[发明专利]一种半导体贴片机的复合上料装置在审
申请号: | 202110907503.7 | 申请日: | 2021-08-09 |
公开(公告)号: | CN113644019A | 公开(公告)日: | 2021-11-12 |
发明(设计)人: | 吴超;周德金;曾义;徐宏;龙三雄;魏子杰;张艳 | 申请(专利权)人: | 恩纳基智能科技无锡有限公司;清华大学无锡应用技术研究院 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/687;H01L21/677 |
代理公司: | 北京智宇正信知识产权代理事务所(普通合伙) 11876 | 代理人: | 于理科 |
地址: | 214100 江苏省无锡市金山北科*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种半导体贴片机的复合上料装置,包括:平移轨道,所述平移轨道架设于预设位置;行走座,所述行走座行走于所述平移轨道上;升降座,所述升降座安装于所述行走座底端;复合上料机构,所述复合上料单元安装于所述升降座底端;其中,所述复合上料机构可完成料盒的抓取、上料。本发明提供的一种半导体贴片机的复合上料装置,复合上料机构可以利用吸盘或者卡爪完成料盒的抓取、上料,行走座带动料盒沿着平移轨道运动,升降座完成料盒的升降,从而完成料盒的复合上料,上料方式多样,提高了工作效率,迎合了生产需求。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 贴片机 复合 装置 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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