[发明专利]大尺寸单晶金刚石及其制备方法在审
| 申请号： | 202111613038.2 | 申请日： | 2021-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN114232091A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 缪勇;马懿 | 申请（专利权）人： | 苏州贝莱克晶钻科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/04 | 分类号： | C30B29/04;C30B25/20 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 赵世发 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大尺寸单晶金刚石及其制备方法。所述制备方法包括：沿第一金刚石单晶片的厚度方向对其周缘部进行切割，使形成的切割面垂直于第一金刚石单晶片的上下表面，之后依次进行研磨、清洗及等离子体刻蚀处理，再以第一金刚石单晶片作为生长基底生长金刚石单晶层；之后从金刚石单晶层中分离获得径向尺寸大于第一金刚石单晶片的第二金刚石单晶片，然后将第二金刚石单晶片作为新的生长基底，并循环以上操作直至获得所需的大尺寸单晶金刚石。本发明有效解决了由小尺寸单晶金刚石不能直接外延生长为大尺寸单晶金刚石以及外延过程中易产生多晶的问题；所制得的制备的到的大尺寸单晶金刚石晶体均匀度高，整体性强。 | ||
| 搜索关键词： | 尺寸 金刚石 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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