[发明专利]一种正性光刻胶组合物及其制备与使用方法在审
| 申请号： | 202211201501.7 | 申请日： | 2022-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN115421354A | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 傅志伟;王文毅;吴信;朱玉呈;戴文超;梅崇余;潘新刚 | 申请（专利权）人： | 徐州博康信息化学品有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039 |
| 代理公司： | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人： | 张东梅 |
| 地址： | 221003 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种正性光刻胶组合物及其制备与使用方法，所述光刻胶组合物包括如下质量百分比的各组分：聚合物树脂，光刻胶组合物总质量的15～25％；萘酰亚胺类光致产酸剂，聚合物树脂的1.0～6.0％；酸扩散控制剂，萘酰亚胺类光致产酸剂的8～40％；流平剂，光刻胶组合物总质量的0.1～0.5％；溶剂，补足百分百；所述聚合物树脂包括第一聚合物树脂和第二聚合物树脂。制备方法包括以下步骤：将正性光刻胶组合物的各组分混合。使用方法包括以下步骤：将正性光刻胶组合物涂布在硅片上，依次经过前烘、曝光、后烘和显影，得到光刻图案。本发明提供的正性光刻胶组合物可以有效降低驻波效应，增加光刻胶图形侧壁的垂直性，提高光刻胶成像的分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 组合 及其 制备 使用方法 | ||
【主权项】：
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