[发明专利]基板、微型发光二极管芯片的转移方法和转移装置在审

专利信息
申请号: 202111492907.0 申请日: 2021-12-08
公开(公告)号: CN114420799A 公开(公告)日: 2022-04-29
发明(设计)人: 邱成峰;莫炜静 申请(专利权)人: 深圳市思坦科技有限公司
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00;H01L21/683;H01L27/12
代理公司: 深圳中细软知识产权代理有限公司 44528 代理人: 田丽丽
地址: 518000 广东省深圳市龙华区大浪街*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种基板、微型发光二极管芯片的转移方法和转移装置,转移方法包括以下过程:提供带有漂浮层的微型发光二极管芯片,漂浮层形成于微型发光二极管芯片的一侧表面;将带有漂浮层的微型发光二极管芯片置于溶液中,微型发光二极管芯片在漂浮层的作用下漂浮于溶液的液面上;提供转移基板,转移基板上设有多个用于容纳微型发光二极管芯片的槽体,槽体的位置与微型发光二极管在有源驱动背板上的位置相同,将转移基板从溶液的液面以下向溶液的液面上升,上升过程中,转移基板托起带有漂浮层的微型发光二极管芯片,震动转移基板,使带有漂浮层的微型发光二极管芯片落入槽体内。本发明能提高微型发光二极管芯片的转移效率、良品率和定位精度。
搜索关键词: 基板 微型 发光二极管 芯片 转移 方法 装置
【主权项】:
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