[实用新型]具有分体壳体的化学气相沉积卧式反应器

权利要求书

1.具有分体壳体的化学气相沉积卧式反应器，其特征在于，包括若干个分体壳体、若干个加热装置和搅拌器，若干个分体壳体水平放置且前后首尾连接，形成反应器本体，若干个分体壳体同心设置；每个加热装置包围在一个或多个分体壳体的外部四周，用于加热分体壳体；

搅拌轴贯穿反应器本体的两端的位置分别设有轴封，所述反应器本体的至少一端设有冷却夹层。

2.根据权利要求1所述的具有分体壳体的化学气相沉积卧式反应器，其特征在于，相邻的分体壳体之间由中间法兰密封连接，所述中间法兰在竖直方向的高度大于中间法兰两侧的加热装置的厚度。

3.根据权利要求2所述的具有分体壳体的化学气相沉积卧式反应器，其特征在于，所述中间法兰安装螺栓的位置处于两侧的加热装置的外部，便于安装中间法兰。

4.根据权利要求3所述的具有分体壳体的化学气相沉积卧式反应器，其特征在于，所述中间法兰与两侧的加热装置之间均设有隔热材料。

5.根据权利要求1所述的具有分体壳体的化学气相沉积卧式反应器，其特征在于，相邻的分体壳体之间通过中间法兰连接，相邻的中间法兰之间进行密封焊接连接。

6.根据权利要求1所述的具有分体壳体的化学气相沉积卧式反应器，其特征在于，靠近反应器本体的前端的侧壁设有进气口和进料口，用于输入化学气相沉积反应所需的原料；靠近反应器本体的后端的侧壁设有出气口和出料口，分别用于输出废气和产品。

7.根据权利要求6所述的具有分体壳体的化学气相沉积卧式反应器，其特征在于，所述反应器本体的后端设有端法兰和冷却夹层，所述搅拌轴和对应的轴封由外到内依次贯穿冷却夹层和端法兰；

所述冷却夹层设冷介质进口和冷介质出口，用于向冷却夹层输入冷介质。

8.根据权利要求1所述的具有分体壳体的化学气相沉积卧式反应器，其特征在于，所述反应器本体的一端的底部外侧设有固定支撑体，另一端的底部外侧设有活动支撑体；所述活动支撑体上设有若干个长圆孔，反应器本体对应活动支撑体的位置设有对应的长圆孔，两者的长圆孔合并，并通过螺栓连接。