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[发明专利]一种含缩酮结构酸敏感光刻胶树脂单体的制备方法-CN202111646902.9有效
发明人：傅志伟;潘新刚;余文卿;纪兴跃;邵严亮 -专利权人：徐州博康信息化学品有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C07C67/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种含缩酮结构酸敏感光刻胶树脂单体的制备方法，所述制备方法包括如下合成路线：#imgabs0#其中，R1为C1～C6的烷基，R2为氢原子或C1～C6的烷基；所述制备方法包括如下步骤：a)将式Ⅱ化合物、催化剂加入至有机溶剂中，然后加入式Ⅲ化合物，经过加成反应，得到式Ⅰ化合物；b)将步骤a)中的反应液进行碱洗，分子膜短程蒸馏，得到所述含缩酮结构酸敏感光刻胶树脂单体。本发明的制备方法使产物收率高，纯度高。
一种缩酮结构敏感光刻树脂单体制备方法

[发明专利]一种化学放大型I线光刻胶及其制备与使用方法-CN202211718689.2在审
发明人：傅志伟;谈云龙;王德炜;潘新刚;梅崇余 -专利权人：徐州博康信息化学品有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明涉及一种化学放大型I线光刻胶及其制备与使用方法，该光刻胶包括以下质量百分比的各组分：聚合物树脂，光刻胶的10～20％；光酸，聚合物树脂的2～10％；酸猝灭剂，光酸的8～30％；稳定剂，聚合物树脂的0.5～15％；流平剂，光刻胶的0.05～0.5％；溶剂，补足100％；其中，聚合物树脂为聚羟基苯乙烯类聚合物树脂。制备方法包括以下步骤：将化学放大型I线光刻胶的各组分按比例混合。使用方法包括以下步骤：将化学放大型I线光刻胶涂布在Si基材上，依次经过前烘、曝光、后烘和显影。本发明提供的光刻胶可以有效解决化学放大型I线光刻胶的能量稳定性问题。
一种化学大型光刻及其制备使用方法

[发明专利]一种合成吡啶酮乙醇胺盐的方法-CN202211718688.8在审
发明人：傅志伟;高天伟;马宁泽;潘新刚;余文卿;郭有壹 -专利权人：徐州博康信息化学品有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C07D213/89 文献下载
摘要：本发明提供一种合成吡啶酮乙醇胺盐的方法，具体步骤包括酰基化反应、环合反应、羟胺化反应及成盐反应。本发明提供的吡啶酮乙醇胺盐的合成方法通过采用温和的反应条件和减少后处理步骤，工艺操作采取三步连做，能够有效减少废水的产生，最终所得的吡啶酮乙醇胺盐纯度高、收率高。
一种合成吡啶乙醇胺方法

[发明专利]一种离子对色谱法测定光酸含量的方法-CN202211741729.5在审
发明人：傅志伟;胡明华;张锁慧;李宁;潘新刚 -专利权人：徐州博康信息化学品有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G01N30/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种离子对色谱法测定光酸含量的方法，所述方法包括以下步骤：a1)精密称取待测光酸的标准样品，配置已知浓度的标准溶液作对照组，标准溶液浓度计为W对照；a2)精密称取待测样品，配置样品溶液，浓度记为W样品；a3)采用离子对色谱法分别测定标准溶液和样品溶液，测定得光酸的峰面积，标准溶液峰面积计为S对照，样品溶液峰面积计为S样品；a4)根据实验数据及公式：被测样品中光酸含量为＝(S样品/S对照)×(W对照/W样品)×100％，计算得样品中光酸含量。
一种离子对色谱测定含量方法

[发明专利]一种含氟光刻胶树脂单体及其中间体的制备方法-CN202211674534.3在审
发明人：傅志伟;纪兴跃;许庆伟;潘新刚;余文卿 -专利权人：徐州博康信息化学品有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C07C67/08 文献下载
摘要：本发明提供一种含氟光刻胶树脂单体及其中间体的制备方法。该含氟光刻胶树脂单体中间体的制备方法包括如下步骤：a)式I‑1化合物I‑2化合物与三氟乙酸酐在第一溶剂中进行酯化反应，获得式I‑3化合物。该含氟光刻胶树脂单体的制备方法包括如下步骤：1)采用上述制备方法获得该含氟光刻胶树脂单体中间体；2)将步骤1)的反应产物、I‑4化合物与第二缚酸剂在第二溶剂中进行酯化反应，获得式I化合物。本发明含氟光刻胶树脂单体及其中间体的制备方法，合成路线简单，后处理工序少，减少了三废的产生，同时也大大提高了产品的纯度和收率。
一种光刻树脂单体及其中间体制备方法

