[发明专利]一种氮化镓基器件用散热衬底及其制备方法

权利要求书

1.一种氮化镓基器件用散热衬底，其特征在于：包括衬底本体，在衬底本体上有范德瓦尔斯结构层；

所述范德瓦尔斯结构层至少包括两个氮化镓层和一个石墨烯层，所述石墨烯层在两个氮化镓层之间；

所述石墨烯层由单层石墨烯制成。

2.根据权利要求1所述的氮化镓基器件用散热衬底，其特征在于：所述衬底本体为蓝宝石衬底。

3.权利要求1所述的氮化镓基器件用散热衬底的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤1，利用金属有机化学气相沉积法在蓝宝石衬底上生长一层氮化镓层，形成第一氮化镓层；

步骤2，将单层石墨烯转移至步骤1的氮化镓层，由此在氮化镓层上生成石墨烯层；

步骤3，在步骤2的石墨烯层上外延生长出第二氮化镓层；

步骤4，重复按照步骤2和步骤3的顺序，先将单层石墨烯转移至氮化镓层上，然后再在单层石墨烯上远程外延生长出新的氮化镓层，由此形成范德瓦尔斯结构层。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：步骤2中采用“辊对辊”的干法转移技术将单层石墨烯转移至氮化镓层上。

5.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：步骤3中采用远程外延技术在石墨烯层上外延生长氮化镓层。