[发明专利]半导体版图结构及半导体测试结构在审

专利信息
申请号: 202210382204.0 申请日: 2022-04-12
公开(公告)号: CN116936568A 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 王翔宇;李宁 申请(专利权)人: 长鑫存储技术有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L23/544;H01L21/66;G01R31/26
代理公司: 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 代理人: 成丽杰
地址: 230601 安徽省合肥市*** 国省代码: 安徽;34
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 本公开实施例涉及半导体技术领域,特别涉及一种半导体版图结构及半导体测试结构,半导体版图结构包括:有源层,有源层包括第一有源区和与第一有源区相邻设置的第二有源区;第一有源区包括多个间隔设置的第一晶体管区,第二有源区包括多个间隔设置的第二晶体管区,相邻的第一晶体管区对应的有源层相互分离;栅极层,位于有源层上方,包括至少一条沿第一方向延伸的第一栅极结构,以及在第一方向上间隔设置的多个第二栅极结构,第一栅极结构和第二栅极结构相邻设置,第一栅极结构对应于第一晶体管区,第二栅极结构对应于第二晶体管区。本公开实施例有利于在利用半导体版图结构制备半导体测试结构后,改善半导体测试结构的寄生漏电较大的问题。
搜索关键词: 半导体 版图 结构 测试
【主权项】:
暂无信息
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