[发明专利]三维电感器的制备方法在审
| 申请号： | 202211701615.8 | 申请日： | 2022-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN116190356A | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 刘子玉;张卫;曾晓诗;汪洋;王浩;陈琳;孙清清 | 申请（专利权）人： | 复旦大学;湖北江城实验室 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64;H01F27/24;H01F41/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑星 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种三维电感器的制备方法，包括：提供衬底，第一面上形成有环形沟槽；形成锆钛酸铅薄膜覆盖环形沟槽的内壁，以形成三维电感器的磁芯；形成若干通孔至少部分环绕环形沟槽，通孔的深度大于或等于环形沟槽的深度，并在通孔内形成第一导线；在第一面形成若干第二导线连接第一导线；从第二面减薄衬底至暴露第一导线，并形成第二导线连接第一导线，第一导线及第二导线环绕磁芯并作为三维电感器的线圈。本发明中，采用锆钛酸铅薄膜覆盖环形沟槽的内壁所形成的薄膜结构作为磁芯不仅在制作工艺上较为容易实现，还可同时提高三维电感器的电感值及品质因子。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 电感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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