[发明专利]外延片、外延片生长工艺及发光二极管有效

专利信息
申请号: 202211134142.8 申请日: 2022-09-19
公开(公告)号: CN115241336B 公开(公告)日: 2022-12-30
发明(设计)人: 郑文杰;程龙;高虹;曾家明;刘春杨;胡加辉 申请(专利权)人: 江西兆驰半导体有限公司
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00;H01L33/04;H01L33/14;H01L33/22
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 陈冬莲
地址: 330000 江西省南昌市南*** 国省代码: 江西;36
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明具体公开一种外延片、外延片生长工艺及发光二极管,该生长工艺包括:提供衬底;在衬底上依次外延生长缓冲层、n型GaN层、位错阻挡层、发光层、电子阻挡层、p型GaN层及p型接触层;n型GaN层上形成有V形坑;位错阻挡层为多个周期的InaGa1‑aN/AbGa1‑bN超晶格结构,组分A为Mg或Zn中的任意一种或两种组合。位错阻挡层一方面可减少V形坑产生密度,以避免V形坑密度过大所带来的漏电、非辐射复合增加的,以使V形坑具有适当的密度;另一方面可减少由底层带来对发光层的极化效应,调节缓冲层及n型GaN层生长产生的应力,提高GaN外延层质量,增强发光辐射效率,提高发光效率。
搜索关键词: 外延 生长 工艺 发光二极管
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江西兆驰半导体有限公司,未经江西兆驰半导体有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202211134142.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top