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[发明专利]一种二氧化钒多孔复合薄膜及其制备方法和应用-CN201810966652.9有效
发明人：金平实;龙世伟;曹逊;黄爱彬;李荣 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2018-08-23 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： C23C14/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种二氧化钒多孔复合薄膜及其制备方法和应用，所述二氧化钒多孔复合薄膜，包括基材、以及形成在基材至少一侧的表面的二氧化钒多孔结构薄膜，所述二氧化钒多孔结构薄膜包括连续状二氧化钒薄膜、分布在所述连续状二氧化钒薄膜上的孤立状二氧化钒颗粒，以及孤立状二氧化钒颗粒之间的气孔。
一种氧化多孔复合薄膜及其制备方法应用

[发明专利]辐射率可调的二氧化钒基复合薄膜及其制备方法和应用-CN201110108344.0无效
发明人：高彦峰;康利涛;罗宏杰;金平实 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2011-04-28 - 公布日： 2012-10-31 - 主分类号： C03C17/34 文献下载
摘要：本发明涉及辐射率可调的二氧化钒基复合薄膜及其制备方法和应用。提供一种辐射率可调的二氧化钒基复合薄膜，包括二氧化钒薄膜层和复合于所述二氧化钒薄膜层能够降低所述二氧化钒基复合薄膜的辐射率的透明导电薄膜层，且所述二氧化钒基复合薄膜的辐射率为0.70以下。本发明二氧化钒基复合薄膜不仅集成了热致变色智能节能玻璃和低辐射玻璃的优点，还具有较高的可见光透过率，提高了二氧化钒基智能节能玻璃的保温性能。
辐射可调氧化复合薄膜及其制备方法应用

[发明专利]一种高开关比二氧化钒薄膜及制备方法-CN202310146619.2在审
发明人：顾德恩;熊志;赵天成;周鑫 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种高开关比二氧化钒薄膜及制备方法，包含如下步骤：(1)首先通过高温薄膜沉积工艺在基片上沉积一层10‑30nm二氧化钒种子层；(2)然后降低温度，在步骤(1)获得的二氧化钒种子层上继续沉积所需厚度的氧化钒薄膜，得到由二氧化钒种子层和氧化钒薄膜构成的双层薄膜；(3)将步骤(2)沉积获得的双层薄膜通过气氛原位退火进行热处理，以制备出具有高开关比的二氧化钒薄膜。经过电压0V‑2.2V‑0V的连续扫描获得的U‑I特性曲线证实，依据本发明所制备的二氧化钒薄膜材料具有200‑300的开关比，高于常规磁控溅射的多晶二氧化钒薄膜和电铸形成的二氧化钒薄膜。
一种开关氧化薄膜制备方法

[发明专利]一种二氧化钒薄膜的制备方法-CN201980005205.X在审
发明人：张东平;管欢;何其聪;戚家华;范平 -专利权人：深圳大学
申请日： 2019-12-11 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： C03C17/34 文献下载
摘要：本文公开了一种二氧化钒薄膜的制备方法。该制备方法包括：提供基底；在基底一侧形成具有良好相变性能的本征二氧化钒薄膜；在本征二氧化钒薄膜背离衬底一侧形成一层超薄的重掺杂二氧化钒薄膜，制得待退火样品；将待退火样品在预设温度中退火预设时间，得到低相变温度的复合二氧化钒薄膜样品本申请实施例提供的技术方案，在降低二氧化钒薄膜相变温度的同时，对其他相变性能几乎没有影响，同时二氧化钒薄膜的相变温度可以通过调节退火时间、重掺杂二氧化钒薄膜的膜层厚度、重掺杂二氧化钒薄膜的掺杂浓度等进行调节
一种氧化薄膜制备方法