[发明专利]一种高深宽比光刻胶及其使用方法-CN202211741751.X在审
发明人：傅志伟;朱玉呈;吴信;王文毅;张余;梅崇余;潘新刚 -专利权人：徐州博康信息化学品有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供了一种高深宽比光刻胶及其使用方法，所述光刻胶包含(A)聚合物树脂、(B)光酸、(C)猝灭剂、(D)流平剂和(E)溶剂；所述(A)聚合物树脂包含衍生自羟基苯乙烯的第一重复单元、衍生自苯乙烯的第二重复单元和衍生自丙烯酸叔丁酯的第三重复单元；所述(B)光酸自(i)离子型光酸或(ii)非离子型光酸中的至少一种。本发明提供的光刻胶能解决高深宽比光刻胶在显影后出现的底部站脚(Footing)或底部残留(Scumming)的问题，增大光刻胶的工艺窗口。
一种高深光刻及其使用方法

[发明专利]一种高溶解速率负性光刻胶及其使用方法-CN202211597945.7在审
发明人：傅志伟;吴信;朱玉呈;王文毅;王晓刚;梅崇余;潘新刚 -专利权人：徐州博康信息化学品有限公司
申请日： 2022-12-13 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： G03F7/038 文献下载
摘要：本发明提供了一种高溶解速率负性光刻胶，所述负性光刻胶包含聚合物树脂、光酸、交联剂和溶剂。所述聚合物树脂包含第一重复单元和第二重复单元。第二方面，本发明还提供了一种所述高溶解速率负性光刻胶的使用方法。本发明提供的高溶解速率负性光刻胶可做到快速显影，有利于改善光刻胶在显影或去胶过程中不足而带来的缺陷，保证了光刻胶图形侧壁的垂直性。
一种溶解速率光刻及其使用方法

[实用新型]一种气动控制系统-CN202222950683.X有效
发明人：刘建树;蔡晓云;李佳俊;潘新刚;张三平 -专利权人：内蒙古大唐国际呼和浩特铝电有限责任公司
申请日： 2022-11-04 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： F15B13/02 文献下载
摘要：本实用新型属于气动控制领域，具体涉及一种气动控制系统，可替换气动系统中软管，具有抗腐蚀、安全性高和配套系数高的优点。技术方案包括：气缸、气路块和单通电磁阀。气路块包括固定于气缸上的基块，基块包括：第一气路口、第二气路口、第一主阀路口、第二主阀路口、第一副阀路口、第二副阀路口、第一气源口和第二气源口。第一气路口和第二气路口与气缸连通；第一主阀路口均与第一气源口连通，第二主阀路口均与第二气源口连通。第一副阀路口均与第二气路口连通，第二副阀路口均与第一气路口连通。第一主阀路口和第一副阀路口与一个单通电磁阀连通，第二主阀路口和第二副阀路口与另一个单通电磁阀连通。
一种气动控制系统

[发明专利]一种光刻胶树脂中残余单体含量的测试方法-CN202211741730.8在审
发明人：傅志伟;胡明华;张锁慧;李宁;潘新刚 -专利权人：徐州博康信息化学品有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G01N30/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种光刻胶树脂中残余单体含量的测试方法，所述测试方法包括以下步骤：a1)配置至少3组不同浓度的光刻胶树脂单体的标准溶液；a2)采用有机溶剂对光刻胶树脂样品中残余单体进行萃取，得到样品溶液；a3)采用高效液相色谱法分别测定标准溶液和样品溶液，测定得单体的峰面积；a4)测试标准溶液，绘制浓度—峰面积标准曲线；测试样品溶液，峰面积代入相对应的单体标准曲线计算得样品中光刻胶树脂中残余单体含量本发明提供方法操作简单，能对多种残余单体和杂质进行有效分离和定量。
一种光刻树脂残余单体含量测试方法

[发明专利]一种含氟光刻胶树脂单体中间体、含氟光刻胶树脂单体及其制备方法-CN202211675093.9在审
发明人：傅志伟;纪兴跃;张傲祥;潘新刚;余文卿 -专利权人：徐州博康信息化学品有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： C07C69/63 文献下载
摘要：本发明提供一种含氟光刻胶树脂单体、含氟光刻胶树脂单体中间体及其制备方法。该含氟光刻胶树脂单体包括如下式I所示的结构通式：其中间体的制备方法包括如下步骤：a)式I‑1化合物、I‑2化合物与第一缚酸剂在第一溶剂中进行酯化反应，获得式I‑3化合物：该含氟光刻胶树脂单体的制备方法包括如下步骤：1)采用上述制备方法获得该含氟光刻胶树脂中间体；2)将I‑3、I‑4化合物与第二缚酸剂在第二溶剂中进行酯化反应，获得式I化合物：本发明含氟光刻胶树脂单体及其中间体的制备方法，合成路线简单，后处理工序少，减少了三废的产生，同时也大大提高了产品的纯度和收率。
一种光刻树脂单体中间体及其制备方法

