[实用新型]一种氮化镓单晶生长炉体的稳定装置有效
申请号: | 202223553620.7 | 申请日: | 2022-12-29 |
公开(公告)号: | CN219239839U | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 张雷;王国栋 | 申请(专利权)人: | 中芯研(江苏)半导体有限公司 |
主分类号: | C30B29/40 | 分类号: | C30B29/40;C30B35/00 |
代理公司: | 苏州博格华瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 32558 | 代理人: | 匡立岭 |
地址: | 215000 江苏省苏州市高新区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氮化 镓单晶 生长 稳定 装置 | ||
1.一种氮化镓单晶生长炉体的稳定装置,包括:固定单元以及设置在固定单元内部的调整单元和生长炉主体,其特征在于;
所述固定单元,包括放置箱以及开设在放置箱内部的放置槽,所述放置箱表面通过轴承穿设有转动轴,所述转动轴表面设置有移动管,所述移动管一端固定有固定板;
所述调整单元,包括设置在所述放置槽内部的放置板,所述生长炉主体搭接在所述调整单元表面。
2.根据权利要求1所述的一种氮化镓单晶生长炉体的稳定装置,其特征在于:所述放置板下表面固定有滑块,所述放置箱表面开设有滑槽,所述放置板能够通过所述滑块和所述滑槽滑动连接在所述放置箱内部。
3.根据权利要求2所述的一种氮化镓单晶生长炉体的稳定装置,其特征在于:所述滑块和所述滑槽均有若干个,且若干个所述滑块和所述滑槽均对称排布在所述放置板下表面。
4.根据权利要求1所述的一种氮化镓单晶生长炉体的稳定装置,其特征在于:所述转动轴一端还固定有旋钮,所述转动轴表面开设有螺纹,所述转动轴与所述移动管通过螺纹活动连接。
5.根据权利要求1所述的一种氮化镓单晶生长炉体的稳定装置,其特征在于:所述放置槽内壁固定有伸缩杆,所述伸缩杆另一端固定在所述固定板侧面,且所述伸缩杆有若干个,且若干个所述伸缩杆对称排布在所述放置槽内壁。
6.根据权利要求1所述的一种氮化镓单晶生长炉体的稳定装置,其特征在于:所述生长炉主体表面还搭接有缓冲材料,所述缓冲材料能够设置在所述放置槽内部。
7.根据权利要求1所述的一种氮化镓单晶生长炉体的稳定装置,其特征在于:所述放置箱下表面还固定有若干个支撑块,所述支撑块呈矩形均匀排布在所述放置箱下表面。
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