[发明专利]一种基于复合相变材料的M型微通道换热器、检测装置及检测方法有效
申请号: | 202110663183.5 | 申请日: | 2021-06-15 |
公开(公告)号: | CN113410194B | 公开(公告)日: | 2023-06-13 |
发明(设计)人: | 师航波;李逵;匡乃亮;李庆;杨巧 | 申请(专利权)人: | 西安微电子技术研究所 |
主分类号: | H01L23/427 | 分类号: | H01L23/427;H01L23/473;G01M99/00 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 陈翠兰 |
地址: | 710065 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开一种基于复合相变材料的M型微通道换热器、检测装置及检测方法,在M型微通道换热器的上基板内层填充复合相变材料,下基板表面设置多个相互垂直的流道,并连通冷却单元内的L型通道,形成交错式的多入口多出口的冷却液流道,使得内部冷却液能够多次改变流动方向并且覆盖整个M型微通道换热器的表面,通过相互垂直的流道和冷却单元中L型通道的相互配合,降低压降和流体速度,达到温度的均匀分配,为电子器件提供可靠的温度环境;同时,复合相变材料能够提高导热率。一种基于复合相变材料的M型微通道换热器的检测装置及检测方法,能够针对性的模仿M型微通道换热器的工作环境,以及检测温度变化值。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 复合 相变 材料 通道 换热器 检测 装置 方法 | ||
【主权项】:
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