[实用新型]电池硅片薄膜沉积设备

摘要

本实用新型为电池硅片薄膜沉积设备，具有沉积箱、加热板、进气管和排气管，沉积箱上端设有便于电池硅片取放的箱口，箱口沿沉积箱长度方向的一侧铰接有用于箱口密封的密封盖板；加热板沿沉积箱长度方向分布竖直的固定于沉积箱内底部，沉积箱内底部位于加热板沿沉积箱宽度方向的两侧对称竖直的固定有两用于电池硅片限位放置的放置板；进气管固定于沉积箱沿其长度方向的一侧表面。对混合气体搅拌，提高混合均匀程度，最终气体由分流孔均流导入至沉积箱内部，结合加热板的加热效果，可对两侧的电池硅片同时实现覆膜效果，同时通过改变进气管和排气管的布置方式，使得进气管和排气管横向的分布在沉积箱的两侧，更有利于实现薄膜沉积的进行。