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- [发明专利]熔炼坩埚及其含有熔炼坩埚的熔炼炉-CN202011014290.7在审
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王红义
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王红义
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2020-09-24
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2020-11-24
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F27B14/10
- 本发明提供了一种熔炼坩埚，涉及熔炼技术领域，熔炼坩埚包括：坩埚本体为具有顶部开口的容置内腔，坩埚本体的侧壁上具有排气孔；坩埚盖盖设于坩埚本体上，用于密封坩埚本体；通气管通过坩埚盖向坩埚本体的容置内腔通气及提供了含有熔炼坩埚的熔炼炉。本发明抽真空时，坩埚内的空气通过坩埚侧壁上的排气孔被向外抽取到炉腔内，再到真空系统，同样的，污染源产生的灰分或杂质也不接触坩埚，也提高了熔炼金属的纯净度，充气时，保护气通过通气管充入坩埚，再从坩埚侧壁的排气孔充入炉腔，只有保护气接触坩埚内部，污染源产生的灰分或杂质不接触坩埚，提高熔炼金属的纯净度。
- 熔炼坩埚及其含有熔炼炉
- [发明专利]晶体生长装置-CN202210704600.0在审
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付秀梅;喻彬
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成都东骏激光股份有限公司
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2022-06-21
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2022-09-02
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C30B29/30
- 本申请提供一种晶体生长装置，涉及功能材料领域，包括炉体、籽晶杆、坩埚单元和加热单元，坩埚单元与加热单元均设于炉体内，加热单元用于调节炉体内温度；坩埚单元包括保温罩、金属坩埚、内层耐高温坩埚、外层耐高温坩埚和垫块，金属坩埚嵌设于内层耐高温坩埚内，内层耐高温坩埚嵌设于外层耐高温坩埚内，垫块支撑于内层耐高温坩埚和外层耐高温坩埚之间；保温罩同时罩设于金属坩埚、内层耐高温坩埚、外层耐高温坩埚的开口侧；保温罩设有提拉孔，运行时，该结构能够减小晶体生长过程中坩埚的形变量，坩埚不易被损坏，使用寿命长，成本低。
- 晶体生长装置
- [发明专利]一种真空镀膜机用的石墨坩埚-CN202010767794.X在审
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陈珂珩
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苏州瑞康真空科技有限公司
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2020-08-03
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2020-11-10
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C23C14/24
- 一种真空镀膜机用的石墨坩埚，包括上盖、坩埚主体；所述坩埚主体上设置有上盖；所述坩埚主体包括坩埚内层、坩埚外层、隔离层、高温气泵；所述坩埚外层的材料为石墨；电子束作用于坩埚外层；所述坩埚外层内设置有坩埚内层；所述坩埚内层为耐高温的金属材料；所述坩埚内层与坩埚外层之间设置有隔离层，所述隔离层为密闭空腔；隔离层的出口、高温气泵、隔离层的入口通过连接管连接；本发明中利用隔离层避免坩埚外层直接对坩埚内层进行加热，造成坩埚内层受热不均；隔离层的入口、高温气泵、隔离层的入口通过连接管连接；通过高温气泵促进隔离层内气体流动，使坩埚内层受热均匀；并且隔离层起到一定的隔热的作用，可以更好控制坩埚内层的温度。
- 一种真空镀膜石墨坩埚
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