[发明专利]一种二氧化钒薄膜及其制备方法-CN202310170437.9在审
发明人：张陈斌;许磊 -专利权人：无锡尚积半导体科技有限公司
申请日： 2023-02-27 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： C23C14/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种二氧化钒薄膜及其制备方法，涉及薄膜制备技术领域。制备方法包括：在预设真空腔体内向预设基底上溅射第一层二氧化钒，所述第一层二氧化钒的厚度为1～20nm，所述预设基底采用与二氧化钒的晶格常数的差值小于预设值的材料制成；采用第一预设条件进行第一次退火以使所述第一层二氧化钒结晶；在所述第一层二氧化钒上溅射第二层二氧化钒，所述第一层二氧化钒和所述第二层二氧化钒共同构成所述二氧化钒薄膜；采用第二预设条件进行第二次退火以使所述第二层二氧化钒结晶，得到所述二氧化钒薄膜。本发明能够得到高纯的、性能优异的VO2薄膜。
一种氧化薄膜及其制备方法

[发明专利]一种有机层防护的二氧化钒复合柔性薄膜及其制备和应用-CN201911407281.1在审
发明人：李静波;王丹;金海波;常晴峰 -专利权人：北京理工大学重庆创新中心;北京理工大学
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2020-04-24 - 主分类号： C08J7/04 文献下载
摘要：本发明提供一种有机层防护的二氧化钒复合柔性薄膜的制备方法，属于复合薄膜材料技术领域。包括：将二氧化钒纳米粉体分散到有机试剂Ⅰ中得到分散液，聚丙烯腈溶解于有机试剂Ⅱ中得到透明溶液，将分散液和透明溶液混合得到二氧化钒浆料，将二氧化钒浆料涂覆在基材上，经干燥得到二氧化钒薄膜；将热塑性聚氨酯溶解于有机试剂Ⅲ中，搅拌溶解后将热塑性聚氨酯溶液涂覆到二氧化钒薄膜表面，干燥后得到有机层防护的二氧化钒复合柔性薄膜。本发明方法制备得到的复合柔性薄膜带有有机物防护层，可以减缓二氧化钒纳米颗粒的氧化，有效避免二氧化钒纳米粉体氧化带来薄膜的智能控温失效问题，可以应用于建筑材料，玻璃，车窗，墙体，金属，农业大棚表面。
一种有机防护氧化复合柔性薄膜及其制备应用

[发明专利]一种二氧化钒薄膜及其低温沉积方法-CN201610738999.9有效
发明人：金平实;曹逊;孙光耀;李荣 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2016-08-26 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： C23C14/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种二氧化钒薄膜及其低温沉积方法，所述二氧化钒薄膜由通过磁控溅射技术依次形成在衬底上的缓冲层以及二氧化钒薄膜层构成，所述缓冲层为二氧化钒缺氧层，其中所述二氧化钒缺氧层的结构式为VO_{x本发明使用的缓冲层（二氧化钒缺氧层（例如三氧化二钒层）），具有籽晶层与缓冲层的双重功能。以钒的三价氧化物三氧化二钒为例，三氧化二钒具有很宽的结晶温度区间，从室温到850℃均可自发结晶，这一性质为在三氧化二钒层上实现二氧化钒薄膜层的低温沉积奠定了基础。}
一种氧化薄膜及其低温沉积方法

[发明专利]一种二氧化钒多层膜体系及其制备方法和应用-CN201810682395.6有效
发明人：靳京城;张东平;范平;杨宇;黄莹;管欢;秦晓楠;关天锐 -专利权人：深圳大学
申请日： 2018-06-27 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： C01G31/02 文献下载
摘要：本发明属于物理领域，具体涉及一种二氧化钒多层膜体系及其制备方法和应用。所述多层膜体系包括金属薄膜层、渐变折射率材料薄膜层和二氧化钒薄膜层，所述金属薄膜、所述渐变折射率材料薄膜和所述二氧化钒薄膜从下至上依次设置。所述二氧化钒多层膜体系利用了具有渐变折射率功能的材料二氧化钛，使所述二氧化钒多层膜体系中需要的膜层数大大减小。
一种氧化多层体系及其制备方法应用

