[发明专利]一种高精度半导体加工用刻蚀机

摘要

本发明涉及半导体刻蚀设备技术领域，具体为一种高精度半导体加工用刻蚀机，包括：固定架，固定架的上表面设置为十字形，且固定架的四端均固定设置有竖板，弧形导板的中部贯穿开设有导向槽；安装滑块位于固定架的内侧中部，安装滑块的中部贯穿开设有第一通槽和第二通槽，连接块贯穿导向槽的内腔并通过限位扣槽与弧形导板滑动连接；安装座的下端固定连接有刻蚀端头；有益效果为：在安装滑块的中部活动贯穿设置有第一条形板和第二条形板，且第一条形板和第二条形板相互垂直，因此安装滑块沿着第一条形板或者第二条形板滑动时，刻蚀端头的倾斜角度能够改变，始终保持与工件的表面垂直，进而提高了刻蚀后的半导体工件表面的纹路精度。