[实用新型]化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械臂

摘要

本实用新型公开了化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械臂，包括防护外壳和固定底板，所述防护外壳内腔的右侧固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的表面螺纹连接有螺纹套。本实用新型通过防护外壳，用于对伺服电机和螺纹杆进行保护，通过伺服电机，用于带动螺纹杆转动，通过螺纹杆，用于带动螺纹套进行左右运动，通过螺纹套，用于带动连接杆进行左右运动，通过连接杆，用于拉动活动架开启和闭合，通过活动架，用于带动夹持板运动，通过夹持板，用于对圆片FOUP夹持，解决了现有的圆片FOUP在近距离传送时，多为人工手动拿取，易出现圆片FOUP掉落损坏的情况，从而缩短了圆片FOUP使用寿命的问题。