[实用新型]一种碳化硅化学气相沉积设备气体混合装置

摘要

本实用新型公开了一种碳化硅化学气相沉积设备气体混合装置，具体涉及碳化硅领域，包括反应罐、进气管和排气管，进气管连通设在反应罐的一端，排气管连通设在反应罐远离进气管的一端，进气管的内壁固定连接有支撑件，支撑件的内壁通过轴承连接有传动转杆，传动转杆的一端固定连接有旋转扇叶，旋转扇叶呈倾斜状设置，传动转杆的外壁固定连接有第一活动环，第一活动环的外壁固定连接有搅拌杆。本实用新型通过设置了搅拌杆和摩擦板，气体通过进气管进入反应罐时，气体会冲击旋转扇叶带动传动转杆转动，最终使搅拌杆和摩擦板进行转动，解决了传统的气体混合装置无法有效的将多股气体混合碳化硅生产速度较慢的问题。