[实用新型]化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械臂有效
| 申请号： | 202220407867.9 | 申请日： | 2022-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN217256377U | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 杨刚;魏亮;赵勇 | 申请（专利权）人： | 苏州晶睿半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/08 | 分类号： | B25J15/08;B25J18/00;B25J11/00;B65G47/90;B65G49/07 |
| 代理公司： | 苏州欣达共创专利代理事务所(普通合伙) 32405 | 代理人： | 杨寒来 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化合物 半导体 foup 自动化 夹持 机械 | ||
1.化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械臂，包括防护外壳(1)和固定底板(2)，其特征在于：所述防护外壳(1)内腔的右侧固定连接有伺服电机(3)，所述伺服电机(3)的输出轴固定连接有螺纹杆(4)，所述螺纹杆(4)的表面螺纹连接有螺纹套(5)，所述防护外壳(1)的左侧通过转轴活动连接有活动架(6)，所述螺纹套(5)的正面和背面均通过转轴活动连接有连接杆(7)，所述连接杆(7)的另一端通过转轴与活动架(6)活动连接，所述活动架(6)远离防护外壳(1)的一端固定连接有夹持板(8)。
2.根据权利要求1所述的化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械臂，其特征在于：所述固定底板(2)的顶部固定连接有固定筒(9)，所述固定筒(9)的内腔活动连接有活动柱(10)。
3.根据权利要求2所述的化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械臂，其特征在于：所述固定筒(9)内腔的底部固定连接有气缸(11)，所述气缸(11)的顶部与活动柱(10)固定连接。
4.根据权利要求3所述的化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械臂，其特征在于：所述活动柱(10)表面的下端固定连接有限位环(12)，所述固定筒(9)内腔的上端开设有限位槽(13)，所述限位环(12)延伸至限位槽(13)的内腔并与限位槽(13)的内腔滑动连接。
5.根据权利要求1所述的化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械臂，其特征在于：所述防护外壳(1)的正面和背面均开设有通槽(14)，所述连接杆(7)远离螺纹套(5)的一端贯穿通槽(14)的内腔并与通槽(14)的内腔滑动连接。
6.根据权利要求1所述的化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械臂，其特征在于：所述夹持板(8)远离活动架(6)的一侧固定连接有防护垫(15)，所述防护垫(15)远离夹持板(8)的一侧与圆片FOUP接触。
7.根据权利要求1所述的化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械臂，其特征在于：所述固定底板(2)的底部固定连接有吸盘(16)，所述吸盘(16)的数量为六个，且六个吸盘(16)均匀分布于固定底板(2)底部的两侧。
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