[发明专利]工业用机器人有效
| 申请号： | 202111170145.2 | 申请日： | 2021-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN114378852B | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | 细川正己 | 申请（专利权）人： | 日本电产三协株式会社 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00;B25J9/06;B25J15/08;B25J19/00;B25J15/06;H01L21/677;B65G49/07 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 沈捷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种在抑制更换作业的劳力和时间的同时能够小型化的工业用机器人。手柱(30)具有驱动按压部件(31d)的驱动机构(4p)、引导按压部件(31d)在按压部件(31d)驱动时的移动的导向槽(4h)以及吸引气体的空气配管(4c)。当晶圆夹持手(31)被安装于手安装部(4m)时，能够形成将导向槽(4h)与空气配管(4c)连接的第一吸引通道。另外，当真空吸附手(32)被安装于手安装部(4m)时，能够形成将真空吸附手(32)的吸引孔(32b)与空气配管(4c)连接的第二吸引通道。 | ||
| 搜索关键词： | 工业 机器人 | ||
【主权项】：
暂无信息
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