[发明专利]一种金属膜厚测量方法和化学机械抛光设备有效
| 申请号： | 202111658914.3 | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN114473843B | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 王成鑫;王同庆;田芳馨;路新春 | 申请（专利权）人： | 清华大学;华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/013;B24B37/04;B24B37/34;B24B49/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金属膜厚测量方法和化学机械抛光设备，其中方法包括：根据待测的金属薄膜的材质，确定膜厚测量装置在该材质下的标定关系，其中，所述标定关系用于表征K值与金属膜厚的映射关系，所述K值用于表征所述膜厚测量装置的输出信号的虚部与实部的比值；使用所述膜厚测量装置探测所述待测的金属薄膜，采集所述膜厚测量装置的输出信号并计算K值；根据计算的K值和所述标定关系，确定所述待测的金属薄膜的膜厚。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属膜 测量方法 化学 机械抛光 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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