第三部分的厚度为30－250nm。所述制备方法包括以下步骤：(1)TiO₂薄膜的制备；(2)VO₂溶胶制备；(3)复合薄膜的制备。本发明薄膜有效降低了二氧化钒的相变温度点，既具有温控调节的效果，同时还具有光控的调节作用。还具有自洁与防雾效果。因此具有良好的实用价值。本发明制备方法简便、高效，适用于大规模生产。
一种智能薄膜及其制备方法

[发明专利]一种宽带吸收与极化转换可切换的环-扇结构太赫兹器件-CN202310818639.X在审
发明人：牛军浩;姚芊妤;崔丽丽;莫玮;李春辉;陈涛;许川佩 -专利权人：桂林电子科技大学
申请日： 2023-07-05 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： H01Q17/00 文献下载
摘要：本发明涉及太赫兹超材料器件技术领域，尤其涉及一种宽带吸收与极化转换可切换的环‑扇结构太赫兹器件，包括多个结构单元，每个结构单元由相变环形层、吸收介质层、金属扇形层、相变薄膜层、极化介质层和金属底层从上至下依次堆叠构成，其中相变环形层和相变薄膜层的材料为二氧化钒，通过温度改变二氧化钒电导率，在二氧化钒绝缘态时起宽带交叉极化转换作用，在二氧化钒金属态时起宽带吸收作用且具有极化不敏感和广角吸收优势。
一种宽带吸收极化转换切换结构赫兹器件

[发明专利]一种彩色二氧化钒薄膜及其制备方法-CN201610332674.0有效
发明人：高彦峰;石翔;崔晓鹏;陈长;季爱艳;徐志 -专利权人：上海大学
申请日： 2016-05-18 - 公布日： 2019-12-03 - 主分类号： G02B5/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种彩色二氧化钒薄膜及其制备方法，所述薄膜含有二氧化钒，所述薄膜中具有贯通薄膜的周期排列的空气柱阵列。本发明通过纳米压印在薄膜中形成空气柱阵列，工艺简单，易于控制，可大规模应用。本发明的薄膜具有可调的颜色，且可见光透过率高，可以用在窗玻璃，汽车玻璃等领域。
一种彩色氧化薄膜及其制备方法

[发明专利]一种环保型热致变色二氧化钒薄膜的制备方法-CN201710165063.6在审
发明人：刘保顺;邓赛君;万美南;王朔;李驰;赵修建 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2017-03-20 - 公布日： 2017-06-27 - 主分类号： C03C17/23 文献下载
摘要：本发明涉及一种环保型热致变色二氧化钒薄膜的制备方法，其步骤如下1)将五氧化二钒与抗坏血酸溶于去离子水中，得到均匀溶液，待溶液反应变成深棕绿色时加入浓盐酸，随后水浴加热搅拌，直至溶液呈蓝色透明状，接着再加入聚乙烯吡络烷酮，室温搅拌得到前驱体溶胶；2)将前驱体溶胶采用旋涂的方法在石英玻璃基片表面旋涂制膜，随后将石英玻璃基片干燥，最后将石英玻璃基片放入高温炉中退火处理得到热致变色二氧化钒薄膜。本发明采用无毒且还原性较强的抗坏血酸还原五氧化二钒，通过调整初始反应物的配比、前驱体溶胶的浓度以及浓盐酸的加入量得到颗粒尺寸均匀、孔隙率大、具有较高的可见光透射比以及太阳光调制效率的二氧化钒薄膜。
一种环保型热致变色氧化薄膜制备方法

[发明专利]一种二氧化钒薄膜的制备方法-CN201210561778.0无效
发明人：彭寿;单传丽;甘治平;王东;石丽芬;金良茂;张家林 -专利权人：蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司
申请日： 2012-12-22 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： C23C26/00 文献下载
摘要：本发明公开一种用原子层沉积设备制备二氧化钒薄膜的方法，包括以下步骤：将玻璃衬底清洗吹干后放置原子层沉积设备反应腔体中；用高纯氮气吹扫原子层沉积设备前驱体管路和反应腔体；设置原子层沉积设备反应腔体内反应温度为300-350℃；固态乙酰丙酮氧钒加热至100℃后以气态形式经前驱体管路进入反应腔体中，乙酰丙酮氧钒中的钒原子吸附在玻璃衬底表面；用高纯氮气吹扫前驱体管路和反应腔体；向反应腔体中通入高纯氧气，高纯氧气中的氧原子与玻璃衬底表面吸附的钒原子形成钒氧键，反应完全后，玻璃衬底表面沉积一层二氧化钒薄膜，重复上述步骤，即可形成厚度可控的二氧化钒薄膜，本发明成膜质量高，膜层相变性质显著。
一种氧化薄膜制备方法

[发明专利]基于二氧化钒相变特性的隐身薄膜及其制备方法-CN202211620985.9在审
发明人：王书霞;崔节虎;贺嘉郡;王泽华;李阳;田慧媛 -专利权人：郑州航空工业管理学院
申请日： 2022-12-16 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： C23C16/40 文献下载
摘要：本申请公开了一种基于二氧化钒相变特性的隐身薄膜及其制备方法，旨在解决现有隐身薄膜吸收光谱范围窄、调控困难、环境自适应能力差及与结合性能差的技术问题。本申请是以VO(OC3H7)3，和去离子水作为前驱体，沉积氧化钒；放入退火炉中退火得二氧化钒纳米颗粒；将沉积有二氧化钒纳米颗粒的基底材料放入原子层沉积腔体中，沉积介质层；随后沉积上层氧化钒薄膜，最终制备得一系列结构参数可调的“VO2纳米颗粒/介质层/VO2薄膜”动态MIM三元结构智能隐身薄膜。
基于氧化相变特性隐身薄膜及其制备方法

[发明专利]一种二氧化钒粉体浆料及其制备方法-CN201210017917.3有效
发明人：罗宏杰;刘奕燎;高彦峰;蔡朝辉;林裕卫;曹传祥;王少博;金平实 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所;佛山佛塑科技集团股份有限公司
申请日： 2012-01-19 - 公布日： 2013-05-01 - 主分类号： C09D7/12 文献下载
摘要：一种二氧化钒粉体浆料及其制备方法。本发明涉及一种二氧化钒粉体浆料。包括二氧化钒复合粉体，复合粉体包括化学组成为V1-xMxO2的二氧化钒纳米粉体，且二氧化钒纳米粉体表面接有机改性长链分子，其中M为掺杂元素，0≤x≤0.5。本发明的二氧化钒复合粉体及其浆料，对二氧化钒纳米粉体的表面经过有机改性，从而极大提高二氧化钒粉体及其浆料的化学稳定性和分散性。
一种氧化钒粉体浆料及其制备方法