[发明专利]一种IGBT模块插针机械手及插针设备在审
申请号: | 202311192589.5 | 申请日: | 2023-09-15 |
公开(公告)号: | CN116922429A | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 方建强;朱本化 | 申请(专利权)人: | 上海林众电子科技有限公司 |
主分类号: | B25J15/00 | 分类号: | B25J15/00;B25J18/00;B25J11/00;B23P19/02;B23P19/00;H01L21/687;H01L21/67 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 201611 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本申请提供一种IGBT模块插针机械手及插针设备,其中,IGBT模块插针机械手包括多自由度机械臂、力检测装置、插针挡块和插针抓手。力检测装置安装在多自由度机械臂的位移输出末端;插针挡块安装在力检测装置上;插针抓手包括抓手和驱动装置,都安装在多自由度机械臂上,抓手处于插针挡块下方,抓手末端设置有朝向插针挡块的尾孔,驱动装置用于驱动抓手张开和闭合。在抓手夹持插针进行插针作业时,插针尾端从抓手的尾孔伸出并顶至插针挡块上给力检测装置施加作用力,力检测装置将插针挡块施加的作用力转为插针力,且输出插针力随时间的变化曲线。本申请的方案能够检测插针工艺中插针力变化趋势,并借此改善参数提高插针工艺精度,提升良品率。 | ||
搜索关键词: | 一种 igbt 模块 机械手 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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