[实用新型]具有分体壳体的化学气相沉积卧式反应器

摘要

本实用新型涉及具有分体壳体的化学气相沉积卧式反应器，包括若干个分体壳体、若干个加热装置和搅拌器，若干个分体壳体水平放置且前后首尾连接，形成反应器本体，若干个分体壳体同心设置；每个加热装置包围在一个或多个分体壳体的外部四周，用于加热分体壳体；搅拌轴贯穿反应器本体的两端的位置分别设有轴封，所述反应器本体的至少一端设有冷却夹层。每个分体壳体能够按照统一尺寸或标准分别加工，能够提高同心度/同轴度的加工精度。