[实用新型]化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械臂

说明书

本实用新型公开了化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械臂，包括防护外壳和固定底板，所述防护外壳内腔的右侧固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的表面螺纹连接有螺纹套。本实用新型通过防护外壳，用于对伺服电机和螺纹杆进行保护，通过伺服电机，用于带动螺纹杆转动，通过螺纹杆，用于带动螺纹套进行左右运动，通过螺纹套，用于带动连接杆进行左右运动，通过连接杆，用于拉动活动架开启和闭合，通过活动架，用于带动夹持板运动，通过夹持板，用于对圆片FOUP夹持，解决了现有的圆片FOUP在近距离传送时，多为人工手动拿取，易出现圆片FOUP掉落损坏的情况，从而缩短了圆片FOUP使用寿命的问题。

技术领域

本实用新型涉及圆片FOUP传送技术领域，具体为化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械臂。

背景技术

目前，在半导体产业中一般是使用圆片FOUP来作为承载、传送和保护晶片的容器，其主要用于圆片厂内的机器与机器间或工艺与工艺间，承载、传送和保护圆片，现有的圆片FOUP在近距离传送时，多为人工手动拿取，易出现圆片FOUP掉落损坏的情况，从而缩短了圆片FOUP的使用寿命，因此我们提出了化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械臂，来解决此类问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械臂，具备便于对圆片FOUP夹持固定的优点，解决了上述背景技术中提到的相关问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械臂，包括防护外壳和固定底板，所述防护外壳内腔的右侧固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的表面螺纹连接有螺纹套，所述防护外壳的左侧通过转轴活动连接有活动架，所述螺纹套的正面和背面均通过转轴活动连接有连接杆，所述连接杆的另一端通过转轴与活动架活动连接，所述活动架远离防护外壳的一端固定连接有夹持板。

作为上述方案的进一步描述，所述固定底板的顶部固定连接有固定筒，所述固定筒的内腔活动连接有活动柱。

作为上述方案的进一步描述，所述固定筒内腔的底部固定连接有气缸，所述气缸的顶部与活动柱固定连接。

作为上述方案的进一步描述，所述活动柱表面的下端固定连接有限位环，所述固定筒内腔的上端开设有限位槽，所述限位环延伸至限位槽的内腔并与限位槽的内腔滑动连接。

作为上述方案的进一步描述，所述防护外壳的正面和背面均开设有通槽，所述连接杆远离螺纹套的一端贯穿通槽的内腔并与通槽的内腔滑动连接。

作为上述方案的进一步描述，所述夹持板远离活动架的一侧固定连接有防护垫，所述防护垫远离夹持板的一侧与圆片FOUP接触。

作为上述方案的进一步描述，所述固定底板的底部固定连接有吸盘，所述吸盘的数量为六个，且六个吸盘均匀分布于固定底板底部的两侧。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型通过防护外壳，用于对伺服电机和螺纹杆进行保护，通过伺服电机，用于带动螺纹杆转动，通过螺纹杆，用于带动螺纹套进行左右运动，通过螺纹套，用于带动连接杆进行左右运动，通过连接杆，用于拉动活动架开启和闭合，通过活动架，用于带动夹持板运动，通过夹持板，用于对圆片FOUP夹持，解决了现有的圆片FOUP在近距离传送时，多为人工手动拿取，易出现圆片FOUP掉落损坏的情况，从而缩短了圆片FOUP使用寿命的问题。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型防护外壳俯视剖面结构示意图；

图3为本实用新型固定筒剖面结构示意图；

图4为本实用新型活动架、夹持板和防护垫连接结构示意图。