[实用新型]一种阳极导杆推动装置-CN202222938593.9有效
发明人：刘建树;董学斌;刘磊;潘新刚;张三平 -专利权人：内蒙古大唐国际呼和浩特铝电有限责任公司
申请日： 2022-11-04 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： B62B3/10 文献下载
摘要：本实用新型属于电解铝领域，具体涉及一种阳极导杆推动装置；技术方案包括：转运车和安装工位。转运车包括转运平台，多个安装工位设置于转运平台上。安装工位包括：第一支架、第二支架、第一抱紧件、第二抱紧件、第二抱紧件、第一气缸和第二气缸。第一支架为竖直杆；第二支架与第一支架平行的竖直杆。第一抱紧件与阳极导杆的侧面相适应的弧形板件；第一抱紧件与第一支架连接。第二抱紧件与阳极导杆的侧面相适应的弧形板件；第二抱紧件与第二支架连接。第一气缸设置于第一抱紧件和第一支架之间，第一气缸被配置为推动第一抱紧件在水平方向上移动。第二气缸设置于第二抱紧件和第二支架之间，第二气缸被配置为推动第二抱紧件在水平方向移动。
一种阳极推动装置

[发明专利]一种正性光刻胶及其使用方法-CN202211725584.X在审
发明人：傅志伟;朱玉呈;吴信;王文毅;许义祥;梅崇余;潘新刚 -专利权人：徐州博康信息化学品有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种正性光刻胶，包含聚合物树脂、聚合物型溶解抑制剂、光酸和溶剂；所述聚合物型溶解抑制剂的重均分子量Mw为3000～15000，分子量分布指数Mw/Mn2.5；所述聚合物型溶解抑制剂包括两种功能单元。并且本发明还提供所述正性光刻胶的使用方法。本发明提供的正性光刻胶能有效改善改善缩醛类树脂光刻胶顶部变圆现象。
一种光刻及其使用方法

[发明专利]一种光刻胶组合物及其制备与使用方法-CN202211728674.4在审
发明人：傅志伟;王文毅;吴信;朱玉呈;丁瑞龙;梅崇余;潘新刚 -专利权人：徐州博康信息化学品有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明涉及一种光刻胶组合物及其制备与使用方法，所述光刻胶组合物包括如下质量百分比的各组分：聚合物树脂，光刻胶组合物总质量的15～25％；光致产酸剂，聚合物树脂的2.0～5.5％；酸扩散控制剂，光致产酸剂的8～20％；流平剂，光刻胶组合物总质量的0.1～0.5％；溶剂，补足百分百；所述聚合物树脂为羟基苯乙烯化合物、如通式I化合物和如通式II化合物的共聚物。制备方法包括以下步骤：将光刻胶组合物的各组分混合。使用方法包括以下步骤：将光刻胶组合物涂布在硅片上，依次经过前烘、曝光、后烘和显影，得到光刻图案。本发明提供的光刻胶组合物能够提供同时具有优异的曝光能量宽裕度(EL)和聚焦深度(DOF)的光刻胶。
一种光刻组合及其制备使用方法

[发明专利]一种用于从含缩醛保护结构的对羟基苯乙烯类共聚物树脂中除金属杂质的方法-CN202211718690.5在审
发明人：傅志伟;孙元健;丁家兴;潘新刚;余文卿 -专利权人：徐州博康信息化学品有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： B01J47/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于从含缩醛保护结构的对羟基苯乙烯类共聚物树脂中除金属杂质的方法，具体步骤如下：a)光刻胶树脂溶液配制；b)对弱酸性阳离子树脂进行预处理；c)对弱碱性阴离子树脂进行预处理；d)将预处理好的弱酸性阳离子树脂和弱碱性阴离子树脂进行混合后装入预先搭建好的离子交换树脂柱中；e)将配制好的光刻胶树脂溶液通过泵体打入离子交换树脂柱中，在体系密闭条件下进行循环过滤，直至得到合格滤液，完成除金属杂质的操作。本发明提供的去除金属杂质的方法工艺简单，可操作性强，能够有效去除金属杂质，且单种金属杂质控制在≤3ppb。
一种用于含缩醛保护结构羟基苯乙烯共聚物树脂金属杂质方法

[发明专利]一种1-(1-乙氧基乙氧基)-4-乙烯基苯的合成方法-CN202211741584.9在审
发明人：傅志伟;吴后绪;潘新刚;余文卿;郭有壹 -专利权人：徐州博康信息化学品有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： C07C41/54 文献下载
摘要：本发明提供一种1‑(1‑乙氧基乙氧基)‑4‑乙烯基苯的合成方法，所述合成方法的反应路线为：并提供反应路线的合成步骤和纯化步骤。采用本发明提供的合成方法可有效去除反应的副产物得到的高纯度的产品。
一种乙氧基乙氧基乙烯基合成方法

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