[发明专利]外延片、外延片生长工艺及发光二极管有效
申请号: | 202211134142.8 | 申请日: | 2022-09-19 |
公开(公告)号: | CN115241336B | 公开(公告)日: | 2022-12-30 |
发明(设计)人: | 郑文杰;程龙;高虹;曾家明;刘春杨;胡加辉 | 申请(专利权)人: | 江西兆驰半导体有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/04;H01L33/14;H01L33/22 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 陈冬莲 |
地址: | 330000 江西省南昌市南*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: |
本发明具体公开一种外延片、外延片生长工艺及发光二极管,该生长工艺包括:提供衬底;在衬底上依次外延生长缓冲层、n型GaN层、位错阻挡层、发光层、电子阻挡层、p型GaN层及p型接触层;n型GaN层上形成有V形坑;位错阻挡层为多个周期的In |
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搜索关键词: | 外延 生长 工艺 发光二极管 | ||
【主权项】:
暂无信息
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