[实用新型]一种氮化镓单晶生长炉体的稳定装置有效
| 申请号： | 202223553620.7 | 申请日： | 2022-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN219239839U | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 张雷;王国栋 | 申请（专利权）人： | 中芯研（江苏）半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B35/00 |
| 代理公司： | 苏州博格华瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 32558 | 代理人： | 匡立岭 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市高新区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用公开了一种氮化镓单晶生长炉体的稳定装置，包括：固定单元以及设置在固定单元内部的调整单元和生长炉主体，所述固定单元，包括放置箱以及开设在放置箱内部的放置槽，所述放置箱表面通过轴承穿设有转动轴，所述转动轴表面设置有移动管，所述移动管一端固定有固定板。其有益效果是，该氮化镓单晶生长炉体的稳定装置，能够通过固定单元，对生长炉主体进行固定，防止生长炉主体在运行过程中出现晃动或偏移，导致氮化镓单晶的生长受到影响，同时配合调整单元，能够根据生长炉主体的大小进行调整，提高了装置的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 镓单晶 生长 稳定 装置 | ||
【主权项】：
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