[实用新型]具有分体壳体的化学气相沉积卧式反应器

说明书

本实用新型涉及具有分体壳体的化学气相沉积卧式反应器，包括若干个分体壳体、若干个加热装置和搅拌器，若干个分体壳体水平放置且前后首尾连接，形成反应器本体，若干个分体壳体同心设置；每个加热装置包围在一个或多个分体壳体的外部四周，用于加热分体壳体；搅拌轴贯穿反应器本体的两端的位置分别设有轴封，所述反应器本体的至少一端设有冷却夹层。每个分体壳体能够按照统一尺寸或标准分别加工，能够提高同心度/同轴度的加工精度。

技术领域

本实用新型属于化学气相沉积反应器技术领域，具体涉及具有分体壳体的化学气相沉积卧式反应器。

背景技术

目前，阻碍化学气相沉积反应工业化大规模生产的主要原因是反应器的放大问题，直径数米、高度数十米的反应器一体化加工时的难度较大，尤其是化学气相沉积反应器为了内部传质传热和搅拌的方便，普遍采用圆柱形。大型圆柱状反应器的加工制造的难点之一是要保持反应器整体具有相同的同心度/同轴度。对于卧式化学气相沉积反应器内需要设置水平的搅拌器，水平搅拌轴处于反应器的圆心位置，再配合轴封等配件固定固定搅拌轴的两端，保证搅拌轴正常转动且不漏气。如果大型反应器的同心度/同轴度精度不能满足要求，搅拌轴则不能保持水平，在转动时会产生不规则方向的跳动，再加大水平搅拌轴自身的重力，导致密封部件承受更大的冲击，缩短了密封部件的使用寿命，不利于保证反应器的密封性和安全生产。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是大型化学气相沉积卧式反应器整体加工时，同心度/同轴度精度不高的问题。

本实用新型提供具有分体壳体的化学气相沉积卧式反应器，包括若干个分体壳体、若干个加热装置和搅拌器，若干个分体壳体水平放置且前后首尾连接，形成反应器本体，若干个分体壳体同心设置；每个加热装置包围在一个或多个分体壳体的外部四周，用于加热分体壳体；

搅拌轴贯穿反应器本体的两端的位置分别设有轴封，所述反应器本体的至少一端设有冷却夹层。

任选的，相邻的分体壳体之间由中间法兰密封连接，所述中间法兰在竖直方向的高度大于中间法兰两侧的加热装置的厚度。

优选的，所述中间法兰安装螺栓的位置处于两侧的加热装置的外部，便于安装中间法兰。

可选的，所述中间法兰与两侧的加热装置之间均设有隔热材料。

可选的，所述加热装置的长度小于对应的分体壳体的长度，使得每个加热装置包围在一个分体壳体的外部四周。

任选的，相邻的分体壳体之间通过中间法兰连接，相邻的中间法兰之间进行密封焊接连接。

可选的，靠近反应器本体的前端的侧壁设有进气口和进料口，用于输入化学气相沉积反应所需的原料；靠近反应器本体的后端的侧壁设有出气口和出料口，分别用于输出废气和产品。

可选的，所述反应器本体的后端设有端法兰和冷却夹层，所述搅拌轴和对应的轴封由外到内依次贯穿冷却夹层和端法兰；

所述冷却夹层设冷介质进口和冷介质出口，用于向冷却夹层输入冷介质。

可选的，所述反应器本体的一端的底部外侧设有固定支撑体，另一端的底部外侧设有活动支撑体；所述活动支撑体上设有若干个长圆孔，反应器本体对应活动支撑体的位置设有对应的长圆孔，两者的长圆孔合并，并通过螺栓连接固定。

本实用新型所述的具有分体壳体的化学气相沉积卧式反应器，具有以下有益效果：

(1)若干个分体壳体前后相连形成反应器本体，每个分体壳体能够按照统一尺寸或标准分别加工，相对于反应器本体，由于缩短了加工尺寸，能够提高同心度/同轴度的加工精度；

(2)每个分体壳体对应一个加热装置，便于精准控制某个分体壳体的温度；

(3)反应器本体的至少一端设有冷却夹层，能够冷却搅拌轴的轴封位置和端法兰，保护轴封和端法兰。