[发明专利]半导体版图结构及半导体测试结构在审
申请号: | 202210382204.0 | 申请日: | 2022-04-12 |
公开(公告)号: | CN116936568A | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 王翔宇;李宁 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02;H01L23/544;H01L21/66;G01R31/26 |
代理公司: | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人: | 成丽杰 |
地址: | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本公开实施例涉及半导体技术领域,特别涉及一种半导体版图结构及半导体测试结构,半导体版图结构包括:有源层,有源层包括第一有源区和与第一有源区相邻设置的第二有源区;第一有源区包括多个间隔设置的第一晶体管区,第二有源区包括多个间隔设置的第二晶体管区,相邻的第一晶体管区对应的有源层相互分离;栅极层,位于有源层上方,包括至少一条沿第一方向延伸的第一栅极结构,以及在第一方向上间隔设置的多个第二栅极结构,第一栅极结构和第二栅极结构相邻设置,第一栅极结构对应于第一晶体管区,第二栅极结构对应于第二晶体管区。本公开实施例有利于在利用半导体版图结构制备半导体测试结构后,改善半导体测试结构的寄生漏电较大的问题。 | ||
搜索关键词: | 半导体 版图 结构 测试 | ||
【主权项】:
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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