[实用新型]一种碳化硅化学气相沉积设备气体混合装置

权利要求书

1.一种碳化硅化学气相沉积设备气体混合装置，包括反应罐(1)、进气管(2)和排气管(3)，其特征在于：所述进气管(2)连通设在反应罐(1)的一端，所述排气管(3)连通设在反应罐(1)远离进气管(2)的一端，所述进气管(2)的内壁固定连接有支撑件(4)，所述支撑件(4)的内壁通过轴承连接有传动转杆(5)，所述传动转杆(5)的一端固定连接有旋转扇叶(6)，所述旋转扇叶(6)呈倾斜状设置，所述传动转杆(5)的外壁固定连接有第一活动环(7)，所述第一活动环(7)的外壁固定连接有搅拌杆(8)，所述传动转杆(5)的一侧固定连接有第二活动环(9)，所述第二活动环(9)的外壁固定连接有活动杆(10)，所述活动杆(10)的一侧固定连接有摩擦板(11)，所述摩擦板(11)滑动连接在反应罐(1)的内壁。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅化学气相沉积设备气体混合装置，其特征在于：所述反应罐(1)的内壁固定连接有扰流板(12)，所述搅拌杆(8)与扰流板(12)交错设置在反应罐(1)的内部。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅化学气相沉积设备气体混合装置，其特征在于：所述反应罐(1)的底部连通设有排水管(13)，所述排水管(13)的外壁设有单向阀(14)，所述排水管(13)的底部连通设有储水桶(15)。

4.根据权利要求3所述的一种碳化硅化学气相沉积设备气体混合装置，其特征在于：所述储水桶(15)的内壁固定连接有蜂鸣器(16)，所述蜂鸣器(16)的底部固定连接有蜂鸣开关(17)。

5.根据权利要求4所述的一种碳化硅化学气相沉积设备气体混合装置，其特征在于：所述反应罐(1)的内部固定连接有漂浮块(18)，所述漂浮块(18)的顶部固定连接有对应型挤压柱(19)，所述对应型挤压柱(19)设在蜂鸣开关(17)的底部。

6.根据权利要求5所述的一种碳化硅化学气相沉积设备气体混合装置，其特征在于：所述储水桶(15)的内壁固定连接有限位板(20)，所述漂浮块(18)滑动连接在限位板(20)的外壁。

7.根据权利要求1所述的一种碳化硅化学气相沉积设备气体混合装置，其特征在于：所述排气管(3)的内壁设有流量监控装置(21)，所述流量监控装置(21)的顶部固定连接有显示表盘(22)。