[发明专利]一种异质结太阳电池的电极栅级制作方法

摘要

本发明提供一种异质结太阳电池的电极栅级制作方法，在硅片经过清洗制绒、沉积非晶硅、沉积透明导电层后，再沉积一层金属导电层，然后在金属导电层上制作掩膜并固化稳定，再进一步使用激光刻划掉部分掩膜形成所需的电极栅线图形，然后对片子进行清洗和干燥使电极栅线图形下的金属导电层裸露出来，再然后进行电镀形成电极栅线，最后将掩膜去掉并刻蚀掉除电极栅线外的金属导电层，制作出成品电池。本发明成本较低，且制作的电极栅线导电性好，电池转换效率高，在目前银金属价格上涨导致银栅线异质结电池成本上涨的现状下具有积极意义，且低成本高效异质结电池的制作方法有利于推进异质结电池的产业化发展。