[发明专利]一种超高分辨率Micro-LED显示器件及其金属薄膜键合方法在审
| 申请号： | 202210965384.5 | 申请日： | 2022-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN115332238A | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 周雄图;叶金宇;张永爱;吴朝兴;郭太良;孙捷;严群;林志贤 | 申请（专利权）人： | 福州大学 |
| 主分类号： | H01L25/16 | 分类号： | H01L25/16;H01L27/15;H01L33/00;H01L33/48;H01L33/62 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 蔡学俊;薛金才 |
| 地址： | 350108 福建省福州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种超高分辨率Micro‑LED显示器件及其金属薄膜键合方法，Micro‑LED显示器件的驱动背板和Micro‑LED芯片阵列采用金属薄膜键合方法进行互联，所述Micro‑LED芯片阵列采用高阻GaN作为隔断和刻蚀保护层；所述Micro‑LED显示器件1个像素对应N个Micro‑LED发光阵列或Nano‑LED发光阵列，N大于或等于1。应用本技术方案可实现简化制备工艺流程，可以减少刻蚀工艺中可能会产生的边缘效应和尺寸效应。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高 分辨率 micro led 显示 器件 及其 金属 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
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