专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]电容结构及其制作方法-CN202011105560.5在审
  • 盛超军;陆勇 - 长鑫存储技术有限公司
  • 2020-10-15 - 2022-04-19 - H01L27/108
  • 该电容结构包括:衬底、第一电容接触电极、电容介质和上电极,其中,第一电容接触阵列排布于衬底上,电极围绕第一电容接触侧壁,并沿第一电容接触背离衬底的方向延伸,电容介质覆盖衬底上表面、电极表面及第一电容接触上表面,上电极覆盖电容介质表面。本申请提供的电容结构及其制作方法,增加了环绕第一电容接触侧壁的电容面积,从而增大了电容的面积,降低了双面电容结构的阻值。
  • 电容结构及其制作方法
  • [发明专利]集成电路及其制备方法-CN201710323449.5有效
  • 刘少鹏;陆宇 - 中电海康集团有限公司;浙江驰拓科技有限公司
  • 2017-05-09 - 2021-10-01 - H01L27/22
  • 该集成电路包括顺序层叠设置的半导体衬底、逻辑器件、金属互连、中间介质和上金属互连,中间介质中设置有MRAM和第一导体,金属互连和上金属互连通过第一导体电连接,MRAM包括依次叠置在中间介质中的第二导体、电极、存储单元、上电极和第三导体,且电极通过第二导体与金属互连电连接,第三导体和上金属互连电连接。由于上述MRAM中的电极通过第二导体与金属互连连接,不仅能够减小孔的电阻,还能够对电极进行不同材料和工艺上的选择进行调整,从而使MRAM能够具有优异的存储性能,进而使集成有MRAM与逻辑器件的集成电路能够具有优异的性能
  • 集成电路及其制备方法
  • [实用新型]一种左右旋圆极化可重构天线-CN201120020320.5无效
  • 罗国清;胡志方;张晓红;孙玲玲 - 杭州电子科技大学
  • 2011-01-21 - 2011-09-07 - H01Q1/38
  • 本实用新型包括介质基片、介质基片上表面涂覆的上金属和下表面涂覆的金属;上金属开有环型的隔直流缝隙,直流电源的两端分别连接隔直流缝隙两边的上金属金属开有环型的辐射缝隙,跨辐射缝隙两边的金属连接有两个反相偏置的二极管;多个贯穿隔上金属介质基片和金属的电互连单元顺序排列构成的电互连阵列;由上金属金属和电互连阵列包围的区域构成腔体,馈电单元伸入该腔体内;贯穿隔直流缝隙包围的上金属介质基片和辐射缝隙包围的金属的导电元
  • 一种右旋极化可重构天线
  • [发明专利]介质的制作方法-CN201410111200.4在审
  • 张红伟 - 上海华力微电子有限公司
  • 2014-03-24 - 2014-07-02 - H01L21/336
  • 本发明提供一种栅介质的制作方法,包括:提供半导体衬底;利用热氧化和/或热退火工艺,在所述半导体衬底上形成氧化硅;对所述氧化硅进行氮注入,形成第一氮氧化硅;在高温环境,对所述第一氮氧化硅进行氮化处理,形成第二氮氧化硅;在低温环境,对所述第二氮氧化硅进行氧化处理,形成栅介质。利用本发明的方法形成的栅介质具有较高的介电常数,同时能够有效抑制杂质在栅介质中的扩散。
  • 介质制作方法
  • [发明专利]压力传感器及其形成方法-CN201310543025.1有效
  • 伏广才;汪新学;倪梁 - 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
  • 2013-11-05 - 2018-03-09 - H01L21/02
  • 一种压力传感器及其形成方法,其中压力传感器的形成方法包括提供基底,在基底上形成有晶体管;形成介质介质覆盖基底和晶体管,在介质中形成有极板,极板的上表面暴露;在介质上形成SiGe,在SiGe极板之间形成空腔;在SiGe上形成刻蚀停止,在刻蚀停止上形成第一SiN;刻蚀第一SiN形成按压部和包围按压部的边缘部,至刻蚀停止上表面露出,按压部与边缘部相互隔开,按压部对应空腔位置,在刻蚀第一SiN的过程使用的刻蚀气体包括第一含氟气体;刻蚀刻蚀停止,至SiGe露出。
  • 压力传感器及其形成方法
  • [发明专利]半导体存储器及其制作方法-CN202011567541.4在审
  • 童宇诚;蔡佩庭;吕佐文;陈敏腾;陈琮文 - 福建省晋华集成电路有限公司
  • 2020-12-25 - 2021-04-20 - H01L27/102
  • 该半导体存储器包括衬底以及位于衬底上的多个电容器和支撑,各电容器通过支撑与至少一个相邻的电容器连接,支撑包括第一支撑,各电容器包括电极、第一高K介质和上电极,第一高K介质层位于电极与上电极之间,第一支撑与第一高K介质直接接触,且第一支撑具有与第一高K介质接触的第一端面,第一高K介质完全覆盖第一端面。由于上述第一高K介质形成电极前,从而在将支撑打开后可以直接形成上电极,从而通过将第一高K介质移到开口之外,与现有技术相比扩大了上述开口的尺寸,进而降低了在开口中沉积和刻蚀的工艺难度,有利于电容器电容的进一步增大
  • 半导体存储器及其制作方法

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