[发明专利]一种正性光刻胶组合物及其制备与使用方法

权利要求书

1.一种正性光刻胶组合物，其特征在于，所述光刻胶组合物包括如下质量百分比的各组分：

所述聚合物树脂包括第一聚合物树脂和第二聚合物树脂；所述第一聚合物树脂为羟基苯乙烯化合物、苯乙烯化合物和丙烯酸叔丁酯化合物的共聚物；所述第二聚合物树脂为羟基苯乙烯化合物、缩醛保护的羟基苯乙烯化合物和如通式I化合物的共聚物；

所述通式I化合物所示结构如下：

式I中，P₁为氢原子或C₁～C₄的烷基；P₂、P₃和P₄各自独立地为C₁～C₁₀的烷基，且P₂、P₃和P₄中至少有一个为C₄～C₁₀的环烷基或P₂、P₃和P₄任意两个可以键结形成环。

2.如权利要求1所述的正性光刻胶组合物，其特征在于，所述通式I化合物选自以下结构中的至少一种：

3.如权利要求1所述的正性光刻胶组合物，其特征在于，所述光刻胶组合物还包括如下技术特征中的至少一项：

a1)所述第一聚合物树脂和所述第二聚合物树脂的质量比为(1：2)～(4：1)；

a2)所述第一聚合物树脂的重均分子量为8000～17000；

a3)所述第一聚合物树脂的分子量分布系数为PDI2.5；

a4)所述第一聚合物树脂由如下摩尔比的单体投料聚合而得：

羟基苯乙烯化合物60～65％；

苯乙烯化合物15～25％；

丙烯酸叔丁酯化合物15～25％；

a5)所述第二聚合物树脂的重均分子量为5～15k；

a6)所述第二聚合物树脂的分子量分布系数为PDI2.5；

a7)所述第二聚合物树脂由如下摩尔比的单体投料聚合而得:

羟基苯乙烯化合物60～70％；

缩醛保护的羟基苯乙烯化合物5～25％；

通式I化合物15～30％。

4.如权利要求1所述的正性光刻胶组合物，其特征在于，所述萘酰亚胺类光致产酸剂为下述通式II所示结构：

式II中，R₁选自氢原子或C₁～C₆的直链状或者支链状的脂肪族饱和烃基，所述脂肪族饱和烃基的碳原子可被氧原子或硫原子取代；

R₂选自C₁～C₁₀直链状的脂肪族饱和烃基或C₆～C₁₀芳香基，所述脂肪族饱和烃基的氢原子可被氟原子取代，所述C₆～C₁₀芳香基的氢原子可被氟原子取代。

5.如权利要求4所述的正性光刻胶组合物，其特征在于，所述萘酰亚胺类光致产酸剂选自以下结构中的至少一种：

6.如权利要求1所述的正性光刻胶组合物，其特征在于，所述光刻胶组合物还包括如下技术特征中的至少一项：

b1)所述酸扩散控制剂选自三乙醇胺、四丁基氢氧化铵、三(3,6-二氧杂庚基)胺、三辛胺、三异丙醇胺、三乙烯二胺、2-乙基-N,N-双(2-乙己基)-1-己胺、2,6-二-叔丁基吡啶、1-(叔丁氧基羰基)-4-羟基哌啶、2-苯基苯咪唑、二苯胺中的至少一种；

b2)所述流平剂选自3M氟碳表面活性剂FC-4430、特洛伊Troysol S366中的至少一种；

b3)所述溶剂选自丙二醇单甲醚醋酸酯、丙二醇单甲醚、乳酸乙酯、苯甲醚、丙二醇单醋酸酯、丙二醇单乙醚、二缩乙二醇甲醚、二缩乙二醇乙醚、二缩乙二醇甲乙醚、醋酸丁酯、醋酸新戊酯、甲基乙基酮、甲基异丁基酮、环戊酮、环已酮、2-庚酮、双丙酮醇、γ-丁内脂中的至少一种。