[发明专利]一种二氧化钒薄膜制备方法-CN201410258898.2无效
发明人：王少伟;刘星星;陆卫;俞立明;陈飞良;陈效双 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2014-06-12 - 公布日： 2014-09-10 - 主分类号： C23C14/58 文献下载
摘要：本发明公开了一种二氧化钒薄膜的制备方法。通过对金属钒或低价态钒氧化物薄膜进行真空条件下通氧退火得到有相变二氧化钒薄膜。根据低价钒氧化物的类型和厚度选择最合适的氧气分压、退火温度和退火时间可以得到性能优异的二氧化钒薄膜，2400nm处红外调节率可达58％，可见光透过率43％。通过对已经掺杂的低价态钒氧化物薄膜氧化得到掺杂的二氧化钒薄膜，该掺杂可以调节二氧化钒相变温度以适应不同需求。该种二氧化钒薄膜可以应用到光信息存储、光电开关和智能窗以及非制冷红外焦平面成像上。本发明与大规模镀膜玻璃生产线工艺兼容，可以在非晶玻璃上生长性能良好的二氧化钒薄膜。
一种氧化薄膜制备方法

[发明专利]二氧化钒柔性薄膜及其制备方法-CN201910145023.4在审
发明人：李星星;尹志岗;张兴旺;吴金良 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2019-02-26 - 公布日： 2019-05-10 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：一种二氧化钒柔性薄膜及其方法，其包括以下步骤：步骤1、在刚性衬底上外延生长氧化物缓冲层，在氧化物缓冲层上再外延生长二氧化钒薄膜；步骤2、在二氧化钒薄膜表面旋涂一层有机支撑保护薄膜，并干燥；步骤3、通过湿法腐蚀去除氧化物缓冲层，将得到的有机支撑保护膜保护的二氧化钒薄膜转移到柔性衬底上并静置使其干燥；步骤4、使用有机溶剂清洗掉粘合的有机支撑保护膜，并干燥得到二氧化钒柔性薄膜。本发明制备过程简单、成本低、可控性强，实现了择优取向的二氧化钒薄膜的柔性化，对拓展基于二氧化钒薄膜的柔性器件具有重大意义。
二氧化钒薄膜二氧化钒柔性薄膜氧化物缓冲层外延生长保护膜衬底去除氧化物柔性器件湿法腐蚀有机溶剂择优取向支撑保护制备过程重大意义缓冲层可控性柔性化粘合旋涂支撑制备薄膜清洗拓展

[发明专利]一种高性能网状二氧化钒基复合薄膜及其制备方法-CN202010177046.6有效
发明人：田守勤;余钊;张勇强;刘秋芬 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2020-03-13 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： C23C14/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种高性能网状二氧化钒基复合薄膜及其制备方法。一种高性能网状二氧化钒基复合薄膜，其特征在于包含如下步骤：采用磁控溅射法在玻璃基片上制备钒薄膜，并在后续热处理中得到二氧化钒薄膜；将二水合乙酸锌和甲醇和去离子水配置成一定浓度的溶液；将步骤制备的二氧化钒薄膜放入制备的溶液中，于一定温度下进行水浴反应；取出上述二氧化钒基薄膜，在加热板上进行烘干得高性能网状二氧化钒基复合薄膜。本发明制备二氧化钒基复合薄膜的操作方法简单，设备要求低，成本低，可见光透过率提升明显，同时太阳光调制效率基本保持不变或略有增加。
一种性能网状氧化复合薄膜及其制备方法

