[实用新型]电池硅片薄膜沉积设备

权利要求书

1.电池硅片薄膜沉积设备，具有沉积箱（1）、加热板（2）、进气管（4）和排气管（7），其特征在于：

所述沉积箱（1）上端设有便于电池硅片取放的箱口（11），所述箱口（11）沿所述沉积箱（1）长度方向的一侧铰接有用于所述箱口（11）密封的密封盖板（101）；

所述加热板（2）沿所述沉积箱（1）长度方向分布竖直的固定于所述沉积箱（1）内底部，所述沉积箱（1）内底部位于所述加热板（2）沿所述沉积箱（1）宽度方向的两侧对称竖直的固定有两用于电池硅片限位放置的放置板（3）；

所述进气管（4）固定于所述沉积箱（1）沿其长度方向的一侧表面，所述进气管（4）一端延伸至所述沉积箱（1）内，所述进气管（4）位于所述沉积箱（1）内的端部固定有安装盘（5）；

所述进气管（4）的外端口相通连接有导流管A（401），所述进气管（4）上靠近所述导流管A（401）处还安装有导流管B（402），所述导流管B（402）另一端贯穿延伸至所述进气管（4）内部，所述导流管B（402）上位于所述进气管（4）内的部分还均匀的设置有相通连接所述导流管B（402）和所述进气管（4）的通孔（403）；

所述安装盘（5）内设有和所述进气管（4）相通的混合腔（501），所述安装盘（5）靠近所述加热板（2）的表面还均匀设置有相通连接于所述混合腔（501）的分流孔（502）；

所述混合腔（501）内还设有用于搅拌气体的搅拌装置；

所述排气管（7）相通连接于所述沉积箱（1）与所述进气管（4）正对的一侧。

2.根据权利要求1所述的电池硅片薄膜沉积设备，其特征在于：

所述搅拌装置包括转动安装于所述混合腔（501）远离所述进气管（4）一侧的内壁中心处的转动轴（601）、固定在所述安装盘（5）远离所述进气管（4）一侧的表面的驱动马达（6）、固定套接于所述转动轴（601）上的安装套座（602）以及等距安装在所述安装套座（602）外沿表面的四搅拌叶（603）；

所述转动轴（601）一侧端部贯穿至所述混合腔（501）的外部并和所述驱动马达（6）的输出端同轴固定连接。

3.根据权利要求1所述的电池硅片薄膜沉积设备，其特征在于：

所述放置板（3）上表面开设有插槽（301），两所述放置板（3）相对的表面还开设有和所述插槽（301）相通的便于气体流入的通口（302），两电池硅片对应插入至所述插槽（301）内部。

4.根据权利要求1所述的电池硅片薄膜沉积设备，其特征在于：

所述加热板（2）内部设有电阻加热丝，通过所述电阻加热丝实现加热效果。

5.根据权利要求1所述的电池硅片薄膜沉积设备，其特征在于：

所述密封盖板（101）内表面还粘接有橡胶密封垫（102），在所述密封盖板（101）盖紧在所述箱口（11）处时，所述橡胶密封垫（102）紧压于所述密封盖板（101）和所述箱口（11）之间。