[发明专利]一种氮化镓基器件用散热衬底及其制备方法在审
| 申请号： | 202110685205.8 | 申请日： | 2021-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN113421865A | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 余晨辉;沈倪明;秦嘉怡;陆炎;罗曼 | 申请（专利权）人： | 南通大学 |
| 主分类号： | H01L23/367 | 分类号： | H01L23/367;H01L23/373;H01L21/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 黄欣 |
| 地址： | 226019 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氮化镓基器件用散热衬底及其制备方法，其中该散热衬底的核心是由氮化镓与石墨烯所组成的周期性范德瓦尔斯结构。本发明一方面将导热系数较高的石墨烯材料应用到该散热衬底中，解决了传统衬底散热效果差等问题；另一方面还采用干法转移技术和远程外延技术来制备该散热衬底。与利用传统外延技术生长的散热衬底相比，本发明的散热衬底不仅拥有传统散热衬底的一般性能，而且节约了生产成本、增强了散热效果，更适合应用在工业规模上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 器件 散热 衬底 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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