[发明专利]工业用机器人

说明书

本发明提供一种在抑制更换作业的劳力和时间的同时能够小型化的工业用机器人。手柱(30)具有驱动按压部件(31d)的驱动机构(4p)、引导按压部件(31d)在按压部件(31d)驱动时的移动的导向槽(4h)以及吸引气体的空气配管(4c)。当晶圆夹持手(31)被安装于手安装部(4m)时，能够形成将导向槽(4h)与空气配管(4c)连接的第一吸引通道。另外，当真空吸附手(32)被安装于手安装部(4m)时，能够形成将真空吸附手(32)的吸引孔(32b)与空气配管(4c)连接的第二吸引通道。

技术领域

本发明涉及一种工业用机器人。

背景技术

以往，已知一种具备搬运晶圆等搬运对象物的手的工业用机器人。例如，在专利文献1中已知一种工业用机器人，其中，作为搬运搬运对象物的手，单独地具备握持式手和吸引式手，握持式手具有供搬运对象物的端面抵接的端面抵接部件，且将搬运对象物的端面按压在端面抵接部件上以保持搬运对象物，吸引式手吸引并保持搬运对象物。握持式手和吸引式手例如根据工业用机器人的用途而分开使用。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017－119326号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

例如，像专利文献1那样单独地具备握持式手和吸引式手的工业用机器人变得大型化。另外，虽然也考虑使握持式手和吸引式手可以更换，但是手本身的更换作业花费劳力和时间。

本发明是鉴于上述的情况而提出的，其目的在于提供一种在抑制更换作业的劳力和时间的同时能够小型化的工业用机器人。

解决技术问题所采用的技术方案

本发明提供一种工业用机器人，其具备：手，所述手保持搬运对象物；臂，所述臂在前端侧以能够转动的方式连接所述手；以及主体部，所述主体部以能够转动的方式连接所述臂的基端侧，所述手具有手基端部，所述手基端部具有能够更换第一保持部件和第二保持部件的第一安装部，所述第一保持部件具有端面抵接部件和按压部件，所述端面抵接部件供所述搬运对象物的端面抵接，所述按压部件按压所述搬运对象物，以将所述搬运对象物的端面按压在所述端面抵接部件上，所述第二保持部件具有吸引并保持所述搬运对象物的吸引孔，所述手基端部具备驱动所述按压部件的驱动机构、引导所述按压部件在所述按压部件驱动时的移动的导向槽、以及吸引气体的气体吸引部，当所述第一保持部件被安装于所述第一安装部时，能够形成将所述导向槽与所述气体吸引部连接的第一吸引通道，当所述第二保持部件被安装于所述第一安装部时，能够形成将所述吸引孔与所述气体吸引部连接的第二吸引通道。

发明效果

根据本发明，能够提供一种工业用机器人，其在抑制更换作业的劳力和时间的同时能够小型化。

附图说明

图1是表示本发明实施方式的工业用机器人1的一例的俯视图。

图2是用于说明设置有晶圆夹持手31的手3的结构的一例的立体图。

图3是表示图2的晶圆夹持用块5的结构的一例的图。

图4是用于说明设置有真空吸附手32的手3的结构的一例的立体图。

图5是表示图4的真空吸附用块6的结构的一例的图。

附图标记说明