[发明专利]一种基于二氧化钒的主动型红外伪装结构-CN201510752224.2有效
发明人：肖林;刘军库 -专利权人：中国空间技术研究院
申请日： 2015-11-06 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： H01L35/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于二氧化钒的主动型红外伪装结构包括：加热基底、二氧化钒薄膜和电极对；二氧化钒薄膜涂覆或蒸镀在加热基底上表面；加热基底为二氧化钒薄膜提供支撑的同时通过电流加热来改变二氧化钒薄膜的温度；电极对位于加热基底的两端，连通外部电源和加热基底，用于改变加热基底温度，从而调节二氧化钒发射率的变化。
一种基于氧化主动红外伪装结构

[发明专利]一种透射率可调的二氧化钒复合薄膜及其制备方法-CN201910588438.9在审
发明人：高敏;罗盛鲜;林媛;王旭;路畅;潘泰松 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2019-07-02 - 公布日： 2019-09-27 - 主分类号： C23C18/12 文献下载
摘要：本发明提供一种透射率可调的二氧化钒复合薄膜及其制备方法，属于薄膜材料制备技术领域。本发明二氧化钒复合薄膜为掺杂二氧化钒薄膜与未掺杂的二氧化钒薄膜交替生长而成，无需额外的添加层，层与层之间能够良好生长，得到较好的薄膜体系。同时，该体系利用掺杂二氧化钒薄膜层与未掺杂二氧化钒薄膜层相变温度的不同，在同一个温度下，可以实现薄膜金属态与绝缘态共存，二氧化钒在金属态与非金属态界面间的折射率大，在界面处来回多次反射，产生干涉相消，以降低反射，从而达到增透减反的目的，使得复合薄膜可以对可见光波段与近红外光波段的透射率进行调节。
二氧化钒复合薄膜透射率掺杂二氧化钒可调的未掺杂制备二氧化钒薄膜层二氧化钒薄膜近红外光波段制备技术领域可见光波段薄膜材料薄膜金属薄膜体系多次反射交替生长薄膜层界面处金属态绝缘态添加层折射率增透反射薄膜干涉生长

[发明专利]一种二氧化硅-二氧化钛-二氧化钒复合薄膜及其制备方法-CN201810250714.6有效
发明人：贺军辉;姚琳 -专利权人：中国科学院理化技术研究所
申请日： 2018-03-26 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： C03C17/00 文献下载
摘要：本发明公开一种二氧化硅‑二氧化钛‑二氧化钒复合薄膜及其制备方法。本发明首先公开了二氧化硅‑二氧化钛‑二氧化钒复合薄膜的制备方法，包括：制备含有二氧化硅‑二氧化钛‑二氧化钒三层结构的空心球纳米粒子的溶胶液；将玻璃基板浸入到含有二氧化硅‑二氧化钛‑二氧化钒三层结构的空心球纳米粒子的溶胶液中，提拉出玻璃基板，干燥后，再次将玻璃基板浸入到含有二氧化硅‑二氧化钛‑二氧化钒三层结构的空心球纳米粒子的溶胶液中，提拉出玻璃基板后干燥，煅烧，即在玻璃基板上形成二氧化硅‑二氧化钛‑二氧化钒复合薄膜。本发明还公开了上述制备方法制备得到的复合薄膜。本发明复合薄膜可见光透光性能良好，兼具热致变色和自清洁功能。
一种二氧化硅氧化复合薄膜及其制备方法

[发明专利]A相二氧化钒薄膜及其制备方法-CN201810324914.1在审
发明人：张小平;蒲年文;李中江 -专利权人：四川星明能源环保科技有限公司
申请日： 2018-04-12 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： B05D7/04 文献下载
摘要：本发明涉及材料制备领域，具体而言，涉及一种A相二氧化钒薄膜及其制备方法。一种A相二氧化钒薄膜的制备方法，包括以下步骤：将四价钒溶液的pH调至7‑7.5后在80‑300℃下煅烧3‑4小时后得到A相二氧化钒薄膜。该方法操作条件温和、反应时间短，能够快速制备得到A相二氧化钒薄膜，且得到的A相二氧化钒薄膜的产率高，基本达到95％以上。
薄膜制备材料制备领域反应时间短快速制备四价钒产率煅烧

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