[发明专利]一种图像传感器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种图像传感器及其制作方法，属于半导体制造技术领域。所述图像传感器至少包括：衬底，具有相对的第一表面和第二表面；光电感应区，设置在所述衬底中；格栅，设置在所述衬底的第一表面上，所述格栅具有相对的顶面和底面，所述底面位于靠近所述衬底的一侧，且所述顶面的径向尺寸大于所述底面的径向尺寸；凹部，设置在所述格栅的侧壁上；彩色滤光结构，设置在所述第一表面上，所述彩色滤光结构位于所述光电感应区上，且设置在相邻的所述格栅之间；以及微透镜结构，设置在所述彩色滤光结构上。通过本发明提供的一种图像传感器，可提高图像传感器的性能。