[发明专利]化学机械研磨用组合物及研磨方法在审
| 申请号： | 202211383330.4 | 申请日： | 2022-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN116333686A | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 须原辽;柳桥健司;栉田悠贵 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;H01L21/321 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨杰;黄健 |
| 地址： | 日本东京港*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种化学机械研磨用组合物及研磨方法，所述化学机械研磨用组合物可使钨膜的研磨速度大且减少钨膜表面腐蚀的产生。本发明的化学机械研磨用组合物含有(A)选自由下述通式(1)～通式(3)所表示的化合物所组成的群组中的至少两种、(B)铁(III)化合物及(C)研磨粒，pH为2以上且5以下。(式(1)～式(3)中，R |
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| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 组